RU2586621C2 - X-ray source - Google Patents
X-ray source Download PDFInfo
- Publication number
- RU2586621C2 RU2586621C2 RU2015103627/07A RU2015103627A RU2586621C2 RU 2586621 C2 RU2586621 C2 RU 2586621C2 RU 2015103627/07 A RU2015103627/07 A RU 2015103627/07A RU 2015103627 A RU2015103627 A RU 2015103627A RU 2586621 C2 RU2586621 C2 RU 2586621C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- hole
- anticathode
- source
- autocathode
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к области рентгеновских излучателей, а именно миниатюрных источников рентгеновского излучения с автокатодами (называемые также холодными катодами) и, в частности, многокатодных источников рентгеновского излучения в интегральном исполнении.The invention relates to the field of X-ray emitters, namely, miniature X-ray sources with auto-cathodes (also called cold cathodes) and, in particular, integrated multi-cathode X-ray sources.
Известны рентгеновские излучатели, содержащие рабочий вакуумированный объем, окно для рентгеновского излучения в стенке рабочего объема, антикатод и катод, в которых в качестве катода использованы автокатоды (например: US 6876724; EP 1205216; диссертация Иванова О.В. - Исследование и разработка высокостабильного и долговечного автоэмиссионного катода с электронно-оптической яркостью свыше 1·108 А·см-2·срад-1 для электронно-зондовой аппаратуры и других ЭВП, работающих в условиях высокого технического вакуума. - М., 2007).Known x-ray emitters containing a working vacuum volume, a window for x-ray radiation in the wall of the working volume, an anti-cathode and a cathode, in which autocathodes are used as a cathode (for example: US 6876724; EP 1205216; dissertation, O. Ivanova - Research and development of highly stable and a durable field emission cathode with an electron-optical brightness of more than 1 · 10 8 A · cm -2 · srad -1 for electron-probe equipment and other electronic computers operating in high technical vacuum. - M., 2007).
Недостатком их является неустойчивость работы, недолговечность и инерционность (из-за задержек теплоотвода). Основные причины нестабильности эмиссии катодов - изменение их геометрических размеров в результате бомбардировки поверхности ионами остаточных газов и изменение потенциального барьера на поверхности вследствие адсорбции и химического взаимодействия с остаточными газами. Основную роль играет ионная бомбардировка, поскольку она активизирует все другие механизмы деградации катода (Н. Дюжев, Ю. Тишин. - Молибденовая и кремниевая технологии плоских автоэмиссионных экранов. - Электроника: Наука, Технология, Бизнес 1/2001.)Their disadvantage is instability of work, fragility and inertia (due to delays in heat removal). The main reasons for the instability of cathode emission is a change in their geometrical dimensions as a result of bombardment of the surface with residual gas ions and a change in the potential barrier on the surface due to adsorption and chemical interaction with residual gases. The main role is played by ion bombardment, since it activates all other mechanisms of cathode degradation (N. Dyuzhev, Yu. Tishin. - Molybdenum and silicon technologies of flat field emission screens. - Electronics: Science, Technology,
Известны рентгеновские излучатели, в которых применены композитные автокатоды, содержащие углеродные волокна (например, US 20030002627, US 6850595), разрушение поверхности торцов которых не приводит к их затуплению, т.к. они не заточены, а эффективны благодаря малому диаметру, а включенность углеродных нитей в массивную матрицу улучшает теплоотвод.X-ray emitters are known in which composite autocathodes containing carbon fibers are used (for example, US 20030002627, US 6850595), the destruction of the surface of the ends of which does not lead to their blunting, because they are not sharpened, but effective due to their small diameter, and the inclusion of carbon filaments in a massive matrix improves heat dissipation.
Недостатком их является сложность изготовления.Their disadvantage is the difficulty of manufacturing.
Известен многокатодный источник рентгеновского излучения, выполненный в интегральной форме и содержащий вакуумированный объем, матрицу острийных (в виде игл) автокатодов, электроды, формирующие электронный поток и окна в виде мембран, служащие антикатодами (WO 2013184213).A multi-cathode X-ray source is known, made in an integral form and containing a vacuum volume, a matrix of tip (in the form of needles) autocathodes, electrodes forming an electron beam and windows in the form of membranes serving as anticathodes (WO 2013184213).
