RU2595187C1 - Apparatus for applying coatings on surfaces of parts - Google Patents
Apparatus for applying coatings on surfaces of parts Download PDFInfo
- Publication number
- RU2595187C1 RU2595187C1 RU2015122238/02A RU2015122238A RU2595187C1 RU 2595187 C1 RU2595187 C1 RU 2595187C1 RU 2015122238/02 A RU2015122238/02 A RU 2015122238/02A RU 2015122238 A RU2015122238 A RU 2015122238A RU 2595187 C1 RU2595187 C1 RU 2595187C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- protective capsule
- shaft
- carousel
- parts
- vacuum chamber
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области машиностроения, а именно к вакуумной технике, в частности к вакуумным установкам для нанесения износостойких, жаропрочных, антифрикционных покрытий на дорогостоящие детали, такие как лопатки турбин, штоки, валы и инструменты для металлообработки.The invention relates to mechanical engineering, in particular to vacuum technology, in particular to vacuum installations for applying wear-resistant, heat-resistant, antifriction coatings to expensive parts such as turbine blades, rods, shafts and metalworking tools.
Известно устройство для нанесения многослойных токопроводящих покрытий на изделия из диэлектрических материалов и источник ионов для него (патент РФ на изобретение №2261289, МПК С23С 14/35, опубл. 27.09.2005), содержащее рабочую камеру с магнетронной распылительной системой (MPC), включающей источники распыляемого материала и ионные источники, систему питания MPC, вакуумную систему, систему напуска рабочего газа, кассету для обрабатываемых изделий и механизм ее перемещения, в котором источники распыляемого материала и ионные источники снабжены подвижными защитными экранами для защиты от осаждения на их поверхность нежелательных пленок от работы других источников распыляемого материала, которые при включении могут дать продукты загрязнения поверхности обрабатываемых изделий.A device for applying multilayer conductive coatings on products made of dielectric materials and an ion source for it (RF patent for the invention No. 2261289,
Недостатком настоящего устройства является низкое качество покрытий за счет того, что защитные экраны расположены слишком близко к источникам распыляемого материала, служат помехой их работе в закрытом состоянии и не могут быть использованы для предотвращения загрязнения поверхности изделий в начальный момент включения источников распыляемого материала за счет адсорбированных газов и окисных пленок на катодах и в тиглях этих источников.The disadvantage of this device is the low quality of coatings due to the fact that the protective screens are too close to the sources of the sprayed material, interfere with their operation in the closed state and cannot be used to prevent surface contamination of the products at the initial moment of switching on the sources of sprayed material due to adsorbed gases and oxide films at the cathodes and in the crucibles of these sources.
Известно другое шлюзовое устройство для загрузки и выгрузки изделий из вакуума (авторское свидетельство СССР №1688609, МПК С23С 14/56, опубл. 01.07.1991), содержащее камеру с затвором, кассету для изделий, размещенную на столе с приводом перемещения, натекатель плавного напуска газа в камеру и откачной патрубок в виде обводной магистрали с клапаном плавной откачки камеры, а также экран в виде стакана, размещенного на столе без зазора и охватывающего внешнюю поверхность кассеты, предназначенный для повышения качества покрытий за счет сохранения чистоты поверхности изделий при откачке камеры и напуске в нее газов. Экран может быть выполнен из перфорированных листов, причем отверстия в листах расположены оптически непрозрачно, или экран может быть выполнен из спеченных гранул, причем и экран и стол выполнены со сквозными порами.Another gateway device for loading and unloading products from vacuum is known (USSR author's certificate No. 1688609,
Недостатком настоящего устройства является низкое качество покрытий за счет того, что экран расположен в отдельной шлюзовой камере, а не в зоне напыления и может служить только для защиты поверхности изделий при откачке камеры до рабочего вакуума и напуске газов. Устройство не защищает поверхность изделий от привносимой дефектности, связанной с выделением адсорбированных газов при прогреве в начале работы источников распыляемого материала, а также дефектности, связанной с примесями, попадающими в начальный момент времени на напыляемые детали при распылении или испарении загрязненного поверхностного слоя источника распыляемого материала, так как находится в шлюзовой камере.The disadvantage of this device is the low quality of coatings due to the fact that the screen is located in a separate lock chamber, and not in the spraying zone and can only serve to protect the surface of the products when pumping the chamber to a working vacuum and gas inlet. The device does not protect the surface of the products from the introduced defectiveness associated with the release of adsorbed gases during heating at the beginning of operation of the sources of the sprayed material, as well as the defectiveness associated with impurities that fall on the sprayed parts at the initial time during spraying or evaporation of the contaminated surface layer of the source of sprayed material, as it is in the lock chamber.
