RU2099857C1 - Высокочастотное устройство на поверхностных акустических волнах - Google Patents

Высокочастотное устройство на поверхностных акустических волнах Download PDF

Info

Publication number
RU2099857C1
RU2099857C1 RU9696100012A RU96100012A RU2099857C1 RU 2099857 C1 RU2099857 C1 RU 2099857C1 RU 9696100012 A RU9696100012 A RU 9696100012A RU 96100012 A RU96100012 A RU 96100012A RU 2099857 C1 RU2099857 C1 RU 2099857C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
axis
electrodes
angle
acoustical
sound duct
Prior art date
Application number
RU9696100012A
Other languages
English (en)
Other versions
RU96100012A (ru
Inventor
Наталья Федоровна Науменко
Виктор Семенович Орлов
Original Assignee
Наталья Федоровна Науменко
Виктор Семенович Орлов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to RU9696100012A priority Critical patent/RU2099857C1/ru
Application filed by Наталья Федоровна Науменко, Виктор Семенович Орлов filed Critical Наталья Федоровна Науменко
Priority to EP00106913A priority patent/EP1022852A3/en
Priority to JP09525182A priority patent/JP2000503189A/ja
Priority to AU22396/97A priority patent/AU2239697A/en
Priority to EP96946123A priority patent/EP0873590B1/en
Priority to DE69628332T priority patent/DE69628332T2/de
Priority to PCT/US1996/017906 priority patent/WO1997025776A1/en
Priority to KR1019980705199A priority patent/KR100339719B1/ko
Priority to US08/870,524 priority patent/US5917265A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2099857C1 publication Critical patent/RU2099857C1/ru
Publication of RU96100012A publication Critical patent/RU96100012A/ru
Priority to US09/314,047 priority patent/US6072264A/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H03H9/02606Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of langanite substrates
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02543Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
    • H03H9/0259Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of langasite substrates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в диапазоне высоких частот для частотной и временной обработки сигналов в радиотелефонах, мобильных системах связи, телевидении и т.д. Технической задачей, решаемой в изобретении, является уменьшение вносимых потерь и улучшение термостабильности. При подаче электрического сигнала на передающий электроакустический преобразователь (ЭАП) 2 в пьезоэлектрическом звукопроводе 1, выполненном из силикогаллата лантана, возбуждается поверхностная акустическая волна, распространяющаяся в направлении, составляющем угол с нормалью к электродам ЭАП 2. Ориентация рабочей поверхности и нормали к электродам ЭАП относительно кристаллофизических осей X, Y, Z выбраны из условия снижения вносимых потерь, обусловленных преобразованием ПАВ, дифракцией и отклонением потока энергии при одновременном улучшении температурной стабильности. 4 ил.