Недостатком его является нестойкость острийных автокатодов и необходимость выполнения специальных требований к окнам для повышения эффективности преобразования электронного потока в рентгеновское излучение.Its disadvantage is the instability of the tip autocathodes and the need to fulfill special requirements for windows to increase the efficiency of conversion of the electron beam to x-ray radiation.
Технической задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является увеличение поверхностной (на единицу площади) излучаемой мощности рентгеновского излучения, увеличение срока службы и устойчивости работы источника рентгеновского излучения.The technical problem to which the invention is directed is to increase the surface (per unit area) radiated power of the x-ray radiation, increase the service life and stability of the x-ray source.
Указанная задача решается тем, что источник рентгеновского излучения, включает одну или множество ячеек, каждая из которых является источником рентгеновского излучения и содержит автокатод, антикатод, окно, рабочий - вакуумированный или газонаполненный - объем, средства формирования электронных потоков и систему питания ячеек, причем автокатод выполнен из проводникового, полупроводникового или комбинированного, в том числе многослойного или композитного, материала в виде или тонкого - менее 0,5 мм - слоя с круглым отверстием, или в виде слоя с круглым отверстием и с заостренной внутренней кромкой, а антикатод, являющийся одновременно анодом, выполнен симметричным относительно оси отверстия в виде фигуры вращения и имеет радиус меньше радиуса отверстия катода.This problem is solved in that the x-ray source includes one or a plurality of cells, each of which is an x-ray source and contains an autocathode, an anticathode, a window, a working one is evacuated or gas-filled - volume, means for generating electron fluxes and a cell power system, and an autocathode made of a conductor, semiconductor or combined, including multilayer or composite, material in the form of either a thin - less than 0.5 mm - layer with a round hole, or in the form of a layer with a round hole and with a pointed inner edge, and the anticathode, which is also an anode, is made symmetrical about the axis of the hole in the form of a rotation figure and has a radius less than the radius of the cathode hole.
Система питания ячеек включает и соответствующий блок управления.The power supply system of the cells includes the corresponding control unit.
При такой конструкции источника рентгеновского излучения рабочая область автокатода, расположенная на кромке отверстия, заостренной (в виде лезвия) или достаточно тонкой для обеспечения холодной эмиссии в требуемом интервале напряжений, имеет значительно большую площадь, чем рабочая поверхность острийного автокатода. При приложении достаточно большого напряжения, обеспечивающего эмиссию, например, со всей внутренней кромки, ток эмиссии, при котором не происходит разрушения автокатода, может иметь большие значения, чем у острийного автокатода, благодаря как большей рабочей площади, так и значительно более хорошему теплоотводу. Улучшенный теплоотвод обеспечивается тем, что площадь кругового поперечного сечения автокатода предложенной конструкции растет пропорционально радиусу.With this design of the x-ray source, the working area of the cathode located on the edge of the hole, pointed (in the form of a blade) or thin enough to provide cold emission in the required voltage range, has a significantly larger area than the working surface of the tip cathode. When a sufficiently large voltage is applied to ensure emission, for example, from the entire inner edge, the emission current at which the autocathode does not break down can have larger values than the tip autocathode, due to both the larger working area and much better heat dissipation. Improved heat dissipation is ensured by the fact that the circular cross-sectional area of the autocathode of the proposed design grows in proportion to the radius.
При приложении напряжений, недостаточных для обеспечения значительной эмиссии по всей круговой кромке автокатода, разряд сосредотачивается на одной или нескольких локальных ее областях. По мере износа этих областей расстояние от них до антикатода, являющегося в данном случае и анодом, возрастает, что приводит к переходу разряда на другие области кольцевой кромки. Таким образом, локальный износ кромки не приводит к отказу автокатода или значительным изменениям его свойств.When applying voltages insufficient to ensure significant emission along the entire circular edge of the cathode, the discharge focuses on one or more of its local areas. As these regions wear out, the distance from them to the anticathode, which in this case is also the anode, increases, which leads to the transition of the discharge to other regions of the annular edge. Thus, local edge wear does not lead to a failure of the cathode or significant changes in its properties.
