JP2015537209A - 漏れ検出システムを検査する方法 - Google Patents
漏れ検出システムを検査する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015537209A JP2015537209A JP2015540150A JP2015540150A JP2015537209A JP 2015537209 A JP2015537209 A JP 2015537209A JP 2015540150 A JP2015540150 A JP 2015540150A JP 2015540150 A JP2015540150 A JP 2015540150A JP 2015537209 A JP2015537209 A JP 2015537209A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leak
- pressure
- leak detection
- detection device
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000009455 aseptic packaging Methods 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000009512 pharmaceutical packaging Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/007—Leak detector calibration, standard leaks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
Description
a) 周囲大気圧に相当する内部圧力P1が空洞の内部に行き渡るまで、漏れ検出装置の空洞を外気で満し、
b) そして、試験用標本の外側の領域の圧力を、内部圧力P1より低い外部圧力P2に設定し、
c) その後、テストリークを通して内部から外側へ流れる空気の漏れ速度を測定し、
d) 最後に、漏れ検出装置を囲む領域の外部圧力P2を、周囲大気圧まで増加させる。
そのため、テストリークだけにより圧力P2が増加するように、漏れ検出装置は気密検査室内に収容される。
Claims (11)
- 気体で充填される空洞(12)及びテストリーク(16)を備える漏れ検出装置(10)を用いて漏れ検出システムを検査する方法であって、
(ステップa)前記空洞(12)内部の内部圧力(P1)が周囲大気圧に相当するまで前記空洞(12)を外気で充填し、
(ステップb)前記漏れ検出装置(10)を囲む領域の外部圧力(P2)を前記内部圧力(P1)より低く設定し、
(ステップc)前記漏れ検出装置(10)の前記テストリーク(16)を通して内側から外側へ流れる空気の漏れ速度を測定し、
(ステップd)前記漏れ検出装置(10)を囲む前記領域の前記外部圧力(P2)として、前記周囲大気圧を有する外気からなる大気を設定する、
ことを特徴とする方法。 - 前記ステップaにおいて前記漏れ検出装置(10)は、前記外部圧力(P2)としての前記周囲大気圧にて充填されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記テストリーク(16)を通して前記漏れ検出装置(10)が充填されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 前記周囲大気圧は、980〜1050mbarの範囲内の圧力であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記周囲大気圧は、1000〜1020mbarの範囲内の圧力であることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記周囲大気圧は、1013mbar程度であることを特徴とする請求項4又は5に記載の方法。
- 前記ステップbにおいて前記外部圧力(P2)は真空圧力であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ステップdにおいて前記内部圧力(P1)が前記外部圧力(P2)より低いことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも前記ステップc及びdが実行される間、前記テストリーク(16)が開口していることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記漏れ検出装置(10)は、前記外部圧力(P2)が前記内部圧力(P1)を超えると自動的に開いて再充填する圧力制御バルブ(18)を備えることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記漏れ検出装置(10)が検査室内に配置され、前記ステップcにおける前記漏れ速度が前記検査室内の前記外部圧力(P2)の増加によって測定されることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012220108.4 | 2012-11-05 | ||
DE102012220108.4A DE102012220108A1 (de) | 2012-11-05 | 2012-11-05 | Verfahren zur Prüfung einer Dichtheitsprüfanlage |
PCT/EP2013/072955 WO2014068118A2 (de) | 2012-11-05 | 2013-11-04 | Verfahren zur prüfung einer dichtheitsprüfanlage |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015537209A true JP2015537209A (ja) | 2015-12-24 |
JP6233757B2 JP6233757B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=49551596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015540150A Active JP6233757B2 (ja) | 2012-11-05 | 2013-11-04 | 漏れ検出システムを検査する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9733147B2 (ja) |
EP (1) | EP2914944B1 (ja) |
JP (1) | JP6233757B2 (ja) |
CN (1) | CN104797916B (ja) |
DE (1) | DE102012220108A1 (ja) |
RU (1) | RU2650843C2 (ja) |
WO (1) | WO2014068118A2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014080798A1 (ja) * | 2012-11-21 | 2014-05-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 |
DE102013216450A1 (de) * | 2013-08-20 | 2015-02-26 | Inficon Gmbh | Pico-Prüfleck |
CN105632963A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-06-01 | 上海华力微电子有限公司 | 监控hdp腔室漏率的方法及*** |
JP6857179B2 (ja) | 2016-05-31 | 2021-04-14 | 株式会社フクダ | リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器 |
JP7404931B2 (ja) * | 2020-02-26 | 2023-12-26 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02113145U (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-11 | ||
JPH02140439U (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-26 | ||
US5363689A (en) * | 1992-09-11 | 1994-11-15 | Intertech Development Company | Calibration device for leak detecting instruments |
JPH07286928A (ja) * | 1994-04-15 | 1995-10-31 | Anelva Corp | ヘリウムリークディテクタ |
JP2000292301A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-20 | Yamaha Corp | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 |
US20040139787A1 (en) * | 2001-04-11 | 2004-07-22 | Thomas Bohm | Leak indicator with test leak and test leak for integration into a leak indicator |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
LU55734A1 (ja) * | 1967-04-17 | 1968-06-04 | ||
DE2926112A1 (de) * | 1979-06-28 | 1981-01-08 | Bosch Gmbh Robert | Testleck-sonde |
DE3613694A1 (de) * | 1986-04-23 | 1987-10-29 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zur kalibrierung des detektors eines lecksuchgeraetes |
JP2772478B2 (ja) * | 1989-03-31 | 1998-07-02 | マツダ株式会社 | クラッチピストンのリークテスト方法 |
US4991426A (en) * | 1989-08-22 | 1991-02-12 | Oakland Engineering, Inc. | Calibration of air leak detection apparatus |
US5386717A (en) * | 1991-02-08 | 1995-02-07 | Yamaha Corporation | Gas leakage testing method |
JP3181199B2 (ja) * | 1995-07-20 | 2001-07-03 | トヨタ自動車株式会社 | 圧力洩れ測定方法 |
EP0791814A3 (en) | 1997-05-26 | 1997-11-26 | Martin Lehmann | Method for leak testing and leak testing apparatus |
US6082184A (en) * | 1997-05-27 | 2000-07-04 | Martin Lehmann | Method for leak testing and leak testing apparatus |
DE19906941A1 (de) * | 1999-02-19 | 2000-08-24 | Leybold Vakuum Gmbh | Testleck |
DE19963073A1 (de) * | 1999-12-24 | 2001-06-28 | Leybold Vakuum Gmbh | Testleck |
DE10124260A1 (de) * | 2001-05-18 | 2002-12-05 | Boehringer Ingelheim Pharma | System zur Überprüfung von Systemen, die ihrerseits zur Überprüfung der Dichtigkeit eines Hohlkörpers dienen |
DE10154467B4 (de) * | 2001-11-08 | 2004-05-27 | Nuclear Cargo + Service Gmbh | Anordnung zum Überprüfen eines Hohlraums |
ATE392606T1 (de) * | 2003-12-05 | 2008-05-15 | Adixen Sensistor Ab | System und verfahren zur bestimmung der lecksicherheit eines objekts |
DE102007057944A1 (de) * | 2007-12-01 | 2009-06-04 | Inficon Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung |
JP5292261B2 (ja) * | 2009-11-19 | 2013-09-18 | 株式会社アルバック | リークディテクタ |
JP5386319B2 (ja) * | 2009-11-19 | 2014-01-15 | 株式会社アルバック | 漏洩検知システム |
CN101726396A (zh) * | 2009-12-17 | 2010-06-09 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 | 一种航天用o型橡胶密封圈的漏率检测装置及方法 |
DE102010014377A1 (de) * | 2010-04-01 | 2011-10-06 | Martin Fähnrich | Vordruckunabhängiges Testleck |
DE102012210040A1 (de) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | Inficon Gmbh | Prüfvorrichtung mit einem Prüfgasbehälter |
US9074959B2 (en) * | 2012-08-24 | 2015-07-07 | Gm Global Technology Operations, Llc | Method for evaluating the accuracy and repeatability of leak testing instruments |
WO2014080798A1 (ja) * | 2012-11-21 | 2014-05-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 |
DE102013215278A1 (de) * | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Inficon Gmbh | Prüfleckvorrichtung mit integriertem Drucksensor |
DE102014213426A1 (de) | 2014-07-10 | 2016-01-14 | Inficon Gmbh | Prüfvorrichtung für flexible, langgestreckte Prüflinge |