Description

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано для частотной и временной обработки высокочастотных сигналов в радиотелефонах, мобильных системах связи, телевидении и т.д.
Известно устройство на поверхностных акустических волнах (ПАВ), содержащее пьезоэлектрический звукопровод, на рабочей поверхности которого размещены входной и выходной электроакустические преобразователи (ЭАП). С целью повышения стабильности в качестве материала звукопровода используется кварц термостабильного ST-среза [1] ориентация которого относительно кристаллофизических осей X, Y, Z в соответствии с международными стандартами описывается углами Эйлера Φ = 0°, θ = 132,75°, ψ = 0°. Для этого среза температурный коэффициент частоты (ТКЧ) составляет 0 (1/oC).
Недостатком известного устройства на ПАВ являются большие вносимые потери aвн, обусловленные потерями на преобразование ПАВ aп из-за малости коэффициента электромеханической связи (КЭМС) k 2 s = 0,116 % и потерями на распространение aр на высоких частотах (более 3,1 дБ/мкс на частоте 1 ГГц). Это ведет к существенному росту вносимых потерь в устройстве (до 15-20 дБ) и делает невозможным его использование, например, в качестве фильтров для мобильных систем связи. Фильтры для подобных систем должны иметь вносимые потери не более 3-4 дБ на промежуточных частотах 70-250 МГц или на радиочастотах 800-1800 МГц.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому является устройство на ПАВ, содержащее пьезоэлектрический звукопровод из монокристалла силикогаллата лантана, на рабочей поверхности которого размещены передающий и приемный ЭАП ПАВ, содержащие системы электродов, например встречно-штыревые и при необходимости отражательные электроды [2] Использование монокристалла силикогаллата лантана в качестве материала звукопровода обеспечивает по сравнению с кварцем снижение потерь на распространение до 1 дБ/мкс на частоте 1 ГГц [3] С целью уменьшения вносимых потерь на преобразование ап углы Эйлера, определяющие ориентацию рабочей поверхности звукопровода и нормали к электродам ЭАП относительно кристаллофизических осей материала звукопровода, выбраны из условия Φ = 90°, θ = 10°, ψ = 0°.
Недостатком известного технического решения [2] является низкая температурная стабильность (ТКЧ 12•10-6 (1/oC)), а также высокие потери aп на преобразование ПАВ, на отклонение потока энергии aо и на дифракцию aд, определяемые соответственно коэффициентом электромеханической связи k 2 s , углом отклонения потока энергии φ и параметром анизотропии g. Для известного решения k 2 s = 0,26%, φ = - 5,7°, γ = -2,859.
Технической задачей изобретения является уменьшение вносимых потерь и улучшение термостабильности.
Решение поставленной задачи достигается тем, что в высокочастотном устройстве на ПАВ, содержащем пьезоэлектрический звукопровод из монокристаллического силикогаллата лантана, рабочая поверхность пьезоэлектрического звукопровода выполнена перпендикулярно оси Z', электроды электроакустического преобразователя размещены перпендикулярно оси X', а продольная ось электродов совпадает с осью Y', при этом оси X', Y', Z' в системе углов Эйлера (Φ, θ, ψ) ориентированы относительно кристаллофизических осей X, Y, Z силикогаллата лантана таким образом, что угол Φ изменяется от -15 до +10o, угол q выбран в пределах от 120 до 165o, а угол j составляет от 20 до 45o.
На фиг. 1 и 2 представлено высокочастотное устройство на ПАВ. На фиг. 3 приведены зависимости скорости v ПАВ, угла отклонения потока энергии f, коэффициента электромеханической связи k 2 s и ТКЧ от угла Эйлера ψ при некоторых значениях угла q для предлагаемого устройства в случае, когда угол Φ = 0°. На фиг. 4 показаны зависимости характеристик ПАВ от угла ψ при θ = 145° и нескольких различных значениях угла Φ.
