RU2012120660A - Способ измерения толщины слоя посредством лазерной триангуляции и устройство для этого - Google Patents
Способ измерения толщины слоя посредством лазерной триангуляции и устройство для этого Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012120660A RU2012120660A RU2012120660/28A RU2012120660A RU2012120660A RU 2012120660 A RU2012120660 A RU 2012120660A RU 2012120660/28 A RU2012120660/28 A RU 2012120660/28A RU 2012120660 A RU2012120660 A RU 2012120660A RU 2012120660 A RU2012120660 A RU 2012120660A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- structural element
- measurement
- layer thickness
- laser triangulation
- coating
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0683—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating measurement during deposition or removal of the layer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
1. Способ определения толщины слоя покрываемого конструктивного элемента (1, 120, 130, 155),в котором конструктивный элемент (1, 120, 130, 155) перед (I) и во время или после (III) нанесения (II) покрытия подвергают измерению посредством лазерной триангуляции, итолщину слоя рассчитывают из различных измерений (V) конструктивного элемента (1, 120, 130, 155),причем учитывают деформацию конструктивного элемента (1, 120, 130, 155), ив котором, по меньшей мере, одну опорную точку на конструктивном элементе (1, 120, 130, 155) используют, чтобы определить деформацию лопатки (120, 130).2. Способ по п.1, в котором измерение толщины слоя осуществляют только локально, в частности, местами.3. Способ по п.1, в котором после нанесения покрытия на конструктивный элемент (1, 120, 130, 155) осуществляют лазерное триангуляционное измерение.4. Способ по п.1, в котором во время нанесения покрытия на конструктивный элемент (1, 120, 130, 155) осуществляют лазерное триангуляционное измерение.5. Способ по п.1, в котором измерение толщины слоя осуществляют в нескольких позициях (13', 13'', …).6. Способ по п.1, в котором измерение толщины слоя осуществляют по большой поверхности.7. Способ по п.1, в котором измерение толщины слоя осуществляют только перед или только после нанесения покрытия.8. Устройство (10) для осуществления способа по одному из п.п.1-7, которое имеет:удерживающий элемент для конструктивного элемента (1, 120, 130, 155),конструктивный элемент (1, 120, 130, 155),причем удерживающий элемент или конструктивный элемент (1, 120, 130, 155) имеет опорную точку для определения деформации конструктивного элемента (1, 120, 130, 155),датчик (4) для лазерного триангуляционного измерения,вычислительный блок (IV), который регистрирует различны
Claims (8)
1. Способ определения толщины слоя покрываемого конструктивного элемента (1, 120, 130, 155),
в котором конструктивный элемент (1, 120, 130, 155) перед (I) и во время или после (III) нанесения (II) покрытия подвергают измерению посредством лазерной триангуляции, и
толщину слоя рассчитывают из различных измерений (V) конструктивного элемента (1, 120, 130, 155),
причем учитывают деформацию конструктивного элемента (1, 120, 130, 155), и
в котором, по меньшей мере, одну опорную точку на конструктивном элементе (1, 120, 130, 155) используют, чтобы определить деформацию лопатки (120, 130).
2. Способ по п.1, в котором измерение толщины слоя осуществляют только локально, в частности, местами.
3. Способ по п.1, в котором после нанесения покрытия на конструктивный элемент (1, 120, 130, 155) осуществляют лазерное триангуляционное измерение.
4. Способ по п.1, в котором во время нанесения покрытия на конструктивный элемент (1, 120, 130, 155) осуществляют лазерное триангуляционное измерение.
5. Способ по п.1, в котором измерение толщины слоя осуществляют в нескольких позициях (13', 13'', …).
6. Способ по п.1, в котором измерение толщины слоя осуществляют по большой поверхности.
7. Способ по п.1, в котором измерение толщины слоя осуществляют только перед или только после нанесения покрытия.
