RU182856U1 - X-ray source - Google Patents
X-ray source Download PDFInfo
- Publication number
- RU182856U1 RU182856U1 RU2018116583U RU2018116583U RU182856U1 RU 182856 U1 RU182856 U1 RU 182856U1 RU 2018116583 U RU2018116583 U RU 2018116583U RU 2018116583 U RU2018116583 U RU 2018116583U RU 182856 U1 RU182856 U1 RU 182856U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- ray
- anode
- cathode
- drum
- radiation
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 5
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 230000005461 Bremsstrahlung Effects 0.000 description 1
- 206010007269 Carcinogenicity Diseases 0.000 description 1
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000010405 anode material Substances 0.000 description 1
- 230000001363 autoimmune Effects 0.000 description 1
- 150000001573 beryllium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 230000007670 carcinogenicity Effects 0.000 description 1
- 231100000260 carcinogenicity Toxicity 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 1
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 210000004185 liver Anatomy 0.000 description 1
- 210000004072 lung Anatomy 0.000 description 1
- 210000001165 lymph node Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010534 mechanism of action Effects 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 210000004165 myocardium Anatomy 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008506 pathogenesis Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000022558 protein metabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 210000002345 respiratory system Anatomy 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к рентгеновской технике.В результате применения рентгеновского источника обеспечивается повышение срока эксплуатации прибора с повышенной интенсивностью излучения и различной длиной волны, которая зависит от количества используемых отпаянных рентгеновских трубок.В настоящей полезной модели используют барабан с резьбовыми сквозными отверстиями, в который монтируются рентгеновские трубки отпаянного типа. В процессе вращения барабана подбирается оптимальная длина волны рентгеновского излучения. Количество генерируемых длин волн рентгеновского излучения совпадает с количеством используемых рентгеновских трубок. Использование устройства с функцией вариации длины волны позволяет расширить области его применения.The invention relates to an X-ray technique. The use of an X-ray source provides an increase in the life of the device with increased radiation intensity and a different wavelength, which depends on the number of sealed X-ray tubes used. In this utility model, a drum with threaded through holes is used in which the X-ray tubes are mounted sealed tubes. During the rotation of the drum, the optimal wavelength of x-ray radiation is selected. The number of generated x-ray wavelengths is the same as the number of x-ray tubes used. Using a device with the function of varying the wavelength allows you to expand the scope of its application.
Description
Полезная модель относится к рентгеновской технике, а именно к рентгеновским источникам, в частности к компактным рентгеновским источникам.The utility model relates to x-ray technology, namely to x-ray sources, in particular to compact x-ray sources.
В настоящее время современная геология, медицинская техника, системы безопасности, а также передовое аналитическое и технологическое оборудование ощущают острую потребность в создании портативных миниатюрных рентгеновских источников с малым энергопотреблением для оперативного анализа структуры различных объектов. Электронная и зондовая микроскопия позволяют получать изображение поверхности объектов. Во многом свойства материалов связаны с их внутренней структурой. Для получения сведений часто используют сколы и шлифы, либо послойное травление поверхности ионным пучком. Но эти разрушающие и дорогие методы не дают полной и оперативной информации об объекте, о его внутреннем состоянии. Существует ряд проблем как с подготовкой образцов для проведения исследований, так и с интерпретацией полученных результатов. Актуальны в последнее время стали тонкие многослойные структуры, например, использующиеся в качестве анода рентгеновского источника. Особенностью таких структур является прочность и рентгенопрозрачность. Причем прочность структуры выдерживает перепад давлений в 1 атмосферу, то есть обеспечивает возможность работы в вакууме, что необходимо для процесса экспонирования электронами металлического слоя анода. Для контроля таких тонких наноразмерных структур требуется использовать коротковолновые источники. С другой стороны, основание (подложка), на которую наносят тонкие слои, или несколько подложек, сращенных вместе, имеет толщину сотни микрон. Следовательно, в процессе исследования потребуется длинноволновый источник. Поэтому разработка источников рентгеновского излучения с перестраиваемой длиной волны является практически значимой задачей.At present, modern geology, medical equipment, security systems, as well as advanced analytical and technological equipment, feel an urgent need for creating portable miniature x-ray sources with low energy consumption for the operational analysis of the structure of various objects. Electron and probe microscopy provide an image of the surface of objects. In many ways, the properties of materials are related to their internal structure. To obtain information, chips and thin sections are often used, or layer-by-layer etching of the surface by an ion beam. But these destructive and expensive methods do not provide complete and operational information about the object, about its internal state. There are a number of problems with both the preparation of samples for research and the interpretation of the results. Recently, thin multilayer structures, for example, used as an anode of an x-ray source, have become relevant. A feature of such structures is the strength and X-ray transparency. Moreover, the strength of the structure withstands the pressure drop of 1 atmosphere, that is, it provides the ability to work in vacuum, which is necessary for the process of exposure of the metal layer of the anode by electrons. To control such thin nanoscale structures, short-wave sources are required. On the other hand, the base (substrate) on which thin layers are applied, or several substrates spliced together, has a thickness of hundreds of microns. Therefore, a long-wavelength source will be required during the study. Therefore, the development of x-ray sources with a tunable wavelength is a practically significant task.