Устройство на ПАВ содержит пьезоэлектрический звукопровод 1 из монокристаллического силикогаллата лантана, передающий 2, приемный 3 электроакустические преобразователи соответственно в виде систем возбуждающих 4, детектирующих 5 и (при необходимости) отражающих 6 электродов. Нормаль Z' к рабочей поверхности звукопровода, нормаль X' к электродам 4, 5, 6 ЭАП и продольная ось этих электродов Y' ориентированы относительно кристаллофизических осей X, Y, Z монокристалла таким образом, что углы Эйлера составляют v -15 +10o, q 120-165o, j 20-45o. Здесь углы Эйлера имеют следующую физическую суть:
v угол между кристаллофизической осью X и вспомогательной осью X" поворота исходной кристаллофизической плоскости XY до совмещения ее с плоскостью рабочей поверхности звукопровода 1;
q угол между кристаллофизической осью Z и осью Z', совпадающей с нормалью к рабочей поверхности звукопровода 1;
j угол между вспомогательной осью X" и осью X', совпадающей с нормалью к электродам ЭАП 2, 3.
Устройство на ПАВ работает следующим образом. При подаче электрического сигнала от генератора с внутренней проводимостью Gr на передающий ЭАП 2 в пьезоэлектрическом звукопроводе 1 возбуждается ПАВ, поток энергии которой распространяется в направлении X''', составляющем угол f с нормалью X' к электродам 3 ЭАП 2. Распространяющаяся ПАВ достигает электродов 5 приемного ЭАП 3 и преобразуется в электрический сигнал, выделяющийся на проводимости нагрузки Gн. Вносимые потери aвн устройства на ПАВ (без учета потерь на двунаправленность излучения) складываются из нескольких составляющих:
потерь на преобразование aп aп1 + aп2 ПАВ передающим и приемным ЭАП, определяемых коэффициентом электромеханической связи k 2 s
потерь aр на распространение ПАВ в звукопроводе;
потерь aд на дифракционное расхождение распространяющего пучка ПАВ;
потерь aо из-за отклонения потока энергии на угол φ от нормали X' к электродам 4, 5, совпадающей с направлением распространения фазового фронта ПАВ.
Таким образом, вносимые потери устройства на ПАВ
aп aп1 + aп2 + aр + aд + aо, дБ. (1)
В свою очередь каждая из компонент вносимых потерь связана с электрофизическими параметрами материала звукопровода 1 и геометрическими характеристиками ЭАП 2 и 3 следующими соотношениями.
Потери aпi на преобразование обратно пропорциональны коэффициенту электромеханической связи k 2 s Для встречно-штыревого преобразователя (ВШП), содержащего N пар возбуждающих электродов, в режиме согласования с катушкой индуктивности на средней частоте [1]
aпi -10 lg[2b/(1+b)2] дБ, (2)
где b Gн/Gа; Gн проводимость нагрузки, Сим; Ga проводимость излучения ВШП, Сим. Например, для неаподизованного ВШП на средней частоте f0 проводимость излучения
Figure 00000002
ф/м емкость пары электродов на единицу длины при диэлектрической проницаемости материала звукопровода ε т pr , W апертура ВШП, м; N число пар электродов ВШП, которое определяется из заданной полосы пропускания устройства на ПАВ следующим образом: N = 0,632(Δf-3/fo)-1, где (Δf-3/fo) относительная полоса пропускания по уровню -3 дБ.
Потери на распространение линейно зависят от расстояния между передающим и приемным ЭАП и составляет [1]
aр bf2 + cf, дБ/мкс, (3)
где b и c константы, зависящие от материала звукопровода 1; f рабочая частота, ГГц.
Потери вследствие отклонения потока энергии пропорциональны углу φ:
ao= - 20lg(1 - Btgφ), дБ, (4)
где B геометрический параметр, равный отношению расстояния l между центрами преобразователей 2, 3 к их апертуре W.
Потери из-за дифракционного расхождения пучка ПАВ в зоне Френеля определяются по формуле [4]
Figure 00000003