В случае использования автокатода с заостренной кромкой по мере эксплуатации может произойти снижение заостренности по всей кольцевой кромке - это также не приведет к отказу катода, а может лишь сказаться на его характеристиках, изменение которых может быть компенсировано следящей электронной системой питания ячеек.In the case of using a cathode with a sharp edge during operation, a decrease in sharpness over the entire annular edge can occur - this also will not lead to a failure of the cathode, but can only affect its characteristics, the change of which can be compensated by a tracking electronic cell power system.
В случае использования достаточно тонкого автокатода, не нуждающегося для получения холодной эмиссии при заданных напряжениях в дополнительной заточке, локальный износ оказывает на характеристики автокатода еще меньшее влияние, т.к. приводит лишь к незначительному увеличению расстояния от изнашивающихся областей до анода-антикатода, что также может компенсироваться системой питания ячеек.In the case of using a sufficiently thin autocathode that does not need additional sharpening for given cold emissions at specified voltages, local wear has even less influence on the characteristics of the autocathode, because leads only to a slight increase in the distance from the wearing areas to the anode-anticathode, which can also be compensated by the cell power system.
Описанный процесс изменения формы рабочей кромки способен также компенсировать возможные неточности формы или положения анода-антикатода, который, хотя и заявлен симметричным относительно оси автокатода, может быть выполнен с отклонениями, вызванными несовершенством технологии.The described process of changing the shape of the working edge is also able to compensate for possible inaccuracies in the shape or position of the anode-anticathode, which, although it is declared symmetrical about the axis of the autocathode, can be performed with deviations caused by imperfect technology.
Средства формирования электронных потоков могут включать, кроме автокатода, анода-антикатода и средств питания, также и дополнительные электроды. Для формирования электронных потоков и управления ими (например, для обеспечения сканирования по поверхности антикатода) предлагается выполнить с одной или с обеих сторон катода параллельно плоскости катода один или нескольких управляющих электродов из слоев проводника или полупроводника той же формы в плане, что и катод, с отверстиями такого же, как у катода, или отличающегося диаметра. Управляющие электроды должны быть выполнены так, чтобы исключить холодную эмиссию с них в рабочих режимах источника, т.е. они не должны иметь острых кромок, или быть расположены слишком близко к аноду, или находиться под высоким напряжением по отношению к другим элементам. Управляющие электроды выполнены с возможностью задания их электрических потенциалов относительно катода и других электродов с помощью системы питания ячеек.Means of forming electron streams may include, in addition to the autocathode, anode-anticathode, and power supplies, also additional electrodes. To form and control electron flows (for example, to ensure scanning over the surface of the anticathode), it is proposed to perform one or more control electrodes from one or more layers of a conductor or semiconductor of the same plan shape as the cathode on one or both sides of the cathode, with holes the same as the cathode, or of a different diameter. The control electrodes should be made so as to exclude cold emission from them in the operating modes of the source, i.e. they should not have sharp edges, or be too close to the anode, or be under high voltage with respect to other elements. The control electrodes are configured to set their electrical potentials relative to the cathode and other electrodes using the cell power system.
В варианте предлагаемого изобретения антикатод выполнен из кремния с включениями или покрытием из иного проводящего материала или без включений и покрытия. Выполнение антикатода из кремния обеспечивает хороший теплоотвод, т.к. кремний обладает очень высокой теплопроводностью. Антикатод из кремния или из другого материала может быть покрыт или может иметь объемные включения из материалов с заданным рентгеновским спектром излучения.In an embodiment of the invention, the anti-cathode is made of silicon with inclusions or coating of another conductive material or without inclusions and coating. The implementation of the anticathode of silicon provides a good heat sink, because silicon has a very high thermal conductivity. The anticathode made of silicon or of another material may be coated or may have volume inclusions from materials with a given x-ray emission spectrum.
