RU2459303C1 - Способ изготовления магнитоуправляемого герметизированного контакта - Google Patents
Способ изготовления магнитоуправляемого герметизированного контакта Download PDFInfo
- Publication number
- RU2459303C1 RU2459303C1 RU2011103874/07A RU2011103874A RU2459303C1 RU 2459303 C1 RU2459303 C1 RU 2459303C1 RU 2011103874/07 A RU2011103874/07 A RU 2011103874/07A RU 2011103874 A RU2011103874 A RU 2011103874A RU 2459303 C1 RU2459303 C1 RU 2459303C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- contact
- nano
- magnetically operated
- contact parts
- sealed contact
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Изобретение относится к области электротехники, в частности к способам создания магнитоуправляемых герметизированных контактов, и может быть использовано в промышленном производстве этих приборов. Техническим результатом изобретения является повышение стабильности его работы в разных режимах в течение длительного времени, упрощение технологии создания контакта, исключение влияния попадания посторонних нано- и микрочастиц на свойства контакта, в ряде случаев исключение использования драгметаллов в контактном покрытии и исключение «грязных» и сложных гальванических технологий осаждения покрытий. Технический результат достигается за счет того, что в магнитоуправляемом герметизированном контакте с ферромагнитными контакт-деталями, расположенными в стеклянном корпусе, на контактирующей поверхности контакт-деталей за счет бомбардировки частицами с энергией 300-10000 эВ и дозой не менее чем 1019 см-2 создают нано- и микровыступы. 1 ил.
Description
Изобретение относится к области электротехники, в частности к способам создания магнитоуправляемых герметизированных контактов, и может быть использовано в промышленном производстве этих приборов.
Известен геркон [1], изготовленный в соответствии со способом создания магнитоуправляемого герметизированного контакта (геркона), в котором две ферромагнитные контакт-детали заваривают в герметизируемый стеклянный корпус. На поверхность контакт-детали наносят многослойное покрытие (медь-никель, золото, рутений). Однако в напряженных условиях работы геркона материалы контактного покрытия могут сплавляться между собой и с материалами основы. Всегда сплавы сложного состава имеют худшие параметры, в частности, по сопротивлению, чем однородные материалы. Также коррозия всегда более интенсивно происходит на сплавах, чем на чистых металлах по отдельности. Иногда покрытие может отслаиваться. Контактирование двух контакт-деталей всегда осуществляется в отдельных точках на некоторых участках, так как невозможно изготовить и подобрать конструкцию так, чтобы контактирование осуществлялось по всей контактной поверхности. Фактически контактирующие точки имеются в ограниченном количестве, и их положение меняется в процессе работы геркона. При попадании посторонних диэлектрических микронано-, нано- и микрочастиц в область контакта между двумя контактирующими плоскостями переходное сопротивление геркона увеличивается, так как сразу же между контактирующими плоскостями образуется некоторый разрыв и количество контактирующих точек может значительно снижаться. В случае покрытия из тугоплавких металлов отсутствует достаточная пластичность, необходимая для прирабатывания двух контакт-деталей в процессе тренировки.
Известен геркон [2], в котором две ферромагнитные детали заваривают в стеклянный корпус, а на контактирующей поверхности контакт-деталей создают нано- и микровыступы с размерами от 50 нм до 19 мкм. В таком герконе наблюдается повышение стабильности работы в разных режимах в течение длительного времени, упрощение технологии создания контакта, исключение влияния попадания посторонних нано - и микрочастиц на свойства контакта, в ряде случаев исключение использования драгметаллов и исключение довольно «грязных» и сложных гальванических технологий осаждения покрытий.
Нано- и микровыступы на поверхности контакт-детали создают несколькими способами:
- с помощью оптической, рентгеновской или электронной литографии (аналогично изделиям микронаноэлектроники) [3];
- при пропускании электрических импульсов через микро- и нанопорошок металла, помещаемого на поверхность контактов (типа контактной микро - наносварки);
- при распылении металла в электрических полях или с помощью плазмотрона.
Однако предлагаемые способы создания наноструктурированной поверхности обладают рядом недостатков:
1. Электронная, оптическая и рентгеновская литографии являются сложными, а потому высокозатратными технологиями.
2. Приваривание нано- и микропорошков требует разработки специальной технологии, так как при сварке порошков могут нарушаться необходимые размеры выступов, свойства порошков сильно меняются от условий работы и предварительного хранения, например, из-за гигроскопичности.
3. Те же недостатки проявляются при формировании нано- и микровыступов с помощью плазмотрона.
Задачей предлагаемого изобретения является повышение стабильности работы магнитоуправляемого герметизированного контакта в разных режимах в течение длительного времени, упрощение технологии создания контакта, исключение влияния попадания посторонних микрочастиц на свойства контакта, в ряде случаев исключение использования драгметаллов в контактном покрытии и исключение «грязных» и сложных гальванических технологий осаждения покрытий.