8. Устройство (10) для осуществления способа по одному из п.п.1-7, которое имеет:
удерживающий элемент для конструктивного элемента (1, 120, 130, 155),
конструктивный элемент (1, 120, 130, 155),
причем удерживающий элемент или конструктивный элемент (1, 120, 130, 155) имеет опорную точку для определения деформации конструктивного элемента (1, 120, 130, 155),
датчик (4) для лазерного триангуляционного измерения,
вычислительный блок (IV), который регистрирует различные измерения конструктивного элемента (1, 120, 130, 155) перед, во время или после нанесения (II) покрытия и который позволяет формирование (V) разности измерений, посредством чего может рассчитываться толщина слоя.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP09013170A EP2312267A1 (de) | 2009-10-19 | 2009-10-19 | Verfahren zur Schichtdickenmessung mittels Lasertriangulation und Vorrichtung |
| DE09013170.7 | 2009-10-19 | ||
| PCT/EP2010/058722 WO2011047890A1 (de) | 2009-10-19 | 2010-06-21 | Verfahren zur schichtdickenmessung mittels lasertriangulation und vorrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012120660A true RU2012120660A (ru) | 2013-11-27 |
| RU2541440C2 RU2541440C2 (ru) | 2015-02-10 |
Family
ID=41557637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012120660/28A RU2541440C2 (ru) | 2009-10-19 | 2010-06-21 | Способ измерения толщины слоя посредством лазерной триангуляции |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20120263866A1 (ru) |
| EP (2) | EP2312267A1 (ru) |
| JP (1) | JP2013508696A (ru) |
| KR (1) | KR20120098632A (ru) |
| CN (1) | CN102575927A (ru) |
| RU (1) | RU2541440C2 (ru) |
| WO (1) | WO2011047890A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9303983B2 (en) | 2012-04-02 | 2016-04-05 | The Boeing Company | Sealant analysis system |
| DE102012217175A1 (de) | 2012-09-24 | 2014-03-27 | Evonik Litarion Gmbh | Verfahren zur Ausrichtung zweier Lasersensoren zueinander |
| DE102012217176A1 (de) | 2012-09-24 | 2014-03-27 | Evonik Litarion Gmbh | Verfahren zur Ausrichtung eines Lasersensors zu einem Messobjekt |
| CN103245291B (zh) * | 2013-04-24 | 2015-12-09 | 中国船舶重工集团公司第十二研究所 | 叶片类零件装配精度检测方法 |
| US9721044B2 (en) | 2013-05-10 | 2017-08-01 | General Electric Company | Systems and methods for non-destructive evaluation of molds and crucibles used in investment casting |
| DE102015217166A1 (de) * | 2015-09-09 | 2017-03-09 | Mtu Aero Engines Gmbh | Verfahren zur Bestimmung von mindestens einer Oberflächeneigenschaft |
| GB201808325D0 (en) * | 2018-05-21 | 2018-07-11 | 3D Automated Metrology Inspection Ltd | Apparatus For Monitoring A Coating |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7027A (en) * | 1850-01-15 | Circulak | ||
| US6024A (en) * | 1849-01-09 | Cast-iron gar-wheel | ||
| US5013A (en) * | 1847-03-13 | Improvement in apparatus for the manufacture of malleable iron | ||
| US10011A (en) * | 1853-09-13 | Improvement in the shape of scythes | ||
| DE10313888A1 (de) * | 2003-03-27 | 2004-10-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur online Materialschichtdickenbestimmung |
| US8315834B2 (en) * | 2003-12-17 | 2012-11-20 | Siemens Energy, Inc. | System and method for measuring coating thickness |
| EP1643209B1 (de) * | 2004-09-30 | 2020-11-04 | Ansaldo Energia IP UK Limited | Messverfahren zum Messen einer Dicke einer Beschichtung |
| WO2006116841A1 (en) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | National Research Council Of Canada | Method of on-line thickness measurement of applied coatings |
| EP1844892A1 (de) * | 2006-04-13 | 2007-10-17 | ALSTOM Technology Ltd | Verfahren zur Laserentfernung von Beschichtenmaterialen in Kühlenlöchern eines Turbinenbauteiles |
| JP2008202969A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Toppan Printing Co Ltd | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