Известен источник рентгеновского излучения, содержащий автокатод, антикатод, окно, вакуумированный или газонаполненный рабочий объем, средства формирования электронных потоков и систему питания ячеек [1].A known source of x-ray radiation containing a cathode, an anti-cathode, a window, a vacuum or gas-filled working volume, means for generating electronic flows and a cell power system [1].
К недостаткам устройства можно отнести сложный ремонт конструкции, так как демонтаж антикатода является сложной задачей после герметизации источника для вакуумирования или газонаполнения рабочего объема.The disadvantages of the device include complex repair of the structure, since disassembling the anticathode is a difficult task after sealing the source for evacuation or gas filling of the working volume.
Известна конструкция полевой эмиссионной трубки для облегчения замены катода, включающей в себя катод, анод, затвор, соединительный элемент между катодом и затвором, элемент, предотвращающий вращение (смещение) катода [2].The known design of the field emission tube to facilitate the replacement of the cathode, which includes a cathode, anode, gate, a connecting element between the cathode and the gate, an element that prevents rotation (displacement) of the cathode [2].
К недостаткам конструкции можно отнести замену только катода. Например, в катодах автоэмиссионного типа сроки эксплуатации катода и анода сопоставимы. Следовательно, в случае выхода из строя анода придется менять всю трубку целиком, что снижает рентабельность применения рентгеновских источников.The design flaws include replacement of the cathode only. For example, in field emission cathodes, the life of the cathode and anode is comparable. Therefore, in the event of failure of the anode, the entire tube will have to be changed, which reduces the profitability of using x-ray sources.
Известна конструкция рентгеновской трубки и способ генерации поляризованного излучения, содержащая катод и анод, установленные в корпусе, причем по меньшей мере часть анода указанной рентгеновской трубки, которая предназначена для осуществления соударений с электронами, испускаемыми из катода, выполнена, в основном, из бериллия для получения, по меньшей мере, частично поляризованного излучения и она приспособлена для осуществления фильтрации генерируемого при этом рентгеновского излучения, с подавлением, по меньшей мере частичным, слабо поляризованной части спектра, указанного, по меньшей мере, частично поляризованного рентгеновского излучения[3].A known design of an x-ray tube and a method for generating polarized radiation, comprising a cathode and an anode mounted in a housing, at least a portion of the anode of the specified x-ray tube, which is designed to make collisions with electrons emitted from the cathode, is made mainly of beryllium to obtain at least partially polarized radiation and it is adapted for filtering the generated x-ray radiation, with the suppression of at least partial cl or the polarized part of the spectrum indicated by at least partially polarized x-ray radiation [3].
К недостаткам можно отнести токсичность и канцерогенность материала бериллия при формировании анода (для человека), а также в процессе эксплуатации устройства. Экспериментальные исследования и клинические наблюдения свидетельствуют, что в основе механизма действия бериллия на организм человека лежит изменение белкового обмена, ведущее к нарушению деятельности отдельных ферментов и развитию аутоиммунного процесса. Существенную роль в патогенезе заболевания играет и сенсибилизация организма соединениями бериллия. Основным путем проникновения бериллия и его соединений являются органы дыхания; депонируется бериллий в костях, легких, лимфатических узлах, печени, а также в сердечной мышце. Напыление материала анода происходит при непосредственном контакте оператора с анодом. Кроме того, использование одного типа пленки позволяет получить только одну длину волны рентгеновского излучения, что сужает объем информации об объекте.The disadvantages include the toxicity and carcinogenicity of the beryllium material during the formation of the anode (for humans), as well as during the operation of the device. Experimental studies and clinical observations indicate that the basis of the mechanism of action of beryllium on the human body is a change in protein metabolism, leading to disruption of the activity of individual enzymes and the development of an autoimmune process. A significant role in the pathogenesis of the disease is played by the sensitization of the body by beryllium compounds. The main route of penetration of beryllium and its compounds are the respiratory system; Beryllium is deposited in the bones, lungs, lymph nodes, liver, and also in the heart muscle. Spraying of the material of the anode occurs with direct contact of the operator with the anode. In addition, the use of one type of film allows you to get only one wavelength of x-ray radiation, which narrows the amount of information about the object.
Известно техническое решение рентгеновского источника, включающего в себя вращающийся анод, источник электронов. Генерация рентгеновского излучения осуществляется посредством совпадения направлений электронного пучка и центробежной силы, вращающей анод [4].A known technical solution of an x-ray source, including a rotating anode, an electron source. X-ray radiation is generated by coinciding the directions of the electron beam and the centrifugal force rotating the anode [4].
К недостаткам изобретения можно отнести изменение свойств материала анода после разогрева выше значения температуры плавления, что вносит механические напряжения, которые изменяют расстояние между атомами материала, а значит, на фокус рентгеновского излучения. Также сложно осуществить высокую точность совпадения направлений электронного пучка и центробежной силы, действующей на мишень анода. Кроме того, для постоянного расплавления разных областей материала мишени анода, требуется поддерживать высокую эмиссию электронов. Это может привести к тепловой деградации источника электронов.The disadvantages of the invention include the change in the properties of the anode material after heating above the melting point, which introduces mechanical stresses that change the distance between the atoms of the material, and therefore, the focus of x-ray radiation. It is also difficult to achieve high accuracy of coincidence of the directions of the electron beam and the centrifugal force acting on the anode target. In addition, for constant melting of different areas of the target material of the anode, it is required to maintain high electron emission. This can lead to thermal degradation of the electron source.
Наиболее близким по технической сути является рентгеновский источник[5], содержащий вакуумный корпус, анод со сквозными открытыми, или глухими, или и теми и другими каналами с проводящими стенками, выполненными с возможностью подачи на них заданного потенциала и содержащими материал, способный излучать рентгеновское излучение при облучении электронами достаточной энергии, катод, окно для рентгеновского излучения и вспомогательные средства, причем анод выполнен с возможностью непосредственного крепления к корпусу, каналы анода содержат материал или разные материалы мишени на всем их протяжении или на части их длины и выполнены с характерным размером поперечного сечения в пределах от 0,001 до 1,0 от длины каналов, направлены или в одну и ту же точку, называемую фокусом, или в несколько точек, фокусов, или во множество точек, задающих требуемый узор, а окно выполнено или прилегающим к аноду, или в одном узле с ним или в его составе так, что примыкает к поверхности анода со стороны закрытых концов глухих каналов или с любой одной стороны, если все каналы открытые.The closest in technical essence is an X-ray source [5], containing a vacuum housing, an anode with through open, or blind, or both channels with conductive walls, configured to supply them with a given potential and containing material capable of emitting X-ray radiation upon irradiation by electrons of sufficient energy, a cathode, a window for x-ray radiation and auxiliary means, the anode being made with the possibility of direct attachment to the housing, the anode channels containing m material or different target materials along their entire length or part of their length and made with a characteristic cross-sectional size in the range from 0.001 to 1.0 of the channel length, either directed to the same point, called the focus, or to several points , foci, or at the set of points that specify the desired pattern, and the window is either adjacent to the anode, or in one node with it or in its composition so that it adjoins the surface of the anode from the closed ends of the blind channels or from any one side, if all channels are open.
Недостатком прототипа является сложность изготовления рентгеногенерирующих каналов анода под разным углом. Сквозные отверстия в аноде требуют введения дополнительного элемента в конструкцию для герметизации устройства с целью формирования вакуума.The disadvantage of the prototype is the complexity of manufacturing x-ray channels of the anode at different angles. Through holes in the anode require the introduction of an additional element in the structure to seal the device in order to form a vacuum.