Для получения источника рентгеновского излучения с характеристиками, близкими к точечному, используются разные приемы: например, в изобретении по патенту US 7469039 широким электронным потоком облучают антикатод малого размера. Предлагаемый источник рентгеновского излучения особенно пригоден для реализации такого варианта, т.к. весь, без потерь, электронный поток приходит, в отличие от указанного выше прототипа точечного источника, на антикатод, т.к. он одновременно является анодом. Для получения характеристик, близких к характеристикам точечного источника, предлагается вариант настоящего изобретения, в котором антикатод в области, совпадающей с плоскостью катода и в смежной с ней области, в которой его поверхность облучается электронами, имеет диаметр поперечного сечения много меньший, чем диаметр отверстия в катоде.Various techniques are used to obtain an x-ray source with near-point characteristics: for example, in the invention of US Pat. No. 7,449,039, a small size anticathode is irradiated with a wide electron beam. The proposed x-ray source is particularly suitable for the implementation of this option, because the entire, without loss, the electron stream arrives, in contrast to the prototype of the point source indicated above, to the anti-cathode, because it is also an anode. To obtain characteristics close to the characteristics of a point source, a variant of the present invention is proposed in which the anticathode in the region coinciding with the plane of the cathode and in the region adjacent to it, in which its surface is irradiated by electrons, has a cross-sectional diameter much smaller than the diameter of the hole in cathode.
Для улучшения теплоотвода предлагается вариант источника, в котором антикатод выполнен в виде конуса, направленного вершиной к окну и расположенного так, что пересекает плоскость отверстия катода, его ось совпадает с осью отверстия катода, а угол при вершине конуса (α) выполнен в пределах от 1° до 120°. Нижний предел, 1°, выбран из следующих соображений: величина увеличения теплоотвода из-за конусности автокатода пропорциональна примерно tg(α/2), где α - угол при вершине конуса, а при малых углах α - интенсивность теплоотвода пропорциональна α/2. Поэтому нижнюю границу значения угла α можно определить из условия, что α/2>0,01, т.к. выигрыш менее 1% в данном случае не оправдывает конструктивного усложнения, т.е. должно выполняться условие α>0,02 рад., или примерно α>1°. Верхний предел выбран 120°, т.к. увеличение этого угла более 120° приводит к слишком крутой зависимости разрядного промежутка от смещения (например, по технологическим причинам) антикатода вдоль оси катода.To improve the heat sink, a source option is proposed in which the anticathode is made in the form of a cone directed at the apex to the window and located so that it intersects the plane of the cathode hole, its axis coincides with the axis of the cathode hole, and the angle at the apex of the cone (α) is made from 1 ° to 120 °. The lower limit, 1 °, is selected from the following considerations: the magnitude of the increase in heat dissipation due to the taper of the cathode is proportional to approximately tg (α / 2), where α is the angle at the apex of the cone, and for small angles α, the heat sink intensity is proportional to α / 2. Therefore, the lower boundary of the angle α can be determined from the condition that α / 2> 0.01, since a gain of less than 1% in this case does not justify a constructive complication, i.e. the condition α> 0.02 rad., or approximately α> 1 °, must be fulfilled. The upper limit is selected 120 °, because an increase in this angle of more than 120 ° leads to a too steep dependence of the discharge gap on the displacement (for technological reasons, for example) of the anticathode along the cathode axis.
Оптимальным для большинства применений является угол α=π/2 рад.Optimal for most applications is the angle α = π / 2 rad.
В варианте изобретения источник является многокатодным и включает множество описанных выше ячеек, выполненных в интегральном исполнении: окно каждой ячейки выполнено в виде мембраны, отделяющей внешнюю среду от рабочего - вакуумированного или газонаполненного - объема, а система питания ячеек выполнена с возможностью включения ячеек и управления ими в заданной последовательности или/и в заданных сочетаниях. Рабочий объем каждой ячейки герметичен, вакуумирован или заполнен газом под требуемым давлением, изолирован от рабочих объемов других ячеек. В рабочий объем может быть помещен и геттер газов для долговременного сохранения вакуума или состава газа-заполнителя.In an embodiment of the invention, the source is multi-cathode and includes many of the above-described cells made in integral design: the window of each cell is made in the form of a membrane that separates the external environment from the working — vacuum or gas-filled — volume, and the cell power system is configured to turn on and control the cells in a given sequence and / or in given combinations. The working volume of each cell is sealed, evacuated or filled with gas under the required pressure, isolated from the working volumes of other cells. A gas getter can also be placed in the working volume for long-term preservation of the vacuum or composition of the filler gas.