где
Figure 00000004

Ci(t) и Si(t) интегралы Френеля, γ параметр анизотропии материала звукопровода в направлении распространения ПАВ, l длина волны.
Дифракционные потери зависят от знака и величины g и минимальны при значении g = -1, соответствующем срезам с самофокусированием ПАВ.
Таким образом, снижение потерь в устройстве может быть достигнуто за счет выбора ориентации (среза) пьезоэлектрического звукопровода с большим коэффициентом электромеханической связи k 2 s для ПАВ, малым углом отклонения потока энергии φ и параметром анизотропии, близким к -1. При типичных значениях апертуры преобразователей ПАВ W = (20 - 30)λ и расстояния между излучающим и приемным преобразователями l = (200 - 300)λ дифракционные потери связаны с искажением формы акустического луча и не превышают 1,6 дБ [1] Поэтому вносимые потери устройства будут, в основном, определяться потерями на преобразование и на отклонение потока энергии.
Оценим преимущества предлагаемого устройства по сравнению с известным техническим решением [2]
Для устройства-прототипа с ориентацией (90o, 10o, 0o) известны следующие значения электрофизических параметров, характеризующие температурную стабильность и вносимые потери [2] ТКЧ 12•10-6 (1/oC), k 2 s = 0,26 % , φ = -5,7°.
Как видно из фиг. 3 и 4, в предложенном устройстве со звукопроводом из силикогаллата лантана для любых углов Эйлера, выбранных в пределах
Figure 00000005
значения ТКЧ не превышают по модулю 10•10-6 (1/oC), а для ориентации с углами Эйлера около 0o, 144o, 22,75o значение ТКЧ близко к нулю.
В результате в предлагаемом устройстве обеспечивается улучшение температурной стабильности по сравнению с известным техническим решением.
Из фиг. 3, 4 также видно, что для предлагаемого устройства угол отклонения потока энергии φ не превышает 5o, а коэффициент электромеханической связи больше 0,2% и достигает максимального значения для силикогаллата лантана k 2 макс = 0,45% . Следовательно, для подавляющего числа возможных ориентаций, принадлежащих к семейству в предлагаемом устройстве, коэффициент электромеханической связи k 2 s больше, а угол φ отклонения потока энергии меньше, чем у устройства-прототипа. Поэтому соответствующие потери на преобразование и отклонение потока энергии меньше, чем у прототипа. В тех же ориентациях для предложенного устройства 30°≅ ψ ≅ 45°, где k 2 s несколько меньше, чем у прототипа (0,2% < k 2 s < 0,26%), некоторое увеличение потерь на преобразование компенсируется снижением по сравнению с прототипом потерь на отклонение потока энергии.
Таким образом, для любого фиксированного значения одного из углов Эйлера в пределах семейства ориентаций предложенного устройства всегда имеются значения двух других углов Эйлера, обеспечивающие улучшение температурной стабильности и уменьшение вносимых потерь по сравнению с прототипом.
Таким образом, в предложенном устройстве обеспечивается решение поставленной технической задачи.
Пример 1. Рассмотрим два примера фильтр для бесшнуровых радиотелефонов общеевропейского стандарта DECT на промежуточную частоту f0 110,6 МГц с полосой пропускания Δf-3 = 0,965 МГц или (Δf-3/fo) = 0,88%. В качестве звукопровода выбран срез силикогаллата лантана, определяемый углами Эйлера (0o, 146o, 22,5o) со следующими параметрами ПАВ: k 2 s = 0,42%, φ = 0,9°, ТКЧ 2•10-6 (1/oC). При числе электродов в каждом из двух преобразователей, близком к оптимальному Nопт 72, обеспечивающем минимально возможные потери на преобразование при согласовании с 50-омным трактом, апертуре преобразователей W 3,5 мм и расстоянии между их центрами l 10 мм, для предлагаемого технического решения потери на преобразование без учета двунаправленности излучения ВШП близки к нулю, в то время как потери на отклонение потока энергии составят 0,4 дБ.
Для устройства-прототипа с аналогичными геометрическими параметрами соответствующие значения потерь будут 0,6 дБ и 2,9 дБ. Таким образом, суммарный выигрыш по вносимым потерям составит 3,1 дБ. При этом температурная стабильность предлагаемого устройства существенно лучше, чем у прототипа.
Пример 2. Рассмотрим высокочастотный фильтр, предназначенный для селекции несущих радиочастот в бесшнуровых радиотелефонах общеевропейского стандарта DECT. Рабочая частота фильтра f0 1,89 ГГц, полоса пропускания Δf-3 20 МГц или (Δf-3/fo) ≈ 1% При N 65, типичной апертуре W = 0,14 мм (100λ) и расстоянии между центрами l 1 мм для предлагаемого технического решения с ориентацией звукопровода, определяемой углами Эйлера (0o, 144o, 22,75o) и имеющей параметры ПАВ: k 2 s ≈ 0,37 φ ≈ 0°, ТКЧ ≈ 0 (1/oC), потери на отклонение потока энергии равны нулю, а потери на преобразование без учета двунаправленности излучения ВШП составят 1,2 дБ.
Для прототипа с аналогичными геометрическими параметрами соответствующие значения потерь будут 2,6 дБ и 10,8 дБ. Суммарный выигрыш по вносимым потерям составит 12,2 дБ. Кроме того, в отличие от прототипа предлагаемое устройство термостабильно.
Следует отметить, что реализация указанных фильтров с малыми вносимыми потерями с использованием термостабильного ST-среза кварца невозможна.
Литература.
1. Поверхностные акустические волны. /Под ред. А.Олинера: Пер. с англ. М. Мир, 1981, 390 с.
2. Науменко Н. Ф. Оптимальные срезы лангасита для устройств на ПАВ. //Материалы конференции "Акустоэлектронные устройства обработки информации на поверхностных акустических волнах". Черкассы. 1990, с. 18, 19.
3. Mansfeld G.D. Measurements of acoustic wave attenuation in La3Ga5SiO14 using Hbar technique. // IEEE Frequency Control Symposium. 1994, p.35-39.
4. Penunuri D. Numerical Technique for SAW Diffraction Simulation. //IEEE Trans. Microw. Theory Techn. 1978, v. MTT-26, p.288-294.

