RU2013138693A - METHOD FOR FORMING NANOCOMPOSITE COATING ON THE SURFACE OF PRODUCTS - Google Patents

Abstract

1. Способ формирования нанокомпозитного покрытия на поверхности изделий, включающий очистку изделий и вакуумной камеры в среде инертного газа, ионное травление и нанесение нанокомпозитного покрытия методом физического осаждения из паровой фазы, отличающийся тем, что до нанесения нанокомпозитного покрытия проводят ионно-плазменную цементацию и ионное травление поверхности изделий, при этом ионно-плазменную цементацию с последующим ионным травлением осуществляют в N этапов, где N - целое число и N≥1.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что формирование нанокомпозитного покрытия на поверхности изделий осуществляют путем формирования не менее одного микрослоя из нихрома, сплава алюминия с кремнием общей толщиной 2,3-3,0 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев этих материалов толщиной 1-100 нм, нанесение микрослоя осуществляют последовательным прохождением изделий перед магнетронами с мишенями из указанных материалов.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что после формирования не менее одного микрослоя из нихрома, сплава алюминия с кремнием подают в камеру кислород и формируют на поверхности изделий микрослой из оксидов нихрома, сплава алюминия с кремнием общей толщиной 0,5-1,5 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев оксидов этих материалов толщиной 1-100 нм.1. The method of forming a nanocomposite coating on the surface of products, including cleaning products and a vacuum chamber in an inert gas environment, ion etching and applying a nanocomposite coating by physical vapor deposition, characterized in that prior to applying the nanocomposite coating, ion-plasma cementation and ion etching are carried out the surface of the products, with ion-plasma cementation followed by ion etching is carried out in N stages, where N is an integer and N≥1.2. The method according to claim 1, characterized in that the formation of a nanocomposite coating on the surface of the products is carried out by forming at least one microlayer of nichrome, an aluminum alloy with silicon with a total thickness of 2.3-3.0 microns, and the specified microlayer consists of nanolayers of these materials with a thickness 1-100 nm, the deposition of a microlayer is carried out by sequential passage of products in front of magnetrons with targets from these materials. 3. The method according to claim 2, characterized in that after the formation of at least one microlayer of nichrome, an aluminum-silicon alloy, oxygen is supplied to the chamber and oxygen is formed on the surface of the products by a microlayer of nichrome oxides, an aluminum alloy with silicon with a total thickness of 0.5-1.5 μm, and the specified microlayer consists of nanolayers of oxides of these materials with a thickness of 1-100 nm.

Claims (3)

1. Способ формирования нанокомпозитного покрытия на поверхности изделий, включающий очистку изделий и вакуумной камеры в среде инертного газа, ионное травление и нанесение нанокомпозитного покрытия методом физического осаждения из паровой фазы, отличающийся тем, что до нанесения нанокомпозитного покрытия проводят ионно-плазменную цементацию и ионное травление поверхности изделий, при этом ионно-плазменную цементацию с последующим ионным травлением осуществляют в N этапов, где N - целое число и N≥1.1. The method of forming a nanocomposite coating on the surface of products, including cleaning products and a vacuum chamber in an inert gas environment, ion etching and applying a nanocomposite coating by physical vapor deposition, characterized in that prior to applying the nanocomposite coating, ion-plasma cementation and ion etching are carried out the surface of the products, with ion-plasma cementation followed by ion etching is carried out in N stages, where N is an integer and N≥1. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что формирование нанокомпозитного покрытия на поверхности изделий осуществляют путем формирования не менее одного микрослоя из нихрома, сплава алюминия с кремнием общей толщиной 2,3-3,0 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев этих материалов толщиной 1-100 нм, нанесение микрослоя осуществляют последовательным прохождением изделий перед магнетронами с мишенями из указанных материалов.2. The method according to claim 1, characterized in that the formation of a nanocomposite coating on the surface of the products is carried out by forming at least one microlayer of nichrome, an aluminum alloy with silicon with a total thickness of 2.3-3.0 microns, and the specified microlayer consists of these nanolayers materials with a thickness of 1-100 nm, the deposition of a microlayer is carried out by sequential passage of products in front of magnetrons with targets from these materials. 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что после формирования не менее одного микрослоя из нихрома, сплава алюминия с кремнием подают в камеру кислород и формируют на поверхности изделий микрослой из оксидов нихрома, сплава алюминия с кремнием общей толщиной 0,5-1,5 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев оксидов этих материалов толщиной 1-100 нм.3. The method according to claim 2, characterized in that after the formation of at least one microlayer of nichrome, an aluminum alloy with silicon, oxygen is supplied to the chamber and a microlayer of nichrome oxides, an aluminum alloy with silicon with a total thickness of 0.5-1 is formed on the surface of the products , 5 microns, and the specified microlayer consists of nanolayers of oxides of these materials with a thickness of 1-100 nm.