На фиг. 1 схематично изображен в разрезе один из вариантов предложенного источника - с заточенной кромкой автокатода и с коническим антикатодом с α=π/2 рад (без необходимых, но общеизвестных элементов: разводки и т.п.).In FIG. 1 schematically shows in section one of the options of the proposed source - with a sharpened edge of the cathode and with a conical anticathode with α = π / 2 rad (without the necessary, but well-known elements: wiring, etc.).
На фиг. 2 схематично изображен в разрезе вариант предложенного источника с тонким автокатодом и антикатодом, форма которого приближает характеристики источника к характеристикам точечного.In FIG. 2 is a schematic sectional view of a variant of the proposed source with a thin autocathode and anticathode, the shape of which brings the characteristics of the source closer to the characteristics of the point source.
Цифрами на чертежах обозначены:The numbers in the drawings indicate:
1 - мембрана-окно,1 - membrane window
2 - антикатод,2 - anticathode,
3 - автокатод,3 - autocathode,
4 - электроды вспомогательные,4 - auxiliary electrodes,
5 - диэлектрические подложка и стенки ячеек.5 - dielectric substrate and cell walls.
Примером конкретного выполнения предлагаемого рентгеновского источника является многокатодный матричный источник 100×100 ячеек, выполненный по планарной кремниевой технологии: изолирующие слои и стенки ячеек выполнены из SiO2, окно выполнено в виде мембраны из SiO2 толщиной 2 мкм, автокатод выполнен в виде мембраны из молибдена толщиной 0,5 мкм с отверстием диаметром 10 мкм, формирующие электроды выполнены с двух сторон от автокатода на расстоянии 2 мкм от него из никеля толщиной 2 мкм и с отверстиями диаметром 10 мкм, анод-антикатод выполнен из кремния в виде конуса с углом при вершине α=π/2 рад, разводка выполнена из Ni, система питания ячеек выполнена также в интегральном исполнении на кремнии в одном кристалле с матрицей ячеек.An example of a specific implementation of the proposed x-ray source is a multi-cathode matrix source of 100 × 100 cells made according to planar silicon technology: the insulating layers and cell walls are made of SiO 2 , the window is made in the form of a membrane of SiO 2 with a thickness of 2 μm, the autocathode is made in the form of a membrane of molybdenum 0.5 μm thick with a hole with a diameter of 10 μm, the forming electrodes are made on two sides of the cathode at a distance of 2 μm from it of nickel with a thickness of 2 μm and with holes with a diameter of 10 μm, the anode-cathode is made of the cone in the form of a cone with an angle at the apex α = π / 2 rad, the wiring is made of Ni, the power supply system of the cells is also made in the integral version on silicon in the same crystal with the matrix of cells.
Предлагаемый источник рентгеновского излучения обеспечивает большую поверхностную мощность рентгеновского излучения, стабильность работы и долговечность, может быть изготовлен в разных вариантах для разных применений с использованием приемов хорошо освоенной планарной технологии.The proposed x-ray source provides a large surface x-ray power, stability and durability, can be manufactured in different versions for different applications using well-developed planar technology.