Наиболее близкой по технической сущности к заявляемому изобретению является установка для нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности детали (патент РФ на полезную модель №100519, МПК С23С 14/56, опубл. 20.12.2010), содержащая установленный в вакуумной камере, по меньшей мере, один источник распыляемого материала, ионный источник, карусель, на которой размещен, по меньшей мере, один держатель детали.Closest to the technical nature of the claimed invention is an installation for applying nanocomposite coatings on flat surfaces of a part (RF patent for utility model No. 100519,
Недостатком настоящей установки является сниженное качество покрытий за счет осаждения пылевых взвесей, возникающих при откачке вакуумной камеры, на напыляемые поверхности деталей, от привносимой в состав покрытия дефектности, связанной с выделением адсорбированных газов при прогреве в начале работы источника распыляемого материала, а также дефектности, связанной с примесями, попадающими в начальный момент времени на напыляемые поверхности деталей при очистке поверхности мишеней источников распыляемого материала.The disadvantage of this installation is the reduced quality of the coatings due to the deposition of dust suspensions resulting from the evacuation of the vacuum chamber on the sprayed surfaces of the parts, from the defects introduced into the coating composition associated with the release of adsorbed gases during heating at the beginning of the work of the source of the sprayed material, as well as the defects associated with with impurities falling at the initial time on the sprayed surfaces of the parts when cleaning the surface of the targets of the sources of the sprayed material.
Технический результат заключается в повышении качества покрытий за счет защиты поверхности деталей от привносимых дефектов в виде пыли, отрываемой с поверхностей оборудования и оснастки вакуумной камеры в момент откачки вакуумной камеры, а также от осаждения нежелательных пленок при проведении процессов настройки режимов работы источников распыляемого материала, ионной очистки их мишеней и реактивного режима напыления.The technical result consists in improving the quality of coatings by protecting the surface of parts from introduced defects in the form of dust torn from the surfaces of equipment and snap-in of the vacuum chamber at the time of evacuation of the vacuum chamber, as well as from the deposition of unwanted films during the process of setting the operating modes of the sources of the sprayed material, ion cleaning their targets and reactive spraying.
Указанный технический результат достигается тем, что установка для нанесения покрытий на поверхности деталей, содержащая вакуумную камеру, внутри корпуса которой, содержащего систему газонапуска, установлен, по меньшей мере, один источник распыляемого материала, выполненный в виде N магнетронов, где N - целое число и N≥1, ионный источник, карусель, установленная на валу с возможностью вращения, на которой размещен, по меньшей мере, один держатель детали, выполненный с возможностью вращения детали вокруг собственной оси держателя, параллельной оси вращения карусели, проходящей в центре вакуумной камеры, высоковольтный источник напряжения смещения, низковольтный источник напряжения смещения, снабжена расположенной внутри корпуса вакуумной камеры защитной капсулой, выполненной из металла в виде перекрытых с образованием технологического зазора верхней и нижней частей с боковыми стенками в форме поверхностей вращения, штангой, закрепленной на карусели, многопозиционным электрическим переключателем, расположенным с внешней стороны корпуса вакуумной камеры, вместе с тем верхняя часть защитной капсулы выполнена с верхним глухим торцом, с расположенным на нем электрически изолированным узлом, и валом, выполненным полым, нижняя часть защитной капсулы выполнена с нижним глухим торцом, с расположенным на нем электрически изолированным стыковочным узлом для зацепления со штангой, и валом, при этом карусель и держатель расположены внутри верхней части защитной капсулы, детали расположены внутри нижней части защитной капсулы, магнетроны и ионный источник установлены по периметру защитной капсулы, при этом вал верхней части защитной капсулы установлен в верхней части корпуса вакуумной камеры и жестко соединен с валом карусели в электрически изолированном узле, а вал нижней части защитной капсулы