Предлагается способ создания магнитоуправляемого герметизированного контакта, в котором ферромагнитные контакт-детали заваривают в стеклянный корпус, на контактирующей поверхности контакт-деталей создают нано- и микровыступы, отличающийся тем, что нано- и микровыступы формируют бомбардировкой частицами с энергией 300…10000 эВ и дозой облучения более 1019 см-2.
В сравнении с известными способами создания геркона предлагаемый способ обладает рядом преимуществ:
1. Размер нано- и микровыступов и их расположение регулируют за счет дозы облучения и энергии бомбардирующих частиц.
2. В качестве материала выступов используют материал самой контакт-детали. При этом рост нано- и микровыступов происходит с поверхности самой контакт-детали, в результате чего не возникают проблемы, связанные со слабой адгезией покрытия, и повышается качество контакта.
3. Формирующие нано- и микровыступы атомы и ионы газообразующих элементов не загрязняют поверхность, а очищают ее или входят в состав в виде твердых растворов или новой фазы, обладающей хорошими механическими свойствами и достаточной проводимостью.
Диапазон энергий частиц для формирования выбран из следующих соображений. При энергиях ниже 300 эВ не наблюдается формирования нано- и микровыступов, а при энергии частиц более 10 кэВ происходит уже имплантация в более глубокие слои металла.
Величина дозы облучения не менее 1019 см-2 для обработки контактных поверхностей контакт-деталей выбрана исходя из надежного формирования нано- и микроструктуры. Меньшие дозы обработки контактных поверхностей контакт-деталей оказываются недостаточными для образования требуемой нано- и микроструктуры.
Способ изготовления магнитоуправляемого герметизированного контакта может быть реализован в оборудовании, содержащем ионную пушку или плазмотрон, а также при электрическом пробое газового промежутка или при высоковольтном газовом разряде. Установка содержит средства откачки, газовую систему напуска газов, в том числе азота, высоковольтный блок питания. Обрабатываемые контакт-детали помещают на катод и подают высокое напряжение, в результате которого происходит обработка поверхности контакт-деталей ионами. Обрабатываемые детали могут быть помещены на оба электрода, но в этом случае высокое напряжение должно менять полярность.
На фиг.1 представлено изображение сформированного нанорельефа контактной поверхности контакт-детали геркона, полученное с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ).
Специально сформированные нано- и микровыступы обеспечивают возможность работы магнитоуправляемого герметизированного контакта в течение более длительного времени, а также более стабильные параметры в процессе работы.
Обработанные в соответствии с предлагаемым способом герконы выдерживают 100 млн срабатываний без ухудшения сопротивления. У необработанных герконов уже после 100 тысяч срабатываний сопротивление возрастает на 2 порядка (в 100 раз) и более.
Источники информации
1. Патент РФ на изобретение №2279149, МПК Н01Н 1/02, 1/66, опубл. 27.06.2006 г., бюл. №18.
2. Патент РФ на изобретение №2391733, МПК Н01Н 1/66, опубл. 10.06.2010 г., бюл. №16.
3. Оборудование полупроводникового производства / П.Н.Масленников, К.А.Лаврентьев, А.Д.Гингис и др. М.: Радио и связь, 1981, 336 с. (стр.127).
Claims (1)
- Способ создания магнитоуправляемого герметизированного контакта, в котором ферромагнитные контакт-детали заваривают в стеклянный корпус, на контактирующей поверхности контакт-деталей создают нано- и микровыступы, отличающийся тем, что нано- и микровыступы формируют бомбардировкой частицами с энергией 300…10000 эВ и дозой облучения не менее 1019 см-2.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011103874/07A RU2459303C1 (ru) | 2011-02-03 | 2011-02-03 | Способ изготовления магнитоуправляемого герметизированного контакта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011103874/07A RU2459303C1 (ru) | 2011-02-03 | 2011-02-03 | Способ изготовления магнитоуправляемого герметизированного контакта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2459303C1 true RU2459303C1 (ru) | 2012-08-20 |
Family
ID=46936815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011103874/07A RU2459303C1 (ru) | 2011-02-03 | 2011-02-03 | Способ изготовления магнитоуправляемого герметизированного контакта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2459303C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2791089C1 (ru) * | 2022-06-21 | 2023-03-02 | Акционерное общество "Рязанский завод металлокерамических приборов" (АО "РЗМКП") | Способ ионно-плазменного формирования защитного покрытия герконов |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0327157A2 (de) * | 1988-02-01 | 1989-08-09 | Philips Patentverwaltung GmbH | Kontaktwerkstoff und Verfahren zu dessen Herstellung |