| RU82035U1 (ru) * | 2008-08-28 | 2009-04-10 | Юрий Андреевич Сазонов | Устройство для измерения толщины движущейся пленки (варианты) |
| US8031346B2 (en) * | 2008-10-31 | 2011-10-04 | Siemens Energy, Inc. | Coating evaluation process |
-
2009
- 2009-10-19 EP EP09013170A patent/EP2312267A1/de not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-06-21 KR KR1020127009905A patent/KR20120098632A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-06-21 EP EP10728168A patent/EP2491338A1/de not_active Withdrawn
- 2010-06-21 RU RU2012120660/28A patent/RU2541440C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2010-06-21 CN CN2010800472248A patent/CN102575927A/zh active Pending
- 2010-06-21 WO PCT/EP2010/058722 patent/WO2011047890A1/de active Application Filing
- 2010-06-21 JP JP2012534593A patent/JP2013508696A/ja active Pending
- 2010-06-21 US US13/502,381 patent/US20120263866A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2491338A1 (de) | 2012-08-29 |
| US20120263866A1 (en) | 2012-10-18 |
| EP2312267A1 (de) | 2011-04-20 |
| JP2013508696A (ja) | 2013-03-07 |
| CN102575927A (zh) | 2012-07-11 |
| WO2011047890A1 (de) | 2011-04-28 |
| RU2541440C2 (ru) | 2015-02-10 |
| KR20120098632A (ko) | 2012-09-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012120660A (ru) | Способ измерения толщины слоя посредством лазерной триангуляции и устройство для этого | |
| DE502007004215D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur dickenmessung | |
| NZ596559A (en) | Dry coating thickness measurement and instrument | |
| GB201320075D0 (en) | Gimbal instrument having a prealigned and replaceable optics bench | |
| TW200707509A (en) | Methods and apparatus for determining the endpoint of a cleaning or conditioning process in a plasma processing system | |
| WO2011151585A3 (fr) | Procédé et dispositif de mesure de l'épaisseur d'une couche de revêtement sur une bande en défilement. | |
| WO2012047428A3 (en) | Etch-resistant coating on sensor wafers for in-situ measurement | |
| JP2014219425A5 (ru) | ||
| ATE556357T1 (de) | Ausrichtungssystem und -verfahren für ein substrat in einem nanodruckverfahren | |
| IL228201B (en) | Substrate and patterning device for use in metrology, metrology method and device manufacturing method | |
| SG157348A1 (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
| DE602008003048D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung einer Objektoberfläche mittels eines Abstandssensors, der den Brennpunkt misst | |
| JP2013508696A5 (ru) | ||
| DE602005004092D1 (de) | Gerät zum Messen der Oberflächenrauhigkeit oder der Kontur eines Objektes | |
| JP2014505240A5 (ja) | 圧延中の薄膜ストリップ又は金属薄板ストリップの力を測定する力センサ・システム | |
| AR084464A1 (es) | Procedimiento para determinar variaciones entre sistemas de coordenadas de diferentes sistemas tecnicos | |
| MX354275B (es) | Método y aparato para la medición del amortiguamiento en una pieza de trabajo. | |
| ATE526575T1 (de) | Verfahren zur herstellung eines sensors und nach diesem verfahren hergestellter sensor | |
| AR087797A1 (es) | Metodo y sistema para determinar el desfasaje de un sensor | |
| GB2438778A (en) | System and method for speed measurement verification | |
| WO2013045210A3 (de) | Konfokale verfahren und vorrichtung zum vermessen homogen reflektierender oberflächen | |
| DE502004000476D1 (de) | Verfahren zur Ermittlung von Planheitsmessfehlern in Bändern, insbesondere Stahl- und Metallbändern, und Planheitsmessrolle | |
| ATE529571T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum erfassen des zustands von linienbauwerken | |
| ATE540287T1 (de) | Verfahren zum messen der exzentrizitätsmenge | |
| ATE520964T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur erfassung physikalischer parameter |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160622 |