RU2449408C1 - Method of making dispenser cathode - Google Patents
Method of making dispenser cathode Download PDFInfo
- Publication number
- RU2449408C1 RU2449408C1 RU2011112544/07A RU2011112544A RU2449408C1 RU 2449408 C1 RU2449408 C1 RU 2449408C1 RU 2011112544/07 A RU2011112544/07 A RU 2011112544/07A RU 2011112544 A RU2011112544 A RU 2011112544A RU 2449408 C1 RU2449408 C1 RU 2449408C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- porous sponge
- sponge
- porous
- active substance
- cathode
- Prior art date
Links
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к электронной технике, а именно к способам изготовления металлопористых катодов для вакуумных электронных приборов.The invention relates to electronic equipment, and in particular to methods for the manufacture of metal-porous cathodes for vacuum electronic devices.
Известен способ изготовления металлопористого катода, включающий запрессовку при давлении 5-10 т/см2 вольфрамового порошка в корпус, выполненный в виде стакана, пропитку полученной пористой губки активным веществом (АВ) при температуре 1700-1800° в водороде и последующее удаление, например, с помощью шлифовки избытка активного вещества с эмитирующей поверхности губки и со стенок корпуса [1].A known method of manufacturing a metal-porous cathode, including pressing in a pressure of 5-10 t / cm 2 tungsten powder in a housing made in the form of a glass, impregnating the obtained porous sponge with an active substance (AB) at a temperature of 1700-1800 ° in hydrogen and subsequent removal, for example, by grinding excess active substance from the emitting surface of the sponge and from the walls of the body [1].
Однако при пропитке губок данным способом возникает сложность размещения на не закрытой стенками корпуса поверхности пористой губки необходимого для ее пропитки количества порошка АВ, так как при изготовлении губок (особенно с малыми поперечными размерами порядка 5 мм и менее) на ее поверхности можно разместить незначительное количество порошка АВ, которое достаточно лишь для пропитки очень тонких губок, а для получения катода с повышенной долговечностью требуется более объемная губка с большим запасом АВ. Для размещения на поверхности такой губки значительного по объему количества порошка АВ необходимо применять дополнительную технологическую оснастку, например, в виде плотно охватывающего цилиндрическую поверхность стакана с губкой высокого тонкостенного молибденового цилиндра, в который засыпают и утрамбовывают порошок АВ и производят пропитку губки в водородной печи, после чего механически удаляют цилиндр, а также избыток твердого расплава АВ с поверхностей стакана и губки. Применение дополнительного молибденового цилиндра и последующее удаление его усложняет технологический процесс изготовления катода. При механическом удалении с поверхностей стакана и губки катода избытка твердого расплава АВ на этих поверхностях образуются сколы, царапины и микротрещины, острые края которых могут стать источником паразитной эмиссии и способствовать возникновению электрических пробоев при работе катода, что снижает его надежность. При этом на поверхности стакана катода, как правило, остаются следы АВ, что препятствует в дальнейшем качественной сборке катода, так как при пайке и сварке с другими конструктивными элементами наличие следов АВ на стакане катода приводит к появлению дефектов в месте пайки или сварки соединяемых элементов, что снижает надежность и механическую прочность катода и препятствует герметизации нерабочих участков губки катода.However, when impregnating the sponges with this method, it becomes difficult to place the amount of AB powder necessary for its impregnation on the surface of the porous sponge on the surface of the porous sponge that is not necessary, since in the manufacture of sponges (especially with small transverse dimensions of about 5 mm or less), a small amount of powder can be placed on its surface AB, which is sufficient only for impregnation of very thin sponges, and to obtain a cathode with increased durability, a more voluminous sponge with a large supply of AB is required. To place a significant amount of AB powder on the surface of such a sponge, it is necessary to use additional technological equipment, for example, in the form of a cup with a sponge of a thin thin-walled molybdenum cylinder tightly covering the cylindrical surface, into which AB powder is poured and tamped and the sponge is impregnated in a hydrogen furnace, after which mechanically removes the cylinder, as well as the excess of solid melt AB from the surfaces of the glass and sponge. The use of an additional molybdenum cylinder and its subsequent removal complicates the cathode manufacturing process. During mechanical removal of excess AB solid melt from the surfaces of the cup and sponge of the cathode, chips, scratches and microcracks are formed on these surfaces, the sharp edges of which can become a source of spurious emission and contribute to the occurrence of electrical breakdowns during cathode operation, which reduces its reliability. Moreover, AB traces, as a rule, remain on the surface of the cathode cup, which hinders further cathode assembly, since when soldering and welding with other structural elements, the presence of AB traces on the cathode cup leads to defects in the place of soldering or welding of the connected elements, which reduces the reliability and mechanical strength of the cathode and prevents the sealing of non-working sections of the sponge of the cathode.