SU1624594A1 (ru) * | 1988-06-29 | 1991-01-30 | Куйбышевский политехнический институт им.В.В.Куйбышева | Устройство дл защиты реверсивного тиристорного преобразовател |
SU1721651A1 (ru) * | 1989-07-14 | 1992-03-23 | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом институте им.С.М.Кирова | Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емого герметизированного контакта |
US20050118403A1 (en) * | 2003-12-01 | 2005-06-02 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Electrical member, electrical device, and method of manufacturing the electrical member and electrical device |
RU2391732C2 (ru) * | 2005-06-24 | 2010-06-10 | ЮНИВЕРСАЛ СУПЕРКАПАСИТОРЗ ЭлЭлСи | Гетерогенный электрохимический суперконденсатор и способ изготовления |
-
2011
- 2011-02-03 RU RU2011103874/07A patent/RU2459303C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0327157A2 (de) * | 1988-02-01 | 1989-08-09 | Philips Patentverwaltung GmbH | Kontaktwerkstoff und Verfahren zu dessen Herstellung |
SU1624594A1 (ru) * | 1988-06-29 | 1991-01-30 | Куйбышевский политехнический институт им.В.В.Куйбышева | Устройство дл защиты реверсивного тиристорного преобразовател |
SU1721651A1 (ru) * | 1989-07-14 | 1992-03-23 | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом институте им.С.М.Кирова | Способ изготовлени контактного покрыти магнитоуправл емого герметизированного контакта |
US20050118403A1 (en) * | 2003-12-01 | 2005-06-02 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Electrical member, electrical device, and method of manufacturing the electrical member and electrical device |
RU2391732C2 (ru) * | 2005-06-24 | 2010-06-10 | ЮНИВЕРСАЛ СУПЕРКАПАСИТОРЗ ЭлЭлСи | Гетерогенный электрохимический суперконденсатор и способ изготовления |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
VILLERS R.J.M. AT AL Titanium nanostructures made by local oxidation with the atomic force microscope, Appl. Surf. Sci. 1999, V.144-145, p.584-588. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2791089C1 (ru) * | 2022-06-21 | 2023-03-02 | Акционерное общество "Рязанский завод металлокерамических приборов" (АО "РЗМКП") | Способ ионно-плазменного формирования защитного покрытия герконов |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Anders et al. | On the macroparticle flux from vacuum arc cathode spots | |
TWI393798B (zh) | 成膜裝置及成膜方法 | |
EP2157205A1 (en) | A high-power pulsed magnetron sputtering process as well as a high-power electrical energy source | |
RU2332280C2 (ru) | Способ получения металлического порошка (варианты) | |
JP4563966B2 (ja) | 半導体加工装置用部材およびその製造方法 | |
WO2018084091A1 (ja) | アルミニウム部材、および、アルミニウム部材の製造方法 | |
CN105908134A (zh) | 一种制备聚四氟乙烯电路板的方法和设备 | |
RU2459303C1 (ru) | Способ изготовления магнитоуправляемого герметизированного контакта | |
Li et al. | Gas desorption induced discharge in vacuum and its polarity effect | |
JP2012237032A (ja) | プラズマ発生装置による絶縁性膜層の成膜方法、プラズマ発生装置による導電性膜層の成膜方法、絶縁性膜層、導電性膜層およびプラズマ発生装置 | |
RU2384911C1 (ru) | Способ обработки электродов изолирующих промежутков высоковольтных электровакуумных приборов | |
JP5614873B2 (ja) | 半導体加工装置用部材およびその製造方法 | |
CN1459516A (zh) | 高真空磁过滤弧源 | |
RU2664506C1 (ru) | Способ изготовления геркона с азотированными и наноструктурированными контактными поверхностями | |
Sanders et al. | Magnetic enhancement of cathodic arc deposition | |
RU2665315C1 (ru) | Способ обработки электродов изолирующих промежутков высоковольтных электровакуумных приборов | |
RU2478141C2 (ru) | Способ модификации поверхности материала плазменной обработкой | |
Qiu et al. | Investigation of explosive electron emission sites on surface of polished cathodes in vacuum | |
Zeltser et al. | Fabrication of nitrogen-containing coatings in reed switches by pulsed ion-plasma treatment | |
CN202063988U (zh) | 阴极弧高真空低电流稳定装置 | |
JP2010080126A (ja) | ビームパイプ内における電子又はイオン除去用電極の形成方法及びその電極 | |
CN108103456B (zh) | 阴极电弧装置 | |
Li et al. | The influence of gap distance on cathode spot motion in removing oxide layer on metal surface by vacuum arc | |
JP6751293B2 (ja) | 真空バルブ用接点の製造方法 | |
RU2463382C2 (ru) | Способ и устройство для получения многослойно-композиционных наноструктурированных покрытий и материалов |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160204 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20190402 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20210204 |