RU2015121319A - Способ проверки установки для контроля герметичности - Google Patents

Способ проверки установки для контроля герметичности Download PDF

Info

Publication number
RU2015121319A
RU2015121319A RU2015121319A RU2015121319A RU2015121319A RU 2015121319 A RU2015121319 A RU 2015121319A RU 2015121319 A RU2015121319 A RU 2015121319A RU 2015121319 A RU2015121319 A RU 2015121319A RU 2015121319 A RU2015121319 A RU 2015121319A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure
control
environment
control leak
leak
Prior art date
Application number
RU2015121319A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2650843C2 (ru
Inventor
Сильвио ДЕККЕР
Михаэль ДАУЕНХАУЕР
Original Assignee
Инфикон Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Инфикон Гмбх filed Critical Инфикон Гмбх
Publication of RU2015121319A publication Critical patent/RU2015121319A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2650843C2 publication Critical patent/RU2650843C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/007Leak detector calibration, standard leaks
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

1. Способ проверки установки для контроля герметичности с использованием снабженного контрольной течью (16) приспособления (10) с контрольной течью, которое имеет заполняемое газом полое пространство (12), с шагами:а) заполнение полого пространства (12) воздухом окружающей среды до внутреннего давления (Р1) внутри полого пространства (12), которое соответствует атмосферному давлению окружающей среды,б) создание в окружающей приспособление (10) с контрольной течью области внешнего давления (Р2), которое ниже внутреннего давления (Р1),в) измерение интенсивности утечки пронизывающего изнутри наружу приспособление (10) с контрольной течью через контрольную течь (16) воздуха, иг) создание в окружающей приспособление (10) с контрольной течью области состоящей из воздуха окружающей среды атмосферы с атмосферным давлением окружающей среды в качестве внешнего давления (Р2).2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что заполнение приспособления (10) с контрольной течью согласно шагу а) способа происходит при атмосферном давлении окружающей среды в качестве внешнего давления (Р2).3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что заполнение приспособления (10) с контрольной течью происходит через контрольную течь (16).4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что атмосферное давление окружающей среды является давлением в диапазоне от 980 до 1050 мбар.5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что атмосферное давление окружающей среды является давлением в диапазоне от 1000 до 1020 мбар.6. Способ по п. 4 или 5, отличающийся тем, что атмосферное давление окружающей среды составляет примерно 1013 мбар.7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что внешнее давление (Р2) на шаге б) способа является давлением вакуума.8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что внутреннее давление (Р1)

Claims (12)

1. Способ проверки установки для контроля герметичности с использованием снабженного контрольной течью (16) приспособления (10) с контрольной течью, которое имеет заполняемое газом полое пространство (12), с шагами:
а) заполнение полого пространства (12) воздухом окружающей среды до внутреннего давления (Р1) внутри полого пространства (12), которое соответствует атмосферному давлению окружающей среды,
б) создание в окружающей приспособление (10) с контрольной течью области внешнего давления (Р2), которое ниже внутреннего давления (Р1),
в) измерение интенсивности утечки пронизывающего изнутри наружу приспособление (10) с контрольной течью через контрольную течь (16) воздуха, и
г) создание в окружающей приспособление (10) с контрольной течью области состоящей из воздуха окружающей среды атмосферы с атмосферным давлением окружающей среды в качестве внешнего давления (Р2).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что заполнение приспособления (10) с контрольной течью согласно шагу а) способа происходит при атмосферном давлении окружающей среды в качестве внешнего давления (Р2).
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что заполнение приспособления (10) с контрольной течью происходит через контрольную течь (16).
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что атмосферное давление окружающей среды является давлением в диапазоне от 980 до 1050 мбар.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что атмосферное давление окружающей среды является давлением в диапазоне от 1000 до 1020 мбар.
6. Способ по п. 4 или 5, отличающийся тем, что атмосферное давление окружающей среды составляет примерно 1013 мбар.
7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что внешнее давление (Р2) на шаге б) способа является давлением вакуума.
8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что внутреннее давление (Р1) на шаге г) способа ниже внешнего давления (Р2).
9. Способ по п. 1, отличающийся тем, что контрольная течь (16) открыта, по меньшей мере, во время осуществления шагов в) и г) способа.
10. Способ по п. 1, отличающийся тем, что приспособление (10) с контрольной течью снабжено для повторного заполнения предохранительным клапаном (18), который автоматически открывается, когда внешнее давление (Р2) превышает внутреннее давление (Р1).
11. Способ по п. 1, отличающийся тем, что приспособление (10) с контрольной течью находится в тестовой камере, и интенсивность утечки согласно шагу в) измеряют за счет измерения повышения внешнего давления (Р2) внутри тестовой камеры.
12. Способ по п. 1, отличающийся тем, что шаги а) - г) способа повторяют по меньшей мере один раз, причем заполнение полого пространства (12) согласно шагу а) способа происходит посредством шага г) способа.
RU2015121319A 2012-11-05 2013-11-04 Способ проверки установки для контроля герметичности RU2650843C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012220108.4 2012-11-05
DE102012220108.4A DE102012220108A1 (de) 2012-11-05 2012-11-05 Verfahren zur Prüfung einer Dichtheitsprüfanlage
PCT/EP2013/072955 WO2014068118A2 (de) 2012-11-05 2013-11-04 Verfahren zur prüfung einer dichtheitsprüfanlage