Claims (1)

  1. Высокочастотное устройство на поверхностных акустических волнах, содержащее пьезоэлектрический звукопровод из кристалла силикогаллата лантана, на рабочей поверхности которого размещены передающий и приемный электроакустические преобразователи в виде возбуждающих и отражающих электродов, отличающееся тем, что рабочая поверхность пьезоэлектрического звукопровода выполнена перпендикулярно оси Z', электроды электроакустического преобразователя размещены перпендикулярно оси X', а продольная ось электродов электроакустического преобразователя совпадает с осью Y', при этом оси X', Y', Z', связанные с кристаллофизическими осями кристалла X, Y, Z, ориентированы так, что угол Φ между кристаллофизической осью X и вспомогательной осью X'' поворота исходной кристаллофизической плоскости XY до совмещения ее с плоскостью рабочей поверхности звукопровода выбран в пределах от -15 до 10o, угол q между кристаллофизической осью Z и осью Z', совпадающей с нормалью к рабочей поверхности звукопровода, выбран в пределах 120 165o, а угол j между вспомогательной осью X'' и осью X', совпадающей с нормалью к электродам электроакустического преобразователя, выбран в пределах 20 - 45o.
RU9696100012A 1996-01-10 1996-01-10 Высокочастотное устройство на поверхностных акустических волнах RU2099857C1 (ru)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU9696100012A RU2099857C1 (ru) 1996-01-10 1996-01-10 Высокочастотное устройство на поверхностных акустических волнах
JP09525182A JP2000503189A (ja) 1996-01-10 1996-12-20 高周波sawデバイス
AU22396/97A AU2239697A (en) 1996-01-10 1996-12-20 High frequency saw device
EP96946123A EP0873590B1 (en) 1996-01-10 1996-12-20 High frequency saw device
EP00106913A EP1022852A3 (en) 1996-01-10 1996-12-20 High frequency saw device
DE69628332T DE69628332T2 (de) 1996-01-10 1996-12-20 Hochfrequenz-saw-vorrichtung
PCT/US1996/017906 WO1997025776A1 (en) 1996-01-10 1996-12-20 High frequency saw device
KR1019980705199A KR100339719B1 (ko) 1996-01-10 1996-12-20 고주파표면탄성파(saw)장치,그형성방법및이에사용되는랑거사이트기판
US08/870,524 US5917265A (en) 1996-01-10 1997-06-06 Optimal cut for saw devices on langasite
US09/314,047 US6072264A (en) 1996-01-10 1999-05-18 Optimal cut for surface wave propagation on langasite substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU9696100012A RU2099857C1 (ru) 1996-01-10 1996-01-10 Высокочастотное устройство на поверхностных акустических волнах

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2099857C1 true RU2099857C1 (ru) 1997-12-20
RU96100012A RU96100012A (ru) 1998-01-20

Family

ID=20175357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU9696100012A RU2099857C1 (ru) 1996-01-10 1996-01-10 Высокочастотное устройство на поверхностных акустических волнах

