RU2012112398A - ЛАЗЕРНАЯ ФОКУСИРУЮЩАЯ ГОЛОВКА С ЛИНЗАМИ ИЗ ZnS, ИМЕЮЩИМИ ТОЛЩИНУ ПО КРАЯМ, ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ, 5 мм, И УСТАНОВКА И СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ РЕЗКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ОДНОЙ ТАКОЙ ФОКУСИРУЮЩЕЙ ГОЛОВКИ - Google Patents

ЛАЗЕРНАЯ ФОКУСИРУЮЩАЯ ГОЛОВКА С ЛИНЗАМИ ИЗ ZnS, ИМЕЮЩИМИ ТОЛЩИНУ ПО КРАЯМ, ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ, 5 мм, И УСТАНОВКА И СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ РЕЗКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ОДНОЙ ТАКОЙ ФОКУСИРУЮЩЕЙ ГОЛОВКИ Download PDF

Info

Publication number
RU2012112398A
RU2012112398A RU2012112398/02A RU2012112398A RU2012112398A RU 2012112398 A RU2012112398 A RU 2012112398A RU 2012112398/02 A RU2012112398/02 A RU 2012112398/02A RU 2012112398 A RU2012112398 A RU 2012112398A RU 2012112398 A RU2012112398 A RU 2012112398A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
focusing
focusing head
lens
solid
laser
Prior art date
Application number
RU2012112398/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2553152C2 (ru
Inventor
Франсис БРИАН
Гайя БАЛЛЕРИНИ
Изабелль ДЕБЕКЕР
Тома ЖУАННО
Аким МААЗАУИ
Эрик ВЕРНА
Original Assignee
Л'Эр Ликид, Сосьете Аноним Пур Л'Этюд Э Л'Эксплуатасьон Де Проседе Жорж Клод
Эр Ликид Велдинг Франс
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=42105843&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2012112398(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Л'Эр Ликид, Сосьете Аноним Пур Л'Этюд Э Л'Эксплуатасьон Де Проседе Жорж Клод, Эр Ликид Велдинг Франс filed Critical Л'Эр Ликид, Сосьете Аноним Пур Л'Этюд Э Л'Эксплуатасьон Де Проседе Жорж Клод
Publication of RU2012112398A publication Critical patent/RU2012112398A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2553152C2 publication Critical patent/RU2553152C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/046—Automatically focusing the laser beam
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/38—Removing material by boring or cutting
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
    • G02B19/0009—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only
    • G02B19/0014—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only at least one surface having optical power
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0033—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
    • G02B19/0047—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source
    • G02B19/0052—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source the light source comprising a laser diode
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938—Using specific optical elements
    • G02B27/095—Refractive optical elements
    • G02B27/0955—Lenses
    • G02B27/0966—Cylindrical lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30—Collimators
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/40—Optical focusing aids

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

1. Фокусирующая головка для лазерного луча, содержащая коллимирