RU2519077C2 - Способ покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента - Google Patents

Способ покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента Download PDF

Info

Publication number
RU2519077C2
RU2519077C2 RU2009134156/02A RU2009134156A RU2519077C2 RU 2519077 C2 RU2519077 C2 RU 2519077C2 RU 2009134156/02 A RU2009134156/02 A RU 2009134156/02A RU 2009134156 A RU2009134156 A RU 2009134156A RU 2519077 C2 RU2519077 C2 RU 2519077C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
insulating
electronic component
semiconductor
conductive paths
edges
Prior art date
Application number
RU2009134156/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2009134156A (ru
Inventor
Филипп ЛАССЕР
Тьерри ЛЕБЕЙ
Сириль ДЮШЕСН
Original Assignee
Альстом Транспорт Са
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Альстом Транспорт Са filed Critical Альстом Транспорт Са
Publication of RU2009134156A publication Critical patent/RU2009134156A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2519077C2 publication Critical patent/RU2519077C2/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49866Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers characterised by the materials
    • H01L23/49894Materials of the insulating layers or coatings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48472Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49113Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting different bonding areas on the semiconductor or solid-state body to a common bonding area outside the body, e.g. converging wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
    • H01L25/072Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способу покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента, содержащего выполненные рельефно на поверхности изолирующей керамической пластинки токопроводящие дорожки, боковые края которых образуют вместе с поверхностью указанной пластинки, соответственно, края и дно канавок, разделяющих токопроводящие дорожки. Способ включает этап, на котором в указанную канавку наносят гибридный материал, содержащий изолирующее связующее со взвешенными частицами полупроводникового материала, и этап, на котором сверху на токопроводящие дорожки и гибридный материал наносят слой изолирующего материала. Изобретение обеспечивает уменьшение напряжения на подступах к токопроводящим дорожкам, повышение порога появления паразитных разрядов, являющихся причиной пробоя изолирующих материалов, а также улучшение условий старения керамики. 3 н. и 5 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к способу покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента, в частности компонента, содержащего токопроводящие дорожки, выполненные рельефно на поверхности изолирующей керамической пластинки и содержащие боковые края, которые образуют вместе с поверхностью указанной пластинки, соответственно, края и дно канавок, разделяющих токопроводящие дорожки.
Использование интегрированной силовой электроники обеспечивает выигрыш в массе бортовых систем и повышает их надежность. Вместе с тем, неизбежное повышение напряжения в силовых полупроводниках заставляет сомневаться в надежности окружающих их элементов. Если накопленные знания о механизмах возникновения неисправностей в полупроводниках позволили разработать правила определения размеров, которые обеспечивают их надежную работу, то совсем иначе обстоит дело с окружающей их средой, то есть с совокупностью подсистемы и материалов, образующих изоляцию корпуса. Действительно, этот корпус подвергается действию электрических условий, для которых его размерность не обязательно может быть предусмотрена, и, как правило, изолирующие материалы корпуса являются слабой точкой изоляции.
Элементарным решением является увеличение размеров всех этих материалов для обеспечения стойкости к напряжению. Но в результате происходит увеличение плотности мощности при постоянном размере, поэтому увеличение размеров изолирующих материалов имеет свои пределы. При этом необходимо иметь возможность обеспечения работы этих интегральных устройств на уровне предусмотренных напряжений.
Задачей настоящего изобретения является устранение вышеуказанных недостатков.
Указанная задача решается в способе покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента, в частности компонента, содержащего токопроводящие дорожки, выполненные рельефно на поверхности изолирующей керамической пластинки и содержащие боковые края, которые образуют вместе с поверхностью указанной пластинки, соответственно, края и дно канавок, разделяющих токопроводящие дорожки, при этом указанный способ содержит этап, на котором в указанную канавку наносят гибридный материал, содержащий изолирующее связующее, включающее в себя взвешенные частицы из полупроводникового материала.
В качестве изолирующего связующего могут использоваться гели, лаки, клеи или смолы.
В качестве полупроводникового материала могут использоваться оксид цинка, или карбид кремния, или графит, или смесь этих материалов.
В частности, гибридный материал может содержать не менее 18% мас. частиц из полупроводникового материала, в частности от 40 до 60% мас.
Кроме того, способ может содержать этап, на котором сверху на токопроводящие дорожки и гибридный материал наносят слой изолирующего материала.
Указанным изолирующим материалом может быть силиконовый гель.
Объектом настоящего изобретения является также полупроводниковый электронный компонент, содержащий токопроводящие дорожки, выполненные рельефно на поверхности изолирующей керамической пластинки и содержащие боковые края, которые образуют вместе с поверхностью указанной пластинки, соответственно, края и дно канавок, разделяющих токопроводящие дорожки, при этом указанный компонент покрыт оболочкой при помощи описанного выше способа.
Объектом настоящего изобретения является также силовой электронный прибор, содержащий, по меньшей мере, один такой полупроводниковый электронный компонент.
На фиг.1 показан полупроводниковый электронный компонент в соответствии с настоящим изобретением, вид в перспективе;
на фиг.2 - то же, частичный вид в разрезе.
Компонент 1, показанный на фиг.1 и 2, содержит изолирующую керамическую пластинку 2, на которой известным способом выполняют полупроводниковые микросхемы 3, например, в данном случае диоды и транзисторы IGBT (биполярные транзисторы с изолированным затвором). Как известно, микросхемы 3 соединяют проводниками 4 с медными токопроводящими дорожками, нанесенными на пластинку 2, в данном случае с коллекторной дорожкой 5, выходной дорожкой 6 передачи мощности и дорожкой 7 управления микросхемами IGBT.
Дорожки содержат боковые края 8, которые ограничивают канавки 9, дно которых образовано поверхностью керамической пластинки 2.
В известных технических решениях после этого компоненты, такие как описанный выше компонент, покрывают оболочкой из изолирующего геля. В результате на границах раздела медь/силиконовый гель и медь/керамика возникают сильные электрические напряжения.
Согласно изобретению вдоль канавок, разделяющих токопроводящие дорожки, наносят слой 11 гибридного материала, содержащего изолирующее связующее с взвешенными частицами полупроводникового материала. Остальную часть оболочки выполняют при помощи известного изолирующего геля. Слой гибридного материала может иметь толщину от 200 мкм до 500 мкм при толщине дорожки порядка 300 мкм. Изолирующим гелем в гибридном материале может быть, например, силиконовый гель типа гелей, обычно используемых в качестве изолирующего обволакивающего материала, адгезивный клей, лак или смола, например фенолформальдегидная смола или алкидная смола.
Взвешенными полупроводниковыми частицами могут быть, например, оксид цинка, карбид кремния или графит, или смесь этих материалов. При этом полупроводниковый материал должен составлять не менее 18% от общей массы гибридного материала, например от 40% до 60%.
Гибридный материал позволяет растянуть линии потенциала, символизирующие усиление электрического поля, между медными токопроводящими дорожками. Связующее должно обладать высокой диэлектрической стойкостью для обеспечения стойкости к напряжению между дорожками. Полупроводниковые частицы за счет своих свойств позволяют получить ступенчатое изменение напряженности электрического поля. Таким образом, изменение степени содержания частиц, включенных в основу, выбранную для электрической изоляции, позволяет получать более или менее значительную градацию электрического напряжения.
Выбор степени содержания и природы полупроводниковых частиц в гибридном материале позволяет изменять градационный эффект материала. Уменьшение напряжения на подступах к токопроводящим дорожкам обеспечивает повышение порога появления паразитных разрядов, которые являются причиной пробоя изолирующих материалов. Улучшаются также условия старения керамики, выполняющей роль изоляции для подложки.