Избыток твердого расплава АВ может быть удален с поверхностей стакана и губки катода иными известными способами, в том числе путем ионного травления [2] или путем травления в кислоте, например во фтористоводородной кислоте [3]. Однако эти способы трудоемки, продолжительны во времени и требуют использования сложного технологического оборудования и вредных химических веществ.Excess solid melt AB can be removed from the surfaces of the cup and sponge of the cathode by other known methods, including by ion etching [2] or by etching in acid, for example in hydrofluoric acid [3]. However, these methods are time-consuming, time-consuming and require the use of sophisticated technological equipment and harmful chemicals.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению (прототипом изобретения) является способ изготовления металлопористого катода, заключающийся в том, что формируют пористую губку катода путем запрессовки порошка тугоплавкого металла (например, вольфрама) в стакан из молибдена, внутренняя высота которого достаточна для формирования в нем пористой губки с припуском относительно заданной рабочей толщины этой губки, причем величина припуска пористой губки составляет не менее 0,2 миллиметров, затем стакан (или несколько стаканов) со сформированной пористой губкой помещают в емкость из молибдена, которую заполняют активным веществом в виде порошка из алюмината или алюмосиликата бария-кальция, который нагревают в водороде до состояния расплава и при условии полного покрытия стакана с пористой губкой расплавом активного вещества при температуре 1700-1800° осуществляют пропитку пористой губки активным веществом, после охлаждения до комнатной температуры удаляют с поверхностей стакана и пористой губки затвердевший расплав активного вещества, высушивают стакан с пористой губкой на воздухе и затем путем механической обработки снимают припуск пористой губки и формируют эмитирующую поверхность катода [4]. При этом процесс удаления затвердевшего расплава активного вещества с поверхностей стакана и пористой губки заключается в следующем: емкость со стаканом с пористой губкой и покрывающим их затвердевшим расплавом активного вещества помещают в воду и выдерживают в ней до образования в области контакта воды с затвердевшим расплавом слоя студенистой массы, который затем смывают струей воды, причем операции помещения емкости в воду с выдержкой в ней и последующим смывом струей воды вновь образовавшегося слоя студенистой массы в области контакта воды с оставшейся в емкости частью затвердевшего расплава активного вещества повторяют многократно до полного удаления активного вещества с поверхностей стакана и губки.Closest to the technical nature of the present invention (the prototype of the invention) is a method of manufacturing a metal-porous cathode, which consists in forming a porous sponge of the cathode by pressing powder of refractory metal (for example, tungsten) into a molybdenum glass whose internal height is sufficient to form in it a porous sponge with an allowance relative to a given working thickness of this sponge, and the size of the allowance of the porous sponge is at least 0.2 millimeters, then a glass (or several cups) with a porous sponge formed is placed in a molybdenum container, which is filled with the active substance in the form of a powder of aluminate or barium-calcium aluminosilicate, which is heated in hydrogen to a state of melt and provided that the glass with a porous sponge is completely coated with a melt of the active substance at a temperature of 1700- 1800 °, the porous sponge is impregnated with the active substance, after cooling to room temperature, the hardened melt of the active substance is removed from the surfaces of the glass and the porous sponge, and dried a channel with a porous sponge in air and then by machining remove the allowance for the porous sponge and form the emitting surface of the cathode [4]. The process of removing the hardened melt of the active substance from the surfaces of the glass and the porous sponge is as follows: a container with a glass with a porous sponge and the hardened melt of the active substance covering them is placed in water and kept in it until a gelatinous mass layer forms in the water contact area with the solidified melt , which is then washed off with a stream of water, and the operation of placing the container in water with soaking in it and subsequent washing with a stream of water of the newly formed layer of gelatinous mass in the intercourse with water remaining in the container part of the solidified active ingredient melt is repeated several times to completely remove the active substance from the nozzle surfaces, and a sponge.
По сравнению с известным вышеуказанным способом изготовления металлопористого катода [1] способ-прототип позволяет получить катоды с большим запасом активного вещества в объемных губках (что обеспечивает высокую долговечность катода) за счет того, что в процессе пропитки губок расплав АВ полностью покрывает размещенные в емкости один или несколько стаканов с губками. При этом для размещения необходимого для пропитки губок количества АВ не требуется дополнительная технологическая оснастка, например в виде высокого тонкостенного молибденового цилиндра для каждого катода. Емкость, в которую помещают стаканы с губками, можно использовать многократно, при этом в нее можно помещать как один, так и несколько (порядка 30-100 штук) стаканов с губками одновременно. Способ-прототип позволяет за один технологический цикл изготовить большое количество катодов с использованием единой технологической оснастки, что упрощает процесс изготовления катодов.Compared with the known method for manufacturing a metal-porous cathode [1], the prototype method allows one to obtain cathodes with a large supply of active substance in bulk jaws (which ensures high cathode durability) due to the fact that in the process of impregnation of the jaws, the AB melt completely covers one or a few glasses with sponges. At the same time, additional technological equipment, for example, in the form of a high thin-walled molybdenum cylinder for each cathode, is not required to accommodate the amount of AB necessary for impregnating the jaws. The container in which the glasses with sponges are placed can be used repeatedly, while it is possible to place both one or several (about 30-100 pieces) glasses with sponges in it at the same time. The prototype method allows for one technological cycle to produce a large number of cathodes using a single technological equipment, which simplifies the process of manufacturing cathodes.
Разложение с помощью воды избытка затвердевшего расплава активного вещества на компоненты, образующие в совокупности студенистую массу, позволяет удалить этот избыток активного вещества с помощью струи проточной воды без применения механической обработки, что упрощает изготовление катода и улучшает условия труда. При этом исключается возможность образования на поверхности стакана и губки дефектов от механической обработки, что позволяет сохранить первоначальную (существующую до пропитки) форму стакана и чистоту его поверхности и способствует повышению точности изготовления катода, улучшению качества последующей его сборки, что приводит к повышению надежности катода. Применение при запрессовке губки стакана с внутренней высотой, достаточной для формирования в нем пористой губки с заданным припуском по толщине, позволяет за счет этого припуска изолировать рабочий объем губки от проникновения в нее излишней влаги в процессе разложения и удаления избытка расплава активного вещества. При этом экспериментально установлено, что внутренняя высота стакана должна превышать заданную рабочую толщину губки на величину припуска губки, равного не менее 0,2 мм. Способ-прототип позволяет изготавливать катоды как с плоской, так и со сферической эмитирующей поверхностью.The decomposition of excess hardened melt of the active substance with water, into components that together form a gelatinous mass, allows this excess of active substance to be removed using a jet of running water without using mechanical treatment, which simplifies the manufacture of the cathode and improves working conditions. This eliminates the possibility of formation of defects on the surface of the glass and the sponge from machining, which allows you to maintain the original (existing prior to impregnation) shape of the glass and the cleanliness of its surface and helps to improve the accuracy of cathode manufacturing, improve the quality of its subsequent assembly, which leads to an increase in the reliability of the cathode. The use of a cup sponge when pressing in a cup with an internal height sufficient to form a porous sponge in it with a given allowance for thickness allows isolating the working volume of the sponge from excess moisture penetrating into it during decomposition and removing excess melt of the active substance. Moreover, it was experimentally established that the internal height of the glass should exceed the specified working thickness of the sponge by the amount of sponge allowance equal to at least 0.2 mm. The prototype method allows the manufacture of cathodes with both a flat and a spherical emitting surface.