установлен в нижней части корпуса вакуумной камеры и соединен с приводом возвратно-поступательного движения, вместе с тем оси вращения верхней и нижней частей защитной капсулы, валов верхней и нижней частей защитной капсулы, штанги, электрически изолированного узла, электрически изолированного стыковочного узла совпадают с осью вращения карусели, в то же время многопозиционный электрический переключатель выполнен с возможностью переключения высоковольтного и низковольтного источников напряжения смещения с вала карусели на вал верхней части защитной капсулы и вал нижней части защитной капсулы.The specified technical result is achieved by the fact that the installation for coating on the surface of parts containing a vacuum chamber, inside the case of which containing a gas inlet system, is installed at least one source of atomized material made in the form of N magnetrons, where N is an integer and N≥1, an ion source, a carousel mounted rotatably on a shaft on which at least one part holder is arranged, capable of rotating the part around its own axis of the holder, parallel axis of rotation of the carousel, passing in the center of the vacuum chamber, the high-voltage bias voltage source, the low-voltage bias voltage source, is equipped with a protective capsule located inside the vacuum chamber housing made of metal in the form of overlapping upper and lower parts with the formation of technological clearance with side walls in the form of surfaces rotation, with a bar fixed on the carousel, with a multi-position electric switch located on the outside of the vacuum chamber housing, at the same time The upper part of the protective capsule is made with an upper blind end, with an electrically insulated node located on it, and a shaft made hollow, the lower part of the protective capsule is made with a lower blind end, with an electrically insulated docking unit located on it for engagement with the rod, and the shaft, while the carousel and the holder are located inside the upper part of the protective capsule, the details are located inside the lower part of the protective capsule, magnetrons and an ion source are installed around the perimeter of the protective capsule, while the shaft the upper part of the protective capsule is installed in the upper part of the vacuum chamber body and is rigidly connected to the carousel shaft in an electrically isolated unit, and the shaft of the lower part of the protective capsule is installed in the lower part of the vacuum chamber body and connected to the reciprocating drive, while the axis of rotation of the upper and the lower parts of the protective capsule, the shafts of the upper and lower parts of the protective capsule, rod, electrically isolated node, electrically isolated docking node coincide with the axis of rotation of the carousel, in at the same time, the multi-position electric switch is configured to switch the high-voltage and low-voltage bias voltage sources from the carousel shaft to the shaft of the upper part of the protective capsule and the shaft of the lower part of the protective capsule.
Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором изображена схема установки для нанесения покрытий на поверхности деталей.The invention is illustrated by the drawing, which shows a diagram of the installation for coating on the surface of the parts.
Установка для нанесения покрытий на поверхности деталей 1 содержит вакуумную камеру 2, внутри корпуса которой установлен, по меньшей мере, один источник распыляемого материала 3, выполненный в виде N магнетронов, где N - целое число и N≥1, ионный источник 4, карусель 5, установленная на валу 6 с возможностью вращения, на которой размещен, по меньшей мере, один держатель 7 детали 1, выполненный с возможностью вращения детали 1 вокруг собственной оси держателя 7, параллельной оси вращения О карусели 5, проходящей в центре вакуумной камеры 2, высоковольтный источник напряжения смещения 8, низковольтный источник напряжения смещения 9. Внутри корпуса вакуумной камеры 2 расположена защитная капсула 10, выполненная из металла в виде перекрытых с образованием технологического зазора верхней 11 и нижней 12 частей с боковыми стенками, например, в форме цилиндра или усеченного конуса. При этом карусель 5 и держатель 7 расположены внутри верхней части 11 защитной капсулы 10, детали 1 расположены внутри нижней части 12 защитной