Кроме того, теряется часть потока электронов с катода, попадающая в зазоры между отверстиями каналов анода, что снижает максимальную величину рентгеновского излучения, в том числе, в точке фокуса.In addition, a part of the electron flux from the cathode is lost, falling into the gaps between the openings of the anode channels, which reduces the maximum value of x-ray radiation, including at the focal point.
Также интенсивность одного катода недостаточна для генерации достаточного электронного потока для каждого из каналов в аноде. В случае увеличения напряжения на катоде для достижения необходимой интенсивности, повышается вероятность тепловой деградации катода, следовательно, сокращается срок службы.Also, the intensity of one cathode is insufficient to generate a sufficient electron flux for each channel in the anode. In the case of increasing the voltage at the cathode to achieve the required intensity, the likelihood of thermal degradation of the cathode increases, therefore, the service life is reduced.
К недостаткам прототипа можно отнести невозможность получения излучения от конкретного материала мишени анода, так как при каждом экспонировании анода электроны попадают во все каналы одновременно. Следовательно, рентгеновские волны накладываются друг на друга в точке фокуса, что приводит к помехам при детектировании сигнала.The disadvantages of the prototype include the impossibility of obtaining radiation from a specific material of the target of the anode, since with each exposure of the anode the electrons enter all channels simultaneously. Therefore, x-ray waves overlap each other at the focal point, which leads to interference in the detection of the signal.
Задачей настоящей полезной модели является повышение интенсивности рентгеновского излучения, увеличение срока службы прибора, осуществление корректировки длины волны рентгеновского излучения.The objective of this utility model is to increase the intensity of x-ray radiation, increase the life of the device, and adjust the wavelength of x-ray radiation.
Поставленная задача решается тем, что изготавливают рентгеновский источник, включающий в себя вакуумный корпус, катод, анод, содержащие различные материалы для генерации рентгеновского излучения с разной длиной волны, причем применяется матрица в виде барабана с набором отпаянных рентгеновских трубок, включающих катоды и аноды.The problem is solved in that they produce an x-ray source, which includes a vacuum housing, a cathode, an anode containing various materials for generating x-rays with different wavelengths, and a matrix is used in the form of a drum with a set of sealed x-ray tubes, including cathodes and anodes.
В предлагаемой полезной модели применяются отпаянные рентгеновские трубки с вакуумной атмосферой внутри корпуса. Данная трубка монтируется в барабане посредством резьбового соединения. Барабан представляет собой цилиндр со сквозными отверстиями, в которых сделана резьба.In the proposed utility model, sealed X-ray tubes with a vacuum atmosphere inside the housing are used. This tube is mounted in the drum through a threaded connection. The drum is a cylinder with through holes in which the thread is made.
Повышение интенсивности рентгеновского излучения обеспечивается за счет использования для каждой мишени анода отдельного катода, то есть в каждой рентгеновской трубке используется один анод и один катод.The increase in x-ray intensity is ensured by using a separate cathode for each anode target, that is, one anode and one cathode are used in each x-ray tube.
Повышение срока эксплуатации устройства достигается посредством использования нескольких рентгеновских трубок. Трубки используются попеременно, то есть одновременно напряжение подается на одну трубку в барабане. Это позволяет увеличить время работы прибора, а также корректировать длину волны рентгеновского излучения.Increasing the life of the device is achieved through the use of several x-ray tubes. The tubes are used alternately, that is, at the same time voltage is applied to one tube in the drum. This allows you to increase the operating time of the device, as well as adjust the wavelength of x-ray radiation.
На фиг. 1 представлена конструкция устройства, где: 1 - матрица в виде барабана, 2 - зубчатое колесо, 3 - отпаянная рентгеновская трубка, 4 - электрод для подачи напряжения, 5 - источник высокого напряжения, 6 - дисплей, показывающий время, в течение которого подается напряжение, а также величину напряжения. На фиг. 2 показана конструкция барабана с резьбовыми сквозными отверстиями. На фиг. 3 показан макет отпаянной рентгеновской трубки, где: 7 - анод, 8 - вакуумный корпус, 9 - катод.In FIG. 1 shows the design of the device, where: 1 - a matrix in the form of a drum, 2 - a gear wheel, 3 - a sealed X-ray tube, 4 - an electrode for supplying voltage, 5 - a high voltage source, 6 - a display showing the time during which voltage is applied , as well as the magnitude of the voltage. In FIG. 2 shows a drum structure with threaded through holes. In FIG. 3 shows a model of a sealed x-ray tube, where: 7 - anode, 8 - vacuum housing, 9 - cathode.