Однако в способе-прототипе процесс удаления избытка АВ (то есть процесс удаления затвердевшего расплава АВ) с поверхностей стакана и губки довольно трудоемок, длителен во времени и требует использования большого количества воды. Это обусловлено тем, что процесс удаления избытка АВ включает в себя многократно повторяющиеся операции помещения емкости в воду, выдержки в ней и последующего смыва струей воды вновь образовавшегося слоя студенистой массы в области контакта воды с оставшейся в емкости частью затвердевшего расплава активного вещества. Для ускорения этого процесса емкости со стаканами, в которых запрессованы пористые губки, помещают в воду, нагретую до температуры от 60 до 100°C, но и в этом случае процесс удаления избытка АВ остается длительным и составляет около 2-2,5 часов при использовании в качестве АВ алюмината бария-кальция состава, например, 3BaO·0,5СаО·Al2O3. При использовании в качестве АВ алюмосиликата бария-кальция состава, например, 3Ba·0,5CaO·Al2O3·0,5SiO2 длительность процесса удаления избытка АВ еще увеличивается и составляет около 4-5 часов. Это обусловлено тем, что по сравнению с алюминатом бария-кальция алюмосиликат бария-кальция обладает меньшей гигроскопичностью, поэтому при воздействии на него воды все процессы разложения алюмосиликата с образование студенистой массы будут протекать существенно медленнее. При этом в емкости с водой в области контакта воды с затвердевшим расплавом алюмосиликата бария-кальция помимо студенистой массы нерастворимой гидроокиси алюминия Al(OH)3 образуется еще нерастворимая кремниевая кислота SiO2nH2O, поэтому отмывку стаканов с пористыми губками необходимо производить многократно и преимущественно в горячей воде, что увеличивает трудоемкость и длительность всего процесса, а также общий расход воды.However, in the prototype method, the process of removing excess AB (i.e., the process of removing solidified AB melt) from the surfaces of the beaker and sponge is rather laborious, time-consuming and requires the use of a large amount of water. This is due to the fact that the process of removing excess AB involves repeatedly repeating the operations of placing the container in water, holding it and then washing it off with a water jet of the newly formed gelatinous mass layer in the area of water contact with the part of the solidified melt of the active substance remaining in the container. To accelerate this process, containers with glasses in which porous sponges are pressed are placed in water heated to a temperature of 60 to 100 ° C, but even in this case, the process of removing excess AB remains long and takes about 2-2.5 hours when using as AB barium-calcium aluminate composition, for example, 3BaO · 0,5СаО · Al 2 O 3 . When using barium-calcium aluminosilicate as an AB, for example, 3Ba · 0.5CaO · Al 2 O 3 · 0.5SiO 2, the duration of the process for removing excess AB still increases and is about 4-5 hours. This is due to the fact that, compared with barium-calcium aluminate, barium-calcium aluminosilicate has less hygroscopicity, therefore, when exposed to water, all decomposition processes of aluminosilicate with the formation of a gelatinous mass will proceed much more slowly. Moreover, in addition to the gelatinous mass of insoluble aluminum hydroxide Al (OH) 3 , water insoluble silicic acid SiO 2 nH 2 O forms in addition to the gelatinous mass of water in the water contact region with the hardened melt of barium-calcium silicate; therefore, glasses with porous sponges must be washed repeatedly and mainly in hot water, which increases the complexity and duration of the entire process, as well as the total flow of water.
Задачей, на решение которой направлено изобретение, является создание технологически простого и низкозатратного способа изготовления надежных и долговечных металлопористых катодов с повышенным запасом активного вещества для мощных вакуумных электронных приборов.The problem to which the invention is directed, is to create a technologically simple and low-cost method for manufacturing reliable and durable metal-porous cathodes with an increased supply of active substance for powerful vacuum electronic devices.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является ускорение процесса изготовления катода и снижение его трудоемкости за счет сокращения времени удаления избытка АВ с поверхностей стакана и пористой губки катода и снижения при этом общего расхода воды.The technical result of the invention is to accelerate the process of manufacturing the cathode and reducing its complexity by reducing the time to remove excess AB from the surfaces of the glass and the porous sponge of the cathode and at the same time reduce the total water consumption.
Технический результат достигается тем, что в способе изготовления металлопористого катода, заключающемся в том, что формируют пористую губку катода путем запрессовки порошка тугоплавкого металла в стакан из молибдена, внутренняя высота которого достаточна для формирования в нем пористой губки с припуском относительно заданной рабочей толщины этой губки, причем величина припуска пористой губки составляет не менее 0,2 миллиметров, затем стакан со сформированной пористой губкой помещают в емкость из молибдена, которую заполняют активным веществом в виде порошка из алюмината или алюмосиликата бария-кальция, который нагревают в водороде до состояния расплава и при условии полного покрытия стакана с пористой губкой расплавом активного вещества при температуре 1700-1800°С осуществляют пропитку пористой губки активным веществом, после охлаждения до комнатной температуры удаляют затвердевший расплав активного вещества с поверхностей стакана и пористой губки, высушивают стакан с пористой губкой на воздухе и затем путем механической обработки снимают припуск пористой губки и формируют эмитирующую поверхность катода, при этом для удаления затвердевшего расплава активного вещества с поверхностей стакана и пористой губки емкость со стаканом с пористой губкой и покрывающим их затвердевшим расплавом активного вещества помещают в водный раствор аммиака и выдерживают в нем до полной очистки поверхностей стакана и пористой губки от расплава активного вещества.The technical result is achieved by the fact that in the method of manufacturing a metal-porous cathode, which consists in forming a porous sponge of the cathode by pressing powder of refractory metal into a glass of molybdenum, the inner height of which is sufficient to form a porous sponge in it with an allowance relative to a given working thickness of this sponge, moreover, the allowance for the porous sponge is at least 0.2 millimeters, then the glass with the formed porous sponge is placed in a molybdenum container, which is filled with active a substance in the form of a powder of aluminate or barium-calcium aluminosilicate, which is heated in hydrogen to a melt state and provided that the glass with a porous sponge is completely coated with the active substance melt at a temperature of 1700-1800 ° C, the porous sponge is impregnated with the active substance after cooling to room temperature the hardened melt of the active substance is removed from the surfaces of the glass and the porous sponge, the glass with the porous sponge is dried in air, and then the machining of the porous sponge is removed by machining and an emitting surface of the cathode is formed, in order to remove the hardened melt of the active substance from the surfaces of the beaker and the porous sponge, the container with the beaker with the porous sponge and the hardened melt of the active substance covering them is placed in an aqueous ammonia solution and kept there until the surfaces of the beaker and the porous sponge are completely cleaned from melt of the active substance.
В предлагаемом способе в емкость из молибдена помещают несколько стаканов со сформированными пористыми губками и осуществляют их одновременную пропитку с последующим удалением затвердевшего расплава активного вещества с поверхностей стаканов и губок.In the proposed method, several glasses with formed porous sponges are placed in a molybdenum container and they are simultaneously impregnated with the subsequent removal of the hardened melt of the active substance from the surfaces of the glasses and sponges.
В предлагаемом способе после удаления затвердевшего расплава активного вещества с поверхностей стакана и пористой губки их промывают струей воды.In the proposed method, after removing the hardened melt of the active substance from the surfaces of the glass and the porous sponge, they are washed with a stream of water.
В предлагаемом способе для запрессовки используют порошок вольфрама.In the proposed method for pressing use tungsten powder.
В предлагаемом способе изготовления металлопористого катода (так же, как в прототипе) при формировании пористой губки применяют стакан из молибдена с внутренней высотой, достаточной для формирования в нем пористой губки с заданным припуском по толщине, что позволяет за счет этого припуска избежать удаление АВ из пор губки в ее рабочем объеме при удалении затвердевшего расплава АВ с поверхностей стакана, а также позволяют изолировать рабочий объем губки от проникновения в нее излишней влаги как при удалении затвердевшего АВ с поверхностей стакана и губки в водном растворе аммиака, так и при последующем промывании их струей воды. При этом экспериментально установлено, что внутренняя высота стакана должна превышать заданную рабочую толщину губки на величину припуска губки, равного не менее 0,2 мм. Изобретение позволяет изготавливать катоды как с плоской, так и со сферической эмитирующей поверхностью.In the proposed method for manufacturing a metal-porous cathode (as in the prototype) when forming a porous sponge, a molybdenum glass with an internal height sufficient to form a porous sponge in it with a given allowance in thickness is used, thereby avoiding the removal of AB from the pores sponge in its working volume when removing the hardened AB melt from the surfaces of the glass, and also allow isolating the working volume of the sponge from the penetration of excess moisture as when removing the hardened AB from the surface th nozzle and a sponge in an aqueous solution of ammonia, and in the subsequent washing them with water. Moreover, it was experimentally established that the internal height of the glass should exceed the specified working thickness of the sponge by the amount of sponge allowance equal to at least 0.2 mm. The invention allows the manufacture of cathodes with both a flat and a spherical emitting surface.
В предлагаемом способе изготовления металлопористого катода (так же, как в способе-прототипе) размещение одного или несколько стаканов с губками в емкости из молибдена, заполнение ее порошком АВ в количестве, обеспечивающем полное покрытие расплавом этого порошка стаканов с губками, позволяет создать условия для качественной пропитки активным веществом этих губок, что обеспечивает высокую долговечность катода. При этом количество размещаемого на поверхности губок порошка АВ может быть ограничено только высотой выбираемой емкости, в которую помещают стаканы с губками. Для размещения необходимого для пропитки губки количества АВ не требуется дополнительная технологическая оснастка. Емкость, в которую помещают один или несколько стаканов (порядка 30-100 штук) с губками, можно использовать многократно. Таким образом, за один технологический цикл можно изготовить большое количество катодов с использованием единой технологической оснастки, что упрощает процесс изготовления катодов.In the proposed method for manufacturing a metal-porous cathode (as in the prototype method), placing one or more glasses with sponges in a molybdenum container, filling it with AB powder in an amount that ensures full coverage of the glasses with sponges with a melt of powder, allows to create conditions for high-quality impregnation of the active substance of these sponges, which ensures high cathode durability. In this case, the amount of AB powder placed on the surface of the sponges can be limited only by the height of the selected container into which the glasses with sponges are placed. To accommodate the amount of AB necessary for impregnation of the sponge, additional technological equipment is not required. A container in which one or more glasses (about 30-100 pieces) with jaws are placed can be used repeatedly. Thus, in a single technological cycle, a large number of cathodes can be manufactured using a single technological equipment, which simplifies the process of manufacturing cathodes.
В отличие от способа-прототипа, в предлагаемом способе изготовления металлопористого катода для удаления затвердевшего расплава активного вещества с поверхностей стаканов и губок емкость, содержащую покрытые затвердевшем расплавом активного вещества стаканы с губками, помещают в водный раствор аммиака, с помощью которого затвердевший расплав активного вещества преобразуется (вследствие протекания химических реакций в водном растворе аммиака) в растворимые в воде соединения, в результате чего поверхности стаканов и губок, а также внутренняя поверхность емкости, в которой они размещены, очищаются от затвердевшего расплава активного вещества. После извлечения стаканов с губками из ванны они могут быть промыты струей воды для удаления с их поверхностей остатков продуктов химических реакций, после чего стаканы с губками высушивают на воздухе.In contrast to the prototype method, in the proposed method for manufacturing a metal-porous cathode for removing the hardened melt of the active substance from the surfaces of the glasses and jaws, a container containing glasses with jaws coated with the hardened melt of the active substance is placed in an aqueous ammonia solution by which the hardened melt of the active substance is converted (due to chemical reactions in an aqueous solution of ammonia) into water-soluble compounds, as a result of which the surfaces of glasses and sponges, as well as friction surface of the container in which they are located, are cleared from the solidified melt of the active substance. After removing the glasses with sponges from the bath, they can be washed with a jet of water to remove residues of chemical reaction products from their surfaces, after which the glasses with sponges are dried in air.