Claims (7)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015103627/07A RU2586621C2 (en) | 2015-02-04 | 2015-02-04 | X-ray source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015103627/07A RU2586621C2 (en) | 2015-02-04 | 2015-02-04 | X-ray source |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015103627A RU2015103627A (en) | 2015-06-20 |
| RU2586621C2 true RU2586621C2 (en) | 2016-06-10 |
Family
ID=53433610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015103627/07A RU2586621C2 (en) | 2015-02-04 | 2015-02-04 | X-ray source |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2586621C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU177198U1 (en) * | 2017-08-02 | 2018-02-13 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет" (НИУ "БелГУ") | X-ray generator |
| RU182856U1 (en) * | 2018-05-04 | 2018-09-05 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-ray source |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2617840C2 (en) * | 2016-06-16 | 2017-04-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Микрофотоника" | X-ray source |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2044363C1 (en) * | 1994-07-08 | 1995-09-20 | Николай Алексеевич Дюжев | Device for field emission |
| RU2195739C2 (en) * | 2000-02-25 | 2002-12-27 | Государственный научно-исследовательский институт Научно-производственного объединения "Луч" | X-ray tube anode |
| US6876724B2 (en) * | 2000-10-06 | 2005-04-05 | The University Of North Carolina - Chapel Hill | Large-area individually addressable multi-beam x-ray system and method of forming same |
| WO2013184213A2 (en) * | 2012-05-14 | 2013-12-12 | The General Hospital Corporation | A distributed, field emission-based x-ray source for phase contrast imaging |
-
2015
- 2015-02-04 RU RU2015103627/07A patent/RU2586621C2/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2044363C1 (en) * | 1994-07-08 | 1995-09-20 | Николай Алексеевич Дюжев | Device for field emission |
| RU2195739C2 (en) * | 2000-02-25 | 2002-12-27 | Государственный научно-исследовательский институт Научно-производственного объединения "Луч" | X-ray tube anode |
| US6876724B2 (en) * | 2000-10-06 | 2005-04-05 | The University Of North Carolina - Chapel Hill | Large-area individually addressable multi-beam x-ray system and method of forming same |
| WO2013184213A2 (en) * | 2012-05-14 | 2013-12-12 | The General Hospital Corporation | A distributed, field emission-based x-ray source for phase contrast imaging |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU177198U1 (en) * | 2017-08-02 | 2018-02-13 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет" (НИУ "БелГУ") | X-ray generator |
| RU182856U1 (en) * | 2018-05-04 | 2018-09-05 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-ray source |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2015103627A (en) | 2015-06-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8942352B2 (en) | Field emission x-ray tube apparatus for facilitating cathode replacement | |
| US9734980B2 (en) | Graphene serving as cathode of X-ray tube and X-ray tube thereof | |
| US8300769B2 (en) | Microminiature X-ray tube with triode structure using a nano emitter | |
| JP5525104B2 (en) | Electron gun and electron beam device | |
| US20160189909A1 (en) | Target for x-ray generation and x-ray generation device | |
| JP2005056785A (en) | Magnetron | |
| RU2586621C2 (en) | X-ray source | |
| CN101894725B (en) | Ion source | |
| US11183357B2 (en) | MBFEX tube | |
| CN102254762B (en) | Field emission device | |
| TW543061B (en) | Cathode body structure, its manufacturing method, electron gun and cathode-ray tube | |
| EP1744343B1 (en) | Carbon based field emission cathode and method of manufacturing the same | |
| KR20180065861A (en) | Field emission apparatus | |
| JP2007305337A (en) | Microfocus x-ray tube | |
| RU2446506C1 (en) | Cell with field emission and method of its production | |
| JP2013225490A (en) | Array type particle beam irradiation device and control method thereof | |
| JP2019029063A (en) | X-ray tube device | |
| RU2640355C2 (en) | Cathode manufacturing method based on array of field-emission emitters | |
| CN102254765B (en) | Method for preparing field emission device | |
| CN217239379U (en) | X-ray source and horizontal field emission structure thereof | |
| JP5709922B2 (en) | Electron gun and electron beam device | |
| JP2001023506A (en) | Electron emission source and its manufacture and display | |
| EP3649669A1 (en) | A field emission cathode structure for a field emission arrangement | |
| JP2000348601A (en) | Electron emitting source and manufacture thereof, and display device using electron emitting source | |
| JPH10223128A (en) | Electron emitter |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| HZ9A | Changing address for correspondence with an applicant |