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6072264A (ru)
EP (2) EP1022852A3 (ru)
JP (1) JP2000503189A (ru)
KR (1) KR100339719B1 (ru)
AU (1) AU2239697A (ru)
DE (1) DE69628332T2 (ru)
RU (1) RU2099857C1 (ru)
WO (1) WO1997025776A1 (ru)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3278167B2 (ja) * 1996-06-21 2002-04-30 ティーディーケイ株式会社 弾性表面波装置
EP0869609B8 (en) * 1996-10-18 2004-01-02 TDK Corporation Surface acoustic wave device
JPH10256870A (ja) * 1997-03-14 1998-09-25 Ngk Insulators Ltd 弾性表面波デバイス
EP0866551A3 (en) * 1997-03-21 2000-05-24 Mitsubishi Materials Corporation Surface acoustic wave element
JPH11136083A (ja) * 1997-08-27 1999-05-21 Murata Mfg Co Ltd 表面波装置
US6043940A (en) * 1997-11-14 2000-03-28 Kyocera Corporation Optical system for optical recording
US6084333A (en) * 1997-12-16 2000-07-04 Kyocera Corporation Surface acoustic wave device
JP3301399B2 (ja) * 1998-02-16 2002-07-15 株式会社村田製作所 弾性表面波装置
JP3269466B2 (ja) * 1998-08-21 2002-03-25 株式会社村田製作所 表面波共振子、表面波フィルタ、共用器、通信機装置
JP2000068778A (ja) * 1998-08-21 2000-03-03 Murata Mfg Co Ltd 表面波共振子、表面波フィルタ、共用器、通信機装置及び表面波デバイス、ならびに表面波共振子の製造方法
WO2000016478A1 (fr) 1998-09-14 2000-03-23 Tdk Corporation Dispositif de traitement des ondes acoustiques de surface
FR2785473B1 (fr) * 1998-10-30 2001-01-26 Thomson Csf Filtre faibles pertes a ondes acoustiques de surface sur substrat de quartz de coupe optimisee
JP3724544B2 (ja) * 1999-03-11 2005-12-07 株式会社村田製作所 表面波共振子、表面波フィルタ、共用器、通信機装置及び表面波デバイス
JP3404461B2 (ja) * 1999-06-07 2003-05-06 ティーディーケイ株式会社 弾性表面波装置及びその基板
JP3391309B2 (ja) * 1999-09-02 2003-03-31 株式会社村田製作所 表面波装置及び通信機装置
JP2008022227A (ja) * 2006-07-12 2008-01-31 Japan Radio Co Ltd 弾性表面波フィルタ
EP2980550B1 (en) 2014-07-28 2017-01-25 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) Differential temperature surface sensor
CN111406297B (zh) * 2018-01-10 2021-10-22 埃赛克斯古河电磁线日本有限公司 绝缘电线

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US35204A (en) * 1862-05-06 Improvement in methods of constructing carriages
GB1591624A (en) * 1977-01-24 1981-06-24 Secr Defence Acoustic wave devices
EP0166880B1 (en) * 1984-06-05 1990-01-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Surface acoustic wave device
JPH036913A (ja) * 1989-06-05 1991-01-14 Hitachi Ltd 弾性表面波フィルタ及びそれを用いた移動無線装置
JP3344441B2 (ja) * 1994-03-25 2002-11-11 住友電気工業株式会社 表面弾性波素子
JP3282645B2 (ja) * 1994-06-16 2002-05-20 住友電気工業株式会社 表面弾性波素子
DE19532602C1 (de) * 1995-09-04 1997-04-03 Siemens Ag Piezoelektrisches Kristallelement aus Langasit
US5917265A (en) * 1996-01-10 1999-06-29 Sawtek Inc. Optimal cut for saw devices on langasite
EP0810725A3 (en) * 1996-05-29 1999-10-27 Santech Company, Limited Wafer and surface acoustic wave device
RU2099859C1 (ru) * 1996-06-03 1997-12-20 Московское представительство Консорциума "Экохимия-экотоксиметрия" Пьезоэлемент
JP3278167B2 (ja) * 1996-06-21 2002-04-30 ティーディーケイ株式会社 弾性表面波装置
JPH10126209A (ja) * 1996-10-17 1998-05-15 Mitsubishi Materials Corp 表面弾性波デバイス
JPH1127089A (ja) * 1997-07-02 1999-01-29 Mitsubishi Materials Corp 表面弾性波素子
JPH10256870A (ja) * 1997-03-14 1998-09-25 Ngk Insulators Ltd 弾性表面波デバイス
EP0866551A3 (en) * 1997-03-21 2000-05-24 Mitsubishi Materials Corporation Surface acoustic wave element
JP3201972B2 (ja) * 1997-04-07 2001-08-27 ティーディーケイ株式会社 弾性表面波装置
JPH1155064A (ja) * 1997-07-29 1999-02-26 Santech Co Ltd ウェハおよび圧電素子
GB2328815B (en) * 1997-08-27 1999-10-20 Murata Manufacturing Co Surface acoustic wave device having a langasite single crystal substrate
CN1138342C (zh) * 1997-09-02 2004-02-11 Tdk株式会社 声表面波装置
US5905325A (en) * 1998-01-06 1999-05-18 Sawtek Inc. Optimal cut for saw devices on langanite