капсулы 10, магнетроны 3 и ионный источник 4 установлены по периметру защитной капсулы 10. Верхняя часть 11 защитной капсулы 10 выполнена с верхним глухим торцом и закреплена на валу 13, выполненном полым, который установлен в верхней части корпуса вакуумной камеры 2 электрически изолированными вакуумными вводами 14 и жестко соединен с валом 6 карусели 5 в электрически изолированном узле 15 верхней части 11 защитной капсулы 10. Нижняя часть 12 защитной капсулы 10 выполнена с нижним глухим торцом и закреплена на валу 16, который установлен в нижней части корпуса вакуумной камеры 2 электрически изолированными вакуумными вводами 14 и соединен муфтой 17 с приводом возвратно-поступательного движения 18. На карусели 5 закреплена штанга 19, расположенная внутри защитной капсулы 10, которая зацеплена, например, шлицевым соединением или кулачковой муфтой с нижней частью 12 защитной капсулы 10 в электрически изолированном стыковочном узле 20. Оси вращения верхней 11 и нижней 12 частей защитной капсулы 10, вала 13 верхней части 11 защитной капсулы 10, вала 16 нижней части 12 защитной капсулы 10, штанги 19, электрически изолированного узла 15, электрически изолированного стыковочного узла 20 совпадают с осью вращения О карусели 5. С внешней стороны корпуса вакуумной камеры 2, содержащего систему газонапуска 21, расположен многопозиционный электрический переключатель 22, выполненный с возможностью переключения высоковольтного 8 и низковольтного 9 источников напряжения смещения с вала 6 карусели 5 на вал 13 верхней части 11 защитной капсулы 10 и вал 16 нижней части 12 защитной капсулы 10.Installation for coating on the surface of
Установка для нанесения покрытий на поверхности деталей работает следующим образом.Installation for coating on the surface of the parts is as follows.
При откачке вакуумной камеры 2 верхняя 11 и нижняя 12 части защитной капсулы 10 перекрыты и неподвижны. Карусель 5, держатель 7 и детали 1 находятся внутри защитной капсулы 10. За счет ограниченной проводимости технологического зазора между верхней 11 и нижней 12 частями защитной капсулы 10 создается перепад давлений между объемом вакуумной камеры 2 и объемом, создаваемым внутри защитной капсулы 10. Это исключает попадание на поверхности деталей 1 частиц, отрываемых от поверхности всех устройств, расположенных внутри объема вакуумной камеры 2.When pumping the
Затем вал 6 карусели 5 начинает вращение, которое передается валу 13 верхней части 11 защитной капсулы 10. Зацепление штанги 19 с нижней частью 12 защитной капсулы 10 в электрически изолированном стыковочном узле 20 передает ей момент вращения карусели 5. Таким образом, верхняя 11 и нижняя 12 части защитной капсулы 10 вращаются совместно с каруселью 5. Высоковольтный источник напряжения смещения 8 многопозиционным электрическим переключателем 22 подключается к валам 13 и 16 верхней 11 и нижней 12 частей защитной капсулы 10 соответственно. Электрически изолированный узел 15 сохраняет карусель 5 электрически изолированной. В вакуумную камеру 2 через систему газонапуска 21 подается рабочий газ аргон до давления 3·10-1 Па, и при напряжении смещения 900÷1200 В зажигается тлеющий разряд между защитной капсулой 10 и корпусом вакуумной камеры 2. Защитная капсула 10 нагревается бомбардировкой ионами аргона и передает излучением тепловую энергию поверхностям деталей 1, вследствие чего осуществляется их радиационный нагрев. При необходимости интенсификации нагрева поверхностей деталей 1 в качестве источников дополнительной плазмы также можно включить магнетроны 3 (магнетронное распыление при малых разрядных токах).Then, the
Далее нижняя часть 12 защитной капсулы 10 с помощью привода возвратно-поступательного движения 18 вала 16 перемещается вниз, открывая детали 1, и остается электрически изолированной. Высоковольтный источник напряжения смещения 8 переключается на вращающийся вал 6 карусели 5. Тогда же в вакуумную камеру 2 через систему газонапуска 21 подается рабочий газ аргон до давления 3·10-1 Па, и при напряжении смещения 900÷1200 В зажигается тлеющий разряд между деталями 1 и корпусом вакуумной камеры 2, включается ионный источник 4. Вращающиеся вокруг собственной оси детали 1 очищаются бомбардировкой ионами аргона. При этом карусель 5 защищена от воздействия разряда плавающим потенциалом верхней части 11 защитной капсулы 10. При необходимости интенсифицировать очистку поверхности деталей 1 в качестве источников дополнительной плазмы также можно включить магнетроны 3.Next, the
Затем прекращается вращение вала 6 карусели 5 и деталей 1. Высоковольтный источник напряжения смещения 8 отключается от вала 6 карусели 5. Нижняя часть 12 защитной капсулы 10 перемещается вверх и перекрывается с верхней частью 11 защитной капсулы 10. Приложением напряжения на магнетроны 3 и бомбардировкой поверхности их мишеней ионами аргона осуществляется очистка поверхности мишеней магнетронов 3 ее распылением. При этом исключается попадание на поверхности деталей 1 частиц, отрываемых от поверхности мишеней магнетронов 3.Then the rotation of the
По истечении 5-10 минут после очистки поверхности мишеней магнетронов 3 и наступлении стабилизации процесса их распыления, нижняя часть 12 защитной капсулы 10 перемещается вниз, открывая детали 1. Вал 6 карусели 5 начинает вращение, к нему подключается низковольтный источник напряжения смещения 9 и производится нанесение покрытий на поверхности деталей 1.After 5-10 minutes after cleaning the surface of the
При необходимости получения соединений из окислов, нитридов, карбидов и карбонитридов используется смесь аргона с добавлением реакционных газов (азот, углерод, кислород и т.п.). По истечении 5-10 минут после очистки поверхности мишеней магнетронов 3 с использованием плазменного эмиссионного контроля производится настройка реактивного режима напыления. Вал 6 карусели 5, перекрытые верхняя 11 и нижняя 12 части защитной капсулы 10 остаются неподвижными. Низковольтный источник напряжения смещения 9 подключается к валам 13 и 16 верхней 11 и нижней 12 частей защитной капсулы 10, карусель 5 электрически изолирована. В вакуумную камеру 2 через систему газонапуска 21 подается рабочий газ аргон до давления 2·10-1 Па, и при напряжении смещения 50÷150 В включаются и выводятся на рабочий режим магнетроны 3. Производится нормировка оптического сигнала излучения основного металла мишеней магнетронов 3, и поддерживается необходимый уровень снижения этого сигнала в результате напуска реакционного газа, поступающего через систему газонапуска 21 и вступающего в реакцию с распыленным материалом мишеней магнетронов 3. После наступления стабилизации процесса распыления мишеней магнетронов 3, низковольтный источник напряжения смещения 9 отключается от валов 13 и 16 верхней 11 и нижней 12 частей защитной капсулы 10, нижняя часть 12 защитной капсулы 10 перемещается вниз, открывая детали 1. Вал 6 карусели 5 начинает вращение, к нему подключается низковольтный источник напряжения смещения 9, и производится нанесение покрытий на поверхности деталей 1.If it is necessary to obtain compounds from oxides, nitrides, carbides and carbonitrides, a mixture of argon with the addition of reaction gases (nitrogen, carbon, oxygen, etc.) is used. After 5-10 minutes after cleaning the surface of the
Использование изобретения позволяет повысить качество покрытий за счет защиты поверхностей деталей от привносимых дефектов в момент откачки вакуумной камеры, а также от осаждения нежелательных пленок при проведении процессов настройки режимов работы источников распыляемого материала, ионной очистки их мишеней и реактивного режима напыления.Using the invention allows to improve the quality of coatings due to the protection of surfaces of parts from introduced defects at the time of evacuation of the vacuum chamber, as well as from the deposition of unwanted films during the process of setting the operating modes of the sources of sprayed material, ion cleaning of their targets and reactive spraying mode.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2015122238/02A RU2595187C1 (en) | 2015-06-10 | 2015-06-10 | Apparatus for applying coatings on surfaces of parts |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2015122238/02A RU2595187C1 (en) | 2015-06-10 | 2015-06-10 | Apparatus for applying coatings on surfaces of parts |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2595187C1 true RU2595187C1 (en) | 2016-08-20 |
Family
ID=56697491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015122238/02A RU2595187C1 (en) | 2015-06-10 | 2015-06-10 | Apparatus for applying coatings on surfaces of parts |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2595187C1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2664350C1 (en) * | 2017-06-14 | 2018-08-16 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" | Method for setting the magnetic spray of the composite target |