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015121319A true RU2015121319A (ru) 2016-12-27
RU2650843C2 RU2650843C2 (ru) 2018-04-17

Family

ID=49551596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015121319A RU2650843C2 (ru) 2012-11-05 2013-11-04 Способ проверки установки для контроля герметичности

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9733147B2 (ru)
EP (1) EP2914944B1 (ru)
JP (1) JP6233757B2 (ru)
CN (1) CN104797916B (ru)
DE (1) DE102012220108A1 (ru)
RU (1) RU2650843C2 (ru)
WO (1) WO2014068118A2 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014080798A1 (ja) * 2012-11-21 2014-05-30 独立行政法人産業技術総合研究所 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置
DE102013216450A1 (de) * 2013-08-20 2015-02-26 Inficon Gmbh Pico-Prüfleck
CN105632963A (zh) * 2016-03-11 2016-06-01 上海华力微电子有限公司 监控hdp腔室漏率的方法及***
JP6857179B2 (ja) 2016-05-31 2021-04-14 株式会社フクダ リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器
JP7404931B2 (ja) * 2020-02-26 2023-12-26 住友電気工業株式会社 ガラス母材の製造装置

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
LU55734A1 (ru) * 1967-04-17 1968-06-04
DE2926112A1 (de) * 1979-06-28 1981-01-08 Bosch Gmbh Robert Testleck-sonde
DE3613694A1 (de) * 1986-04-23 1987-10-29 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Vorrichtung zur kalibrierung des detektors eines lecksuchgeraetes
JPH02113145U (ru) * 1989-02-27 1990-09-11
JP2772478B2 (ja) * 1989-03-31 1998-07-02 マツダ株式会社 クラッチピストンのリークテスト方法
JPH02140439U (ru) * 1989-04-27 1990-11-26
US4991426A (en) * 1989-08-22 1991-02-12 Oakland Engineering, Inc. Calibration of air leak detection apparatus
US5386717A (en) * 1991-02-08 1995-02-07 Yamaha Corporation Gas leakage testing method
US5363689A (en) * 1992-09-11 1994-11-15 Intertech Development Company Calibration device for leak detecting instruments
JPH07286928A (ja) * 1994-04-15 1995-10-31 Anelva Corp ヘリウムリークディテクタ
JP3181199B2 (ja) * 1995-07-20 2001-07-03 トヨタ自動車株式会社 圧力洩れ測定方法
EP0791814A3 (en) 1997-05-26 1997-11-26 Martin Lehmann Method for leak testing and leak testing apparatus
US6082184A (en) * 1997-05-27 2000-07-04 Martin Lehmann Method for leak testing and leak testing apparatus
DE19906941A1 (de) * 1999-02-19 2000-08-24 Leybold Vakuum Gmbh Testleck
JP4277351B2 (ja) * 1999-03-31 2009-06-10 ヤマハ株式会社 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法
DE19963073A1 (de) * 1999-12-24 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Testleck
US7107821B2 (en) * 2001-04-11 2006-09-19 Inficon Gmbh Leak indicator with test leak and test leak for integration into a leak indicator
DE10124260A1 (de) * 2001-05-18 2002-12-05 Boehringer Ingelheim Pharma System zur Überprüfung von Systemen, die ihrerseits zur Überprüfung der Dichtigkeit eines Hohlkörpers dienen
DE10154467B4 (de) * 2001-11-08 2004-05-27 Nuclear Cargo + Service Gmbh Anordnung zum Überprüfen eines Hohlraums
ATE392606T1 (de) * 2003-12-05 2008-05-15 Adixen Sensistor Ab System und verfahren zur bestimmung der lecksicherheit eines objekts
DE102007057944A1 (de) * 2007-12-01 2009-06-04 Inficon Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung
JP5292261B2 (ja) * 2009-11-19 2013-09-18 株式会社アルバック リークディテクタ
JP5386319B2 (ja) * 2009-11-19 2014-01-15 株式会社アルバック 漏洩検知システム
CN101726396A (zh) * 2009-12-17 2010-06-09 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 一种航天用o型橡胶密封圈的漏率检测装置及方法
DE102010014377A1 (de) * 2010-04-01 2011-10-06 Martin Fähnrich Vordruckunabhängiges Testleck
DE102012210040A1 (de) * 2012-06-14 2013-12-19 Inficon Gmbh Prüfvorrichtung mit einem Prüfgasbehälter
US9074959B2 (en) * 2012-08-24 2015-07-07 Gm Global Technology Operations, Llc Method for evaluating the accuracy and repeatability of leak testing instruments
WO2014080798A1 (ja) * 2012-11-21 2014-05-30 独立行政法人産業技術総合研究所 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置
DE102013215278A1 (de) * 2013-08-02 2015-02-05 Inficon Gmbh Prüfleckvorrichtung mit integriertem Drucksensor
DE102014213426A1 (de) 2014-07-10 2016-01-14 Inficon Gmbh Prüfvorrichtung für flexible, langgestreckte Prüflinge