Рентгеновский источник работает следующим образом. Под действием высокого напряжения электроны с катода инжектируют в анод. В процессе соударения с атомами металлической пленки мишени анода происходит тормозное рентгеновское излучение. Для предотвращения тепловой деградации острия катода переменно подают высокое напряжение на различные рентгеновские трубки.X-ray source works as follows. Under the action of high voltage, electrons from the cathode are injected into the anode. In the process of collision with the atoms of the metal film of the anode target, bremsstrahlung radiation occurs. To prevent thermal degradation of the cathode tip, a high voltage is alternately applied to various x-ray tubes.
Конкретный пример исполнения. Сначала изготавливают матрицу анодов. На кремниевое основание толщиной 670 мкм осаждают на лицевую сторону оксид кремния 600 нм, нитрид кремния 130 нм и слой вольфрама (выбор материала зависит от требуемой длины волны) 400 нм. После этого, осаждают на обратную сторону слой алюминия 500 нм. Проводят фотолитографию с обратной стороны основания. Удаляют последовательно части материалов, незащищенные маской: алюминий, нитрид кремния, оксид кремния и кремний. Затем разделяют структуру на кристаллы. Каждый кристалл представляет собой вольфрамовый анод в форме круга диаметром 1.4 мм на квадратном кремниевом основании со стороной 6 мм.A specific example of execution. First, an anode matrix is made. On a silicon base 670 μm thick, silicon oxide 600 nm, silicon nitride 130 nm and a tungsten layer are deposited on the front side (the choice of material depends on the required wavelength) 400 nm. After that, a 500 nm layer of aluminum is deposited on the reverse side. Photolithography is performed on the back of the base. Sequentially remove parts of materials that are not protected by the mask: aluminum, silicon nitride, silicon oxide and silicon. The structure is then divided into crystals. Each crystal is a circle-shaped tungsten anode with a diameter of 1.4 mm on a square silicon base with a side of 6 mm.
Далее изготавливают матрицу катодов. На кремниевое основание толщиной 670 мкм осаждают на лицевую сторону оксид кремния 600 нм, нитрид кремния 130 нм. Затем проводят фотолитографию для формирования катодных цилиндров. После этого, удаляют незащищенные слои нитрида кремния 130 нм, оксида кремния 600 нм и кремния 3 мкм. Следующим шагом выполняют заточку катодов посредством сухого окисления в атмосфере азота. Далее формируют металлизацию, вскрывают острия катодов для последующего формирования пучка электронов. После этого разделяют пластину на кристаллы.Next, a matrix of cathodes is made. On a silicon base 670 μm thick, silicon oxide 600 nm and silicon nitride 130 nm are deposited on the front side. Photolithography is then carried out to form cathode cylinders. After that, unprotected layers of silicon nitride 130 nm, silicon oxide 600 nm and
Следующим шагом монтируют одну или несколько рентгеновских трубок (в зависимости от того, сколько длин рентгеновского излучения требуется), соединяя кристаллы с отдельными катодами и анодами из матриц. Затем подается напряжение 10 кВ и регистрируется рентгеновское излучение.The next step is to mount one or more x-ray tubes (depending on how many x-ray lengths are required), connecting the crystals with individual cathodes and anodes from the matrices. Then a voltage of 10 kV is applied and X-ray radiation is recorded.
В результате применения рентгеновского источника обеспечивается повышение срока эксплуатации прибора с повышенной интенсивностью излучения и различной длиной волны, которая зависит от количества используемых отпаянных рентгеновских трубок.As a result of using an x-ray source, it is possible to increase the life of the device with an increased radiation intensity and a different wavelength, which depends on the number of sealed x-ray tubes used.
Источники информации:Information sources:
1. Патент РФ №2586621.1. RF patent No. 2586621.
2. Патент США №8942352.2. US patent No. 8942352.
3. Патент РФ №2199112.3. RF patent No. 2199112.
4. Патент РФ №2068210.4. RF patent No. 2068210.
5. Патент РФ №2617840 - прототип.5. RF patent No. 2617840 - prototype.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018116583U RU182856U1 (en) | 2018-05-04 | 2018-05-04 | X-ray source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018116583U RU182856U1 (en) | 2018-05-04 | 2018-05-04 | X-ray source |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU182856U1 true RU182856U1 (en) | 2018-09-05 |
Family
ID=63467215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018116583U RU182856U1 (en) | 2018-05-04 | 2018-05-04 | X-ray source |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU182856U1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU194199U1 (en) * | 2019-10-10 | 2019-12-03 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-RAY SOURCE FOR LITHOGRAPHY |
| RU196038U1 (en) * | 2019-11-05 | 2020-02-14 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-ray source |
| RU197902U1 (en) * | 2019-07-09 | 2020-06-04 | Федеральное государственное унитарное предприятие Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук | MASS SPECTROMETER SAMPLES STORE |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8942352B2 (en) * | 2011-03-29 | 2015-01-27 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Field emission x-ray tube apparatus for facilitating cathode replacement |
| RU2586621C2 (en) * | 2015-02-04 | 2016-06-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-ray source |
| RU2617840C2 (en) * | 2016-06-16 | 2017-04-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Микрофотоника" | X-ray source |
-
2018
- 2018-05-04 RU RU2018116583U patent/RU182856U1/en active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8942352B2 (en) * | 2011-03-29 | 2015-01-27 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Field emission x-ray tube apparatus for facilitating cathode replacement |
| RU2586621C2 (en) * | 2015-02-04 | 2016-06-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-ray source |
| RU2617840C2 (en) * | 2016-06-16 | 2017-04-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Микрофотоника" | X-ray source |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU197902U1 (en) * | 2019-07-09 | 2020-06-04 | Федеральное государственное унитарное предприятие Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук | MASS SPECTROMETER SAMPLES STORE |
| RU194199U1 (en) * | 2019-10-10 | 2019-12-03 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-RAY SOURCE FOR LITHOGRAPHY |
| RU196038U1 (en) * | 2019-11-05 | 2020-02-14 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-ray source |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10068740B2 (en) | Distributed, field emission-based X-ray source for phase contrast imaging | |
| RU182856U1 (en) | X-ray source | |
| Hussain et al. | Plasma focus as a possible x-ray source for radiography | |
| US8755493B2 (en) | Apparatus for producing X-rays for use in imaging | |
| Zakaullah et al. | Scope of plasma focus with argon as a soft X-ray source | |
| US20080049888A1 (en) | High Brightness - Multiple Beamlets Source for Patterned X-ray Production | |
| Filippov et al. | Filippov type plasma focus as intense source of hard X-rays (E/sub x//spl sime/50 keV) | |
| Arndt et al. | A microfocus X-ray tube used with focusing collimators | |
| RU2697258C1 (en) | X-ray source and method of generating x-rays | |
| Bugaev et al. | Low-power X-ray tubes (the current state) | |
| Hussain et al. | X-ray enhancement from a plasma focus by inserting lead at the anode tip | |
| RU194199U1 (en) | X-RAY SOURCE FOR LITHOGRAPHY | |
| US3835341A (en) | Selectable multi-window x-ray tube | |
| RU196038U1 (en) | X-ray source | |
| Zambra et al. | Experimental results on hard x-ray energy emitted by a low-energy plasma focus device: a radiographic image analysis | |
| JPH08236292A (en) | Laser plasma x-ray generation device | |
| Schulz et al. | Investigations of micropinches with comparison to the predictions of the radiative collapse model | |
| Hussain et al. | Low energy plasma focus as an intense X-ray source for radiography | |
| JPH0372183B2 (en) | ||
| Pugatch | Position sensitive micro-strip and micro-pixel detectors | |
| Zakaullah et al. | Improved temperature measurement in a plasma focus by means of a cobalt filter | |
| RU2257638C1 (en) | X-ray tube (alternatives) | |
| Hussain et al. | Study of plasma focus as a hard x-ray source for non-destructive testing | |
| JP7394350B2 (en) | System for characterizing a beam of charged particles and machine for producing a beam of charged particles including such a system | |
| TW202338483A (en) | Light source apparatus |