Claims (8)

1. Способ покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента, содержащего выполненные рельефно на поверхности изолирующей керамической пластинки токопроводящие дорожки, боковые края которых образуют вместе с поверхностью указанной пластинки, соответственно, края и дно канавок, разделяющих токопроводящие дорожки, характеризующийся тем, что он включает этап, на котором в указанную канавку наносят гибридный материал, содержащий изолирующее связующее со взвешенными частицами полупроводникового материала, и этап, на котором сверху на токопроводящие дорожки и гибридный материал наносят слой изолирующего материала.
2. Способ по п.1, в котором в качестве изолирующего связующего используют гели, или лаки, или клеи, или смолы.
3. Способ по п.1, в котором в качестве полупроводникового материала указанных частиц используют оксид цинка, или карбид кремния, или графит, или смесь этих материалов.
4. Способ по любому из пп.1-3, в котором гибридный материал содержит не менее 18% мас. частиц из полупроводникового материала.
5. Способ по п.4, в котором гибридный материал содержит от 40 до 60% мас. частиц из полупроводникового материала.
6. Способ по п.1, в котором указанным изолирующим материалом является силиконовый гель.
7. Полупроводниковый электронный компонент, содержащий выполненные рельефно на поверхности изолирующей керамической пластинки токопроводящие дорожки, боковые края которых образуют вместе с поверхностью указанной пластинки, соответственно, края и дно канавок, разделяющих токопроводящие дорожки, характеризующийся тем, что он покрыт оболочкой, выполненной способом по любому из пп.1-6.
8. Силовой электронный прибор, характеризующийся тем, что он содержит, по меньшей мере, один полупроводниковый электронный компонент по п.7.
RU2009134156/02A 2008-09-12 2009-09-11 Способ покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента RU2519077C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0856159A FR2936097B1 (fr) 2008-09-12 2008-09-12 Procede d'encapsulation d'un composant electronique a semi-conducteur.
FR0856159 2008-09-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009134156A RU2009134156A (ru) 2011-03-20
RU2519077C2 true RU2519077C2 (ru) 2014-06-10