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JEEE Fregneecy Control Sumpos& - 1994, p.35 - 39. *

Also Published As

Publication number Publication date
DE69628332D1 (de) 2003-06-26
EP0873590B1 (en) 2003-05-21
JP2000503189A (ja) 2000-03-14
DE69628332T2 (de) 2004-03-25
KR100339719B1 (ko) 2002-09-26
WO1997025776A1 (en) 1997-07-17
EP1022852A2 (en) 2000-07-26
EP1022852A3 (en) 2000-08-09
AU2239697A (en) 1997-08-01
EP0873590A1 (en) 1998-10-28
KR20000004902A (ko) 2000-01-25
US6072264A (en) 2000-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2099857C1 (ru) Высокочастотное устройство на поверхностных акустических волнах
US5717367A (en) Surface acoustic wave (SAW) filter with improved spacing between input and output interdigital transducers
US5473295A (en) Saw notch filter for improving stop-band attenuation of a duplex filter
US5592040A (en) Acoustic wave resonator filter
EP1244212B1 (en) Surface acoustic wave apparatus and communications unit
EP1251638B1 (en) Surface acoustic wave filter apparatus and communications apparatus
US6346864B1 (en) Saw resonator filter and duplexer utilizing SH waves, substrate edge reflection, and sub-interdigital transducer portions
KR20010030219A (ko) 탄성 표면파 장치 및 통신 장치
JP2000261288A (ja) 弾性表面波フィルタ、デュプレクサ、通信機装置
KR100588450B1 (ko) 탄성표면파소자및이를이용한휴대전화기
US6297712B1 (en) Multi-mode edge reflection saw filter device with ground electrodes between stages, duplexer, and communication device
US6870302B2 (en) Interdigital transducer, surface acoustic wave filter, and radio communication apparatus
EP0982856B1 (en) Surface acoustic wave resonator and transversal type surface acoustic wave filter
US4155057A (en) Surface acoustic wave ring filter
KR100656672B1 (ko) 탄성 표면파 장치 및 통신 기기
Hashimoto et al. Design considerations on surface acoustic wave resonators with significant internal reflection in interdigital transducers
KR20000057229A (ko) 이중 반사 격자를 갖는 음향파 공진기 및 필터
Gopani et al. SAW waveguide-coupled resonator notch filter
Yamamoto et al. SAW composite longitudinal mode resonator (CLMR) filters and their application to new synthesized resonator filters
Komatsu et al. Design of narrow bandwidth ladder-type filters with sharp transition bands using mutually connected resonator elements
JPS6041304A (ja) 表面弾性波発振器
JPS60140918A (ja) 弾性表面波共振子
US6310524B1 (en) Edge reflection type longitudinally coupled saw resonator filter
JPH0630433B2 (ja) 弾性表面波フィルタを用いた分波器
JPS6150524B2 (ru)