Операции очистки поверхности стаканов с губками в ванне с водным раствором аммиака и промывки их струей воды проводят однократно, что позволяет значительно снизить время и трудоемкость этого процесса. Например, при использовании 12% раствора аммиака этот процесс длится около 1,5 часов для алюмината бария-кальция и около 2 часов - для алюмосиликата бария-кальция. Процесс может быть ускорен при использовании более высокой концентрации аммиака в воде ванны. Например, при использовании 25% раствора аммиака этот процесс длится около 1 часа для алюмината бария-кальция и около 1,5 часов - для алюмосиликата бария-кальция. Водный раствор аммиака в ванне имеет комнатную температуру, его дополнительный нагрев не требуется. Общий расход используемой в этом процессе воды также незначителен по сравнению с прототипом. Ванна, в которой проводят очистку поверхностей стаканов и губок от расплава АВ, может быть изготовлена, например, из стекла или из углеродистой стали, так как водный раствор аммиака не разрушает черных металлов, при этом ванну можно использовать многократно, то есть для изготовления большого количества катодов.The operation of cleaning the surface of the glasses with sponges in a bath with an aqueous solution of ammonia and washing them with a stream of water is carried out once, which can significantly reduce the time and complexity of this process. For example, when using a 12% ammonia solution, this process lasts about 1.5 hours for barium-calcium aluminate and about 2 hours for barium-calcium aluminosilicate. The process can be accelerated by using a higher concentration of ammonia in the bath water. For example, when using a 25% ammonia solution, this process takes about 1 hour for barium-calcium aluminate and about 1.5 hours for barium-calcium aluminosilicate. The aqueous solution of ammonia in the bath has a room temperature, its additional heating is not required. The total consumption of water used in this process is also negligible compared to the prototype. A bath in which the surfaces of glasses and sponges are cleaned from AB melt can be made, for example, of glass or carbon steel, since an aqueous solution of ammonia does not destroy ferrous metals, while the bath can be used repeatedly, that is, for the manufacture of large quantities cathodes.
Таким образом, в предлагаемом способе (так же, как в способе-прототипе) удаление затвердевшего расплава активного вещества с поверхностей стаканов и губок происходит без применения механической обработки, что позволяет исключить возможность образования на поверхности стакана и губки каждого катода дефектов от механической обработки и в результате этого сохранить первоначальную (существующую до пропитки) форму стакана и чистоту его поверхности, способствует повышению точности изготовления катода, улучшению качества последующей его сборки и повышению надежности катода. Однако, в отличие от способа-прототипа, предлагаемый способ позволяет значительно сократить время удаления избытка АВ с поверхностей стакана и пористой губки и за счет этого сократить время изготовления катода, а также снизить его трудоемкость и общий расход используемой воды.Thus, in the proposed method (in the same way as in the prototype method), the hardened melt of the active substance is removed from the surfaces of the glasses and sponges without using mechanical treatment, which eliminates the possibility of formation of defects from mechanical processing on the surface of the glass and sponge of each cathode and As a result of this, the original (existing prior to impregnation) shape of the glass and the cleanliness of its surface are maintained, which improves the accuracy of cathode manufacturing and improves the quality of its subsequent c orc and improve the reliability of the cathode. However, unlike the prototype method, the proposed method can significantly reduce the time to remove excess AB from the surfaces of the glass and the porous sponge and thereby reduce the time of manufacture of the cathode, as well as reduce its complexity and total consumption of water used.
Способ осуществляется следующим образом.The method is as follows.
По известной технологии из порошка тугоплавкого металла (например, из вольфрамового порошка) формируют губку путем запрессовки его при рабочем давлении 8-12 т/см2 в стакан из молибдена. При этом внутренняя высота стакана должна быть достаточна для формирования в нем пористой губки с припуском по толщине, составляющем не менее 0,2 миллиметра относительно ее заданной рабочей толщины. Пропитывают сформированную пористую губку активным веществом. Для качественной пропитки губки требуется выполнение следующего условия: в течение всего времени пропитки поверхность губки должна быть полностью покрыта расплавом активного вещества, что создает избыточное давление расплава на поверхности губки, обеспечивающее выдавливание остаточных атмосферных газов из пор губки и заполнение их активным веществом (до самых нижних слоев губки). Для выполнения этого условия один или несколько стаканов с запрессованными в них губками помещают в глубокую емкость из молибдена. Засыпают в емкость активное вещество (алюминат или алюмосиликат бария-кальция) в виде порошка мелкого помола в количестве, обеспечивающем полное покрытие всех стаканов с губками активным веществом при его расплавлении. Таким образом, появляется возможность изготовления катода с объемными губками с большим запасом активного вещества, обеспечивающим высокую долговечность катода. Заполненную активным веществом емкость помещают в водородную печь и нагревают до температуры 1700-1800°C. Порошок активного вещества плавится, заполняя емкость до уровня, превышающего высоту стаканов, в результате чего стаканы с губками оказываются полностью погруженными в расплав активного вещества, который, проникая в поры, пропитывает губки. Стаканы с губками выдерживают в расплаве в течение 3-7 минут для пропитки губок активным веществом на всю толщину.According to known technology, a sponge is formed from a powder of refractory metal (for example, from tungsten powder) by pressing it at a working pressure of 8-12 t / cm 2 into a molybdenum glass. In this case, the inner height of the glass should be sufficient to form a porous sponge in it with an allowance in thickness of at least 0.2 millimeters relative to its predetermined working thickness. They impregnate the formed porous sponge with the active substance. For high-quality impregnation of the sponge, the following conditions must be met: during the entire impregnation time, the surface of the sponge must be completely covered with the active substance melt, which creates excessive melt pressure on the surface of the sponge, which extrudes residual atmospheric gases from the pores of the sponge and fills them with the active substance (to the lowest layers of sponge). To fulfill this condition, one or more glasses with sponges pressed into them are placed in a deep molybdenum container. The active substance (aluminate or barium-calcium aluminosilicate) is poured into the container in the form of a finely ground powder in an amount providing full coverage of all glasses with sponges with the active substance during its melting. Thus, it becomes possible to manufacture a cathode with volumetric jaws with a large supply of active substance, providing high cathode durability. The container filled with the active substance is placed in a hydrogen furnace and heated to a temperature of 1700-1800 ° C. The powder of the active substance melts, filling the tank to a level exceeding the height of the glasses, as a result of which the glasses with sponges are completely immersed in the melt of the active substance, which penetrates the pores and impregnates the sponges. Glasses with sponges are kept in the melt for 3-7 minutes to impregnate the sponges with the active substance over the entire thickness.
После охлаждения до комнатной температуры емкость со стаканами с пористыми губками и покрывающим их затвердевшим расплавом активного вещества помещают в водный раствор аммиака. Для этого указанную емкость устанавливают в ванну, снабженную герметично закрывающейся крышкой, и заполняют ванну водным раствором аммиака так, чтобы он полностью покрывал находящиеся в затвердевшем расплаве стаканы с губками. Либо сначала заполняют ванну до заданного уровня водным раствором аммиака, а затем погружают в него (устанавливают на дно ванны) указанную емкость. Для предотвращения испарения аммиака из ванны и, следовательно, для предотвращения уменьшения концентрации аммиака в его водном растворе крышку ванны герметично закрывают и при закрытой крышке выдерживают в этом водном растворе аммиака емкость с затвердевшим расплавом и стаканами с губками до полной очистки поверхностей стакана и пористой губки от расплава активного вещества, которое происходит вследствие протекания в ванне следующих химический реакций.After cooling to room temperature, a container with glasses with porous sponges and a solidified melt of the active substance covering them is placed in an aqueous ammonia solution. To do this, the indicated container is installed in a bath equipped with a hermetically sealed lid, and the bath is filled with an aqueous solution of ammonia so that it completely covers the glasses with sponges in the solidified melt. Or, first, the bath is filled to a predetermined level with an aqueous solution of ammonia, and then immersed in it (set at the bottom of the bath) is the indicated capacity. To prevent the evaporation of ammonia from the bath and, therefore, to prevent a decrease in the concentration of ammonia in its aqueous solution, the bath lid is sealed and the container with hardened melt and glasses with sponges is kept in this ammonia water solution until the surfaces of the glass and porous sponge are completely cleaned from melt of the active substance, which occurs due to the following chemical reactions in the bath.
Во-первых, аммиак, растворенный в воде, вступая в химические реакции с такими компонентами активных веществ губок катодов, как оксид алюминия Al2O3 (при использовании в качестве активного вещества алюмината бария-кальция) или оксид кремния SiO2 (при использовании в качестве активного вещества алюмосиликата бария-кальция), образует растворимые в воде соли аммония, а именно тетрагидроксоалюминат аммония или силикат аммония соответственно:Firstly, ammonia dissolved in water, entering into chemical reactions with such components of the active substances of the cathode sponges as alumina Al 2 O 3 (when using barium-calcium aluminate as an active substance) or silicon oxide SiO 2 (when used in as the active substance of barium-calcium aluminosilicate), forms water-soluble ammonium salts, namely ammonium tetrahydroxoaluminate or ammonium silicate, respectively:
Al2O3+2NH3+5H2O→2NH4[Al(OH)4]Al 2 O 3 + 2NH 3 + 5H 2 O → 2NH 4 [Al (OH) 4 ]
SiO2+2NH3+H2O→(NH4)2SiO3.SiO 2 + 2NH 3 + H 2 O → (NH 4 ) 2 SiO 3 .
Во-вторых, при взаимодействии с водой оксида бария BaO и оксида кальция CaO, входящих в состав алюмината бария-кальция или алюмосиликата бария-кальция, в ванне образуются растворимые в воде гидроксиды бария и кальция соответственно:Secondly, when water barium oxide BaO and calcium oxide CaO, which are part of barium-calcium aluminate or barium-calcium aluminosilicate, interact with water, water-soluble barium and calcium hydroxides are formed, respectively:
BaO+H2O→Ba(OH)2 BaO + H 2 O → Ba (OH) 2
CaO+H2O→Ca(OH)2.CaO + H 2 O → Ca (OH) 2 .
При использовании предлагаемого способа длительность процесса полной очистки поверхностей стаканов и пористых губок от расплава активного вещества составляет, в зависимости от состава активного вещества и концентрации аммиака в воде ванны, примерно 1-2 часа. Затем открывают крышку ванны и извлекают из ванны стаканы с губками. Для удаления с поверхностей стаканов и губок остатков солей аммония и гидроксидов бария и кальция они могут быть однократно промыты в течение 3-5 минут струей проточной воды (без дополнительного подогрева). Очищенные стаканы с губками высушивают на воздухе до полного удаления влаги. Затем путем механической обработки, например точением на токарном станке, снимают припуск каждой губки (не менее 0,2 миллиметров), который включает в себя поверхностный слой губки, из пор которого может быть частично удалено активное вещество вследствие протекания в ванной с водным раствором аммиака вышеописанных химических реакций. Этот припуск позволяет также изолировать рабочий объем губки от проникновения в нее излишней влаги при удалении затвердевшего АВ с поверхностей стакана и губки в водном растворе аммиака и при последующем однократном промывании их струей воды.When using the proposed method, the duration of the process of completely cleaning the surfaces of the glasses and porous sponges from the melt of the active substance is, depending on the composition of the active substance and the concentration of ammonia in the bath water, about 1-2 hours. Then open the lid of the bath and remove glasses from the bath with sponges. To remove residues of ammonium salts and barium and calcium hydroxides from the surfaces of glasses and sponges, they can be washed once for 3-5 minutes with a stream of running water (without additional heating). The cleaned glasses with sponges are dried in air until the moisture is completely removed. Then, by machining, for example by turning on a lathe, the allowance for each sponge (at least 0.2 millimeters) is removed, which includes the surface layer of the sponge, from the pores of which the active substance can be partially removed due to the above described in the bath with an aqueous ammonia solution chemical reactions. This allowance also allows you to isolate the working volume of the sponge from the penetration of excess moisture into it when removing the hardened AB from the surfaces of the glass and the sponge in an aqueous solution of ammonia and subsequent subsequent washing with a stream of water.
Во время выполнения операции снятия припуска губки или после выполнения этой операции формируют эмитирующую поверхность каждого катода.During the operation of removing the sponge allowance or after performing this operation, an emitting surface of each cathode is formed.
Примеры конкретного выполнения.Examples of specific performance.
Пример 1. Для изготовления металлопористого катода вольфрамовый порошок с размером частиц 6-10 мкм и массой 0,5 г запрессовывают при давлении 12 т/см2 в 50 молибденовых стаканов с внутренним диаметром 3,7 мм, внутренней высотой 3 мм, толщиной стенки 0,5 мм и толщиной дна 1 мм, что обеспечивает формирование губок толщиной 3 мм, то есть с припуском 0,5 мм при рабочей толщине губки 2,5 мм. Затем стаканы с губками укладывают (на боковые поверхности стаканов) в молибденовую емкость с внутренним диаметром 50 мм и внутренней высотой 20 мм, которую плотно заполняют алюминатом бария-кальция в виде порошка мелкого помола, покрывающим стаканы с губками (количество порошка рассчитывается, исходя из условия обеспечения полного покрытия всех стаканов с губками активным веществом после его расплавления). Заполненную порошком емкость нагревают до температуры 1750°С в водороде и осуществляют пропитку губок в течение 5 минут, а затем охлаждают до комнатной температуры. После пропитки губок уровень застывшего расплава активного вещества превышает уровень верхних торцов стаканов с губками на величину 1-3 мм. Емкость с затвердевшим расплавом и стаканами с губками помещают в ванну (глубиной не менее 100 мм), снабженную герметично закрывающейся крышкой, заполняют ванну водным 12%-ным раствором аммиака при комнатной температуре (до уровня не менее 80 мм), закрывают крышку ванны и выдерживают в этом растворе в ванне емкость с застывшим расплавом и стаканами с губками в течение 1,5 часов до полной очистки поверхностей стаканов и губок от расплава алюмината бария-кальция. Затем открывают крышку ванны, извлекают из ванны стаканы с губками и однократно промывают их в течение 5 минут струей проточной воды для удаления осевших на их поверхности продуктов химических реакций. Очищенные и промытые стаканы с губками высушивают на воздухе при температуре около 90 в течение 15 минут. Указанное время сушки подбирается экспериментально путем контроля изменения веса стаканов с губками: они считаются высушенными, когда их вес в процессе сушки остается постоянным. После этого стачивают губку (одновременно с боковой стенкой стакана) на величину 0,5 мм до получения рабочей толщины губки, равной 2,5 мм. Полученная после точения плоская поверхность губки является эмитирующей поверхностью катода.Example 1. For the manufacture of a metal-porous cathode, a tungsten powder with a particle size of 6-10 μm and a weight of 0.5 g is pressed into a pressure of 12 m / cm 2 in 50 molybdenum cups with an inner diameter of 3.7 mm, an internal height of 3 mm, and a wall thickness of 0 , 5 mm and a bottom thickness of 1 mm, which ensures the formation of jaws with a thickness of 3 mm, that is, with an allowance of 0.5 mm with a working thickness of the sponge 2.5 mm. Then the glasses with sponges are placed (on the side surfaces of the glasses) in a molybdenum container with an inner diameter of 50 mm and an internal height of 20 mm, which is densely filled with barium-calcium aluminate in the form of fine grinding powder, covering the glasses with sponges (the amount of powder is calculated based on the condition ensuring full coverage of all glasses with sponges with the active substance after its melting). The container filled with powder is heated to a temperature of 1750 ° C in hydrogen and the sponges are impregnated for 5 minutes, and then cooled to room temperature. After impregnation of the sponges, the level of the solidified melt of the active substance exceeds the level of the upper ends of the glasses with sponges by 1-3 mm. A container with hardened melt and glasses with sponges is placed in a bath (at least 100 mm deep) equipped with a hermetically sealed lid, fill the bath with aqueous 12% ammonia solution at room temperature (to a level of at least 80 mm), close the bath lid and stand in this solution in the bath, a container with a solidified melt and glasses with sponges for 1.5 hours until the surfaces of the glasses and sponges are completely cleaned of the melt of barium-calcium aluminate. Then open the lid of the bath, remove the glasses with sponges from the bath and rinse them once for 5 minutes with a stream of running water to remove the chemical reaction products settled on their surface. The cleaned and washed glasses with sponges are dried in air at a temperature of about 90 for 15 minutes. The specified drying time is selected experimentally by controlling the change in weight of the glasses with sponges: they are considered dried when their weight during the drying process remains constant. After that, grind the sponge (simultaneously with the side wall of the glass) by a value of 0.5 mm to obtain a working thickness of the sponge equal to 2.5 mm. The flat surface of the sponge obtained after turning is the emitting surface of the cathode.
Пример 2. Для изготовления металлопористого катода вольфрамовый порошок запрессовывают в молибденовые стаканы так же, как в примере 1 (размеры стаканов и губок те же). После запрессовки вольфрамового порошка стаканы с губками устанавливают в молибденовую емкость с теми же размерами и заполняют ее алюмосиликатом бария-кальция в виде порошка мелкого помола. Пропитку губок осуществляют при температуре 1750°С в водороде в течение 5 минут и охлаждают до комнатной температуры. Емкость с застывшим расплавом и стаканами с губками помещают в ванну (глубиной не менее 100 мм), снабженную герметично закрывающейся крышкой, заполняют ванну водным 12%-ным раствором аммиака при комнатной температуре (до уровня не менее 80 мм), закрывают крышку ванны и выдерживают в этом растворе в ванне емкость с застывшим расплавом и стаканами с губками в течение 2 часов до полной очистки поверхностей стаканов и губок от расплава алюмината бария-кальция. Затем открывают крышку ванны, извлекают из ванны стаканы с губками и промывают их в течение 5 минут струей проточной воды. Очищенные и промытые стаканы с губками высушивают на воздухе при температуре около 90° в течение 15 минут. Затем губку каждого катода стачивают (одновременно с боковой стенкой стакана) на величину припуска, равную 0,5 мм, до получения рабочей толщины губки, равной 2,5 мм. После чего путем токарной обработки формируют в губке сферическую эмитирующую поверхность (радиус сферы равен 6 мм).Example 2. For the manufacture of a metal-porous cathode, tungsten powder is pressed into molybdenum glasses in the same way as in example 1 (the dimensions of the glasses and jaws are the same). After pressing the tungsten powder, the glasses with sponges are installed in the same size molybdenum container and filled with barium-calcium aluminosilicate in the form of a fine grinding powder. Impregnation of the sponges is carried out at a temperature of 1750 ° C in hydrogen for 5 minutes and cooled to room temperature. A container with solidified melt and glasses with sponges is placed in a bath (at least 100 mm deep) equipped with a hermetically sealed lid, fill the bath with aqueous 12% ammonia solution at room temperature (to a level of at least 80 mm), close the bath lid and stand in this solution in the bath, a container with a solidified melt and glasses with sponges for 2 hours until the surfaces of the glasses and sponges are completely cleaned of the melt of barium-calcium aluminate. Then open the lid of the bath, remove the glasses from the bath with sponges and rinse them for 5 minutes with a stream of running water. The cleaned and washed glasses with sponges are dried in air at a temperature of about 90 ° for 15 minutes. Then the sponge of each cathode is ground (simultaneously with the side wall of the glass) by an allowance equal to 0.5 mm to obtain a working thickness of the sponge equal to 2.5 mm. Then, by turning, a spherical emitting surface is formed in the sponge (the radius of the sphere is 6 mm).