RU2677032C1 (en) * | 2017-12-26 | 2019-01-15 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" | Method for sputter deposition of the composite target |
RU2705839C1 (en) * | 2019-01-18 | 2019-11-12 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Вакуумные ионно-плазменные технологии" (ООО НПП "ВИП-технологии") | Vacuum ion-plasma plant for applying coatings on surface of metal intravascular stents, mainly from titanium oxynitride |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000073168A (en) * | 1998-07-07 | 2000-03-07 | Techno Coat Oberflaechentechnik Gmbh | Multilayer pvd film forming apparatus for substrate and method therefor |
RU2385967C2 (en) * | 2005-10-07 | 2010-04-10 | Тохоку Юниверсити | Apparatus of magnetron sputtering |
RU100519U1 (en) * | 2010-06-09 | 2010-12-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский энергетический институт (технический университет)" (ГОУВПО "МЭИ (ТУ)") | INSTALLATION FOR APPLICATION OF NANOCOMPOSITE COATINGS ON PLANE SURFACES OF THE PARTS (OPTIONS) |
-
2015
- 2015-06-10 RU RU2015122238/02A patent/RU2595187C1/en active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000073168A (en) * | 1998-07-07 | 2000-03-07 | Techno Coat Oberflaechentechnik Gmbh | Multilayer pvd film forming apparatus for substrate and method therefor |
RU2385967C2 (en) * | 2005-10-07 | 2010-04-10 | Тохоку Юниверсити | Apparatus of magnetron sputtering |
RU100519U1 (en) * | 2010-06-09 | 2010-12-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский энергетический институт (технический университет)" (ГОУВПО "МЭИ (ТУ)") | INSTALLATION FOR APPLICATION OF NANOCOMPOSITE COATINGS ON PLANE SURFACES OF THE PARTS (OPTIONS) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2664350C1 (en) * | 2017-06-14 | 2018-08-16 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" | Method for setting the magnetic spray of the composite target |
RU2677032C1 (en) * | 2017-12-26 | 2019-01-15 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского" | Method for sputter deposition of the composite target |
RU2705839C1 (en) * | 2019-01-18 | 2019-11-12 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Вакуумные ионно-плазменные технологии" (ООО НПП "ВИП-технологии") | Vacuum ion-plasma plant for applying coatings on surface of metal intravascular stents, mainly from titanium oxynitride |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9082595B2 (en) | Sputtering apparatus | |
RU2595187C1 (en) | Apparatus for applying coatings on surfaces of parts | |
Boxman et al. | Vacuum arc deposition devices | |
US6113752A (en) | Method and device for coating substrate | |
RU2425173C2 (en) | Installation for combined ion-plasma treatment | |
US20100276283A1 (en) | Vacuum coating unit for homogeneous PVD coating | |
KR20110088549A (en) | Thermal spray coatings for semiconductor applications | |
JP2007224419A (en) | Sputtering using cooled target | |
CA2846177A1 (en) | Low pressure arc plasma immersion coating vapor deposition and ion treatment | |
US3524426A (en) | Apparatus for coating by thermal evaporation | |
CN112159967B (en) | Ion beam deposition equipment for infrared metal film and film deposition method | |
WO2017070488A1 (en) | Deposition system with integrated cooling on a rotating drum | |
JP2005048260A (en) | Reactive sputtering method | |
JP2009531545A (en) | Coating equipment | |
US6756596B2 (en) | Filtered ion source | |
RU2693229C1 (en) | Apparatus for applying ion-plasma coatings on blisk blades | |
JP2002371351A (en) | Film forming apparatus | |
RU2691166C1 (en) | Method of applying protective coatings and device for its implementation | |
CN102296274B (en) | Shielding device for cathode arc metal ion source | |
JP5619028B2 (en) | Vacuum deposition apparatus and maintenance method thereof | |
JP7108347B2 (en) | Deposition equipment | |
RU2584196C2 (en) | Vacuum unit for sputtering films with ablation chamber | |
EP2597174B1 (en) | Vapor deposition of ceramic coatings | |
RU2653399C2 (en) | Method of amorphous oxide of aluminum coating by reactive evaporation of aluminum in low pressure discharge | |
TW202031918A (en) | Sputtering film forming apparatus, sputtering film forming method therefor, and compound thin film |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
QB4A | Licence on use of patent |
Free format text: LICENCE Effective date: 20161109 |