Also Published As

Publication number Publication date
EP2914944B1 (de) 2020-02-12
WO2014068118A2 (de) 2014-05-08
CN104797916B (zh) 2018-05-01
EP2914944A2 (de) 2015-09-09
US20150276541A1 (en) 2015-10-01
US9733147B2 (en) 2017-08-15
RU2650843C2 (ru) 2018-04-17
DE102012220108A1 (de) 2014-05-22
CN104797916A (zh) 2015-07-22
JP6233757B2 (ja) 2017-11-22
WO2014068118A3 (de) 2014-09-04
JP2015537209A (ja) 2015-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2015121319A (ru) Способ проверки установки для контроля герметичности
JP6880161B2 (ja) 排気可能でフレキシブルな漏れテストチャンバ
RU2699927C2 (ru) Пленочная камера с измерительным объемом для обнаружения большой течи
RU2017114154A (ru) Устройство и способ калибрования пленочной камеры для обнаружения утечек
WO2015028338A3 (de) Dichtheitsprüfung während der evakuierung einer folienkammer
MX2014005791A (es) Deteccion rapida de fugas en empaques estables/holgados sin la adicion de gas de verificacion.
JP2017526935A5 (ru)
RU2017122386A (ru) Проверка герметичности с помощью газа-носителя в пленочной камере
JP2018501475A5 (ru)
CN105841902A (zh) 一种用于水下机器人的密封性检测方法及***
HK1256664A2 (zh) 一種用於較準氣體檢測器件的系統與方法
PH12020551490A1 (en) Bell-shaped leak detection device for a sealing membrane
RU2011138075A (ru) Способ функциональной проверки течеискателя
BR112018009435A2 (pt) detecção de vazamento com oxigênio
RU2015100190A (ru) Проверочное устройство с емкостью проверочного газа
RU2013144163A (ru) Устройство контроля герметичности крупногабаритных объектов
MX2018004085A (es) Deteccion de fluctuaciones de gas de prueba durante la busqueda de fugas por rastreo de inhalacion.
RU2012124272A (ru) Система для подготовки к эксплуатации пневмоблока высокого давления
WO2018152561A8 (de) Verfahren zum überprüfen einer dichtheit eines flexiblen behälters
CN108020387A (zh) 一种汽车减速器壳体气密性检测台
CN107870068A (zh) 一种非密闭结构快速抽真空的方法
RU2012129443A (ru) Устройство защиты пневмогидравлического соединения стыкуемых объектов и способ его контроля на герметичность
RU2013101268A (ru) Способ измерения на герметичность гидроцилиндров
NZ720071A (en) Air-tightness test equipment for turbine reduction gearbox
RU2011133437A (ru) Способ заправки рабочим телом радиатора системы терморегулирования космического объекта