Источники информацииInformation sources
1. Я.Л.Вирин, В.А.Комов. Метод стабилизации параметров минитронов с металлопористым катодом. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ, вып.7(331), 1981, с.38.1. Ya.L. Virin, V.A.Komov. Method for stabilizing the parameters of minitrons with a metal-porous cathode. Electronic equipment. Ser. Microwave Electronics, vol. 7 (331), 1981, p. 38.
2. Авторское свидетельство СССР №679001, Дружинин А.В. и др. Способ изготовления металлопористого термокатода, МПК H01J 9/04, пр. 15.08.1977 г., опубл. 07.11.1980 г.2. USSR Author's Certificate No. 679001, A. Druzhinin and others. A method of manufacturing a metalloporous thermocathode, IPC H01J 9/04, etc. 08/15/1977, publ. 11/07/1980
3. Патент РФ №2078389, Масленников О.Ю. и др. Способ изготовления металлопористого катода, МПК H01J 9/04, пр. 18.08.1992 г., опубл. 27.04.1997 г.3. RF patent No. 2078389, Maslennikov O.YU. and others. A method of manufacturing a metalloporous cathode, IPC H01J 9/04, etc. 08/18/1992, publ. 04/27/1997
4. Патент РФ №2333565, Резнев В.А., Резнева Т.Г. Способ изготовления металлопористого катода, МПК H01J 9/04, пр. 17.05.2007 г., опубл. 10.09.2008 г.4. RF patent №2333565, Reznev V.A., Rezneva T.G. A method of manufacturing a metalloporous cathode, IPC H01J 9/04, etc. 05/17/2007, publ. September 10, 2008
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011112544/07A RU2449408C1 (en) | 2011-04-01 | 2011-04-01 | Method of making dispenser cathode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011112544/07A RU2449408C1 (en) | 2011-04-01 | 2011-04-01 | Method of making dispenser cathode |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2449408C1 true RU2449408C1 (en) | 2012-04-27 |
Family
ID=46297656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011112544/07A RU2449408C1 (en) | 2011-04-01 | 2011-04-01 | Method of making dispenser cathode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2449408C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2619091C2 (en) * | 2015-10-13 | 2017-05-11 | Министерство Промышленности И Торговли Рф | Cylindrical thermo-emission cathode |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3719856A (en) * | 1971-05-19 | 1973-03-06 | O Koppius | Impregnants for dispenser cathodes |
| US4625142A (en) * | 1982-04-01 | 1986-11-25 | U.S. Philips Corporation | Methods of manufacturing a dispenser cathode and dispenser cathode manufactured according to the method |
| RU2012944C1 (en) * | 1991-04-17 | 1994-05-15 | Смирнов Вячеслав Александрович | Process of manufacture of metal-porous cathode |
| RU2333565C1 (en) * | 2007-05-17 | 2008-09-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | Method of making dispenser cathode |
-
2011
- 2011-04-01 RU RU2011112544/07A patent/RU2449408C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3719856A (en) * | 1971-05-19 | 1973-03-06 | O Koppius | Impregnants for dispenser cathodes |
| US4625142A (en) * | 1982-04-01 | 1986-11-25 | U.S. Philips Corporation | Methods of manufacturing a dispenser cathode and dispenser cathode manufactured according to the method |
| RU2012944C1 (en) * | 1991-04-17 | 1994-05-15 | Смирнов Вячеслав Александрович | Process of manufacture of metal-porous cathode |
| RU2333565C1 (en) * | 2007-05-17 | 2008-09-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | Method of making dispenser cathode |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2619091C2 (en) * | 2015-10-13 | 2017-05-11 | Министерство Промышленности И Торговли Рф | Cylindrical thermo-emission cathode |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6814181B2 (en) | Method of removing residue containing lithium phosphate compound from the surface | |
| US8673406B2 (en) | Method and device for the plasma treatment of surfaces containing alkali and alkaline-earth metals | |
| JP5796936B2 (en) | Method for producing porous glass | |
| US4983255A (en) | Process for removing metallic ions from items made of glass or ceramic materials | |
| JP5721348B2 (en) | Glass manufacturing method | |
| RU2449408C1 (en) | Method of making dispenser cathode | |
| WO2016054349A1 (en) | Patterned ion-exchanged substrates and methods for making the same | |
| RU2333565C1 (en) | Method of making dispenser cathode | |
| JP2003126795A (en) | Method for cleaning ceramic insulator | |
| EP1580292A1 (en) | Method of producing a substrate | |
| US2530984A (en) | Process for impregnating carbon brushes | |
| JP2022502567A (en) | Metallization with copper for glass-penetrating vias in thin glass | |
| JP6482693B1 (en) | Anion adsorbent and method for producing anion adsorbent | |
| US10766824B2 (en) | Methods of minimizing particles on wafer from plasma spray coatings | |
| JPH03124028A (en) | Cleaning device | |
| CN104538267B (en) | A kind of negative electrode filament potting compound removing method | |
| RU2820331C1 (en) | Method of producing contacts for electromechanical relay based on graphite, contact made in this way, and electromechanical relay | |
| JP4195916B2 (en) | Silica glass container for dry etching, method for producing the same, and dry etching apparatus provided with the silica glass container | |
| KR101219526B1 (en) | Poultice for removing metal pollutants of surface of porous cultural heritage and method for removing the metal pollutants using the same | |
| US1626639A (en) | Application of getters to electric incandescent lamps and the like | |
| JPH0878376A (en) | Method of cleaning semiconductor treating jigs | |
| US6500274B2 (en) | Apparatus and method for wet cleaning wafers without ammonia vapor damage | |
| WO1999014801A1 (en) | Method of washing semiconductor substrate and method of producing semiconductor devices using the same method | |
| CN113026067A (en) | Electroplating solution and electroplating process for wafer level packaging | |
| KR100868018B1 (en) | Cleaning material for apparatus parts of semiconductor manufacturing apparatus and method for making the same and method for cleaning apparatus parts using the same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20160225 |