Family

ID=40459851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009134156/02A RU2519077C2 (ru) 2008-09-12 2009-09-11 Способ покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP2166570A1 (ru)
CN (1) CN102263040B (ru)
FR (1) FR2936097B1 (ru)
RU (1) RU2519077C2 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5294374A (en) * 1992-03-20 1994-03-15 Leviton Manufacturing Co., Inc. Electrical overstress materials and method of manufacture
US5669381A (en) * 1988-11-18 1997-09-23 G & H Technology, Inc. Electrical overstress pulse protection
EP0921565A2 (en) * 1997-12-08 1999-06-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Package for semiconductor power device and method for assembling the same
WO2003001594A2 (de) * 2001-06-25 2003-01-03 eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH Hochspannungsmodul und verfahren zu dessen herstellung
RU2248538C2 (ru) * 2000-08-24 2005-03-20 Хитроникс Высокотемпературные схемные структуры

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101221847B (zh) * 2007-12-13 2011-11-16 上海长园维安电子线路保护股份有限公司 贴片式高分子基esd防护器件及其制造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5669381A (en) * 1988-11-18 1997-09-23 G & H Technology, Inc. Electrical overstress pulse protection
US5294374A (en) * 1992-03-20 1994-03-15 Leviton Manufacturing Co., Inc. Electrical overstress materials and method of manufacture
EP0921565A2 (en) * 1997-12-08 1999-06-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Package for semiconductor power device and method for assembling the same
RU2248538C2 (ru) * 2000-08-24 2005-03-20 Хитроникс Высокотемпературные схемные структуры
WO2003001594A2 (de) * 2001-06-25 2003-01-03 eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH Hochspannungsmodul und verfahren zu dessen herstellung

Also Published As

Publication number Publication date
EP2166570A1 (fr) 2010-03-24
RU2009134156A (ru) 2011-03-20
CN102263040B (zh) 2014-03-19
FR2936097B1 (fr) 2010-10-29
CN102263040A (zh) 2011-11-30
FR2936097A1 (fr) 2010-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Ghassemi PD measurements, failure analysis, and control in high‐power IGBT modules
CN105529317B (zh) 嵌入式封装装置
WO2010092905A1 (ja) 絶縁回路基板、インバータ装置、及びパワー半導体装置
DE502008000072D1 (de) Schaltungsanordnung mit Verbindungseinrichtung sowie Herstellungsverfahren hierzu
TWI672784B (zh) 封裝結構及封裝結構的製造方法
DE102014113376A1 (de) Verfahren zum herstellen eines chip-package, chip-package, verfahren zum herstellen einer chip-baugruppe und chip-baugruppe
Waltrich et al. Enhancement of the partial discharge inception voltage of ceramic substrates for power modules by trench coating
US20190139844A1 (en) Method for processing an electrically insulating material providing same with self-adjusting electrical field grading properties for electrical components
US20150091176A1 (en) Electronic Component, Arrangement and Method
JP2021509540A (ja) 高電圧絶縁構造及び方法
Diaham et al. An original in-situ way to build field grading materials (FGM) with permittivity gradient using electrophoresis
KR20130120385A (ko) 기판 및 적어도 하나의 전력반도체 부품용 기판의 제조방법
Bayer et al. Enhancement of the partial discharge inception voltage of DBCs by adjusting the permittivity of the encapsulation
Bayer et al. Stacking of insulating substrates and a field plate to increase the pdiv for high voltage power modules
US10601307B1 (en) Semiconductor device and method for manufacturing the same
JP5328827B2 (ja) パワーモジュール構造、その構造を有するパワーモジュール、およびその構造の製造方法
US20070262472A1 (en) High Withstand Voltage Semiconductor Device Covered with Resin and Manufacturing Method Therefor
JP6790226B2 (ja) 半導体装置
RU2519077C2 (ru) Способ покрытия оболочкой полупроводникового электронного компонента
US20230245957A1 (en) Semiconductor device package with isolated semiconductor die and electric field curtailment
DE102015101200A1 (de) Elektronische Anordnung und Chipbaugruppe
US9666499B2 (en) Semiconductor device with encapsulant
KR20090130612A (ko) 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 제조방법
Dechant et al. A study of dielectric breakdown of a half-bridge switching cell with substrate integrated 650V GaN dies
Deltour et al. Partial Discharges and AC Breakdown Voltage Tests on Thick Metallized Aluminum Nitride Substrates for High Voltage Power Modules

Legal Events

Date Code Title Description
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20150918

PD4A Correction of name of patent owner