-
2012
- 2012-11-05 DE DE102012220108.4A patent/DE102012220108A1/de not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-11-04 JP JP2015540150A patent/JP6233757B2/ja active Active
- 2013-11-04 CN CN201380056971.1A patent/CN104797916B/zh active Active
- 2013-11-04 EP EP13786658.8A patent/EP2914944B1/de active Active
- 2013-11-04 RU RU2015121319A patent/RU2650843C2/ru active
- 2013-11-04 WO PCT/EP2013/072955 patent/WO2014068118A2/de active Application Filing
- 2013-11-04 US US14/440,464 patent/US9733147B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02113145U (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-11 | ||
JPH02140439U (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-26 | ||
US5363689A (en) * | 1992-09-11 | 1994-11-15 | Intertech Development Company | Calibration device for leak detecting instruments |
JPH07286928A (ja) * | 1994-04-15 | 1995-10-31 | Anelva Corp | ヘリウムリークディテクタ |
JP2000292301A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-20 | Yamaha Corp | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 |
US20040139787A1 (en) * | 2001-04-11 | 2004-07-22 | Thomas Bohm | Leak indicator with test leak and test leak for integration into a leak indicator |
JP2004525372A (ja) * | 2001-04-11 | 2004-08-19 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | テストリーク装置を備えた漏れ検出器及び漏れ検出器内に取り付けるためのテストリーク装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2914944B1 (de) | 2020-02-12 |
WO2014068118A2 (de) | 2014-05-08 |
CN104797916B (zh) | 2018-05-01 |
EP2914944A2 (de) | 2015-09-09 |
US20150276541A1 (en) | 2015-10-01 |
US9733147B2 (en) | 2017-08-15 |
RU2015121319A (ru) | 2016-12-27 |
RU2650843C2 (ru) | 2018-04-17 |
DE102012220108A1 (de) | 2014-05-22 |
CN104797916A (zh) | 2015-07-22 |
JP6233757B2 (ja) | 2017-11-22 |
WO2014068118A3 (de) | 2014-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6233757B2 (ja) | 漏れ検出システムを検査する方法 | |
US8448498B1 (en) | Hermetic seal leak detection apparatus | |
JP6556226B2 (ja) | 漏洩検知用フィルムチャンバを較正する装置および方法 | |
US10073001B2 (en) | Leak test arrangement and leak test method | |
US9810600B2 (en) | Method for detecting a leak on a non-rigid test specimen | |
JPWO2017104643A1 (ja) | 漏れ検査装置及び方法 | |
CN106662498B (zh) | 薄膜腔中的气体密度增加的测量 | |
JP2017528725A5 (ja) | ||
JP6091017B2 (ja) | 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 | |
CN104764862B (zh) | 一种气体浓度现场测试方法 | |
JPH10185749A (ja) | リーク検査方法及びその装置 | |
Vinogradov et al. | How to choose a leak detection method | |
JP6522143B2 (ja) | 容器の密閉性検査をするための構造および方法 | |
JP2000088694A (ja) | 密封容器の密封性検査装置 | |
JP6695153B2 (ja) | 漏れ検査装置及び方法 | |
Sagi | Advanced leak test methods | |
JP7165727B2 (ja) | 密封性評価方法等 | |
JPH1137883A (ja) | リーク量の計測方法 | |
JP2023043985A (ja) | 欠陥検査方法 | |
RU2716474C1 (ru) | Способ определения негерметичности изделий, работающих под внешним давлением и внутренним избыточным давлением | |
RU2576635C1 (ru) | Способ контроля негерметичности кольцевых лазерных гироскопов | |
RU2538420C2 (ru) | Устройство контроля герметичности микроструктур | |
JP2005106539A (ja) | 洩れ検査装置の校正方法、洩れ検査装置 | |
RU2441212C2 (ru) | Способ определения негерметичности изделий | |
Decker | A reliable and tracer gas independent leak detector for food packages |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160929 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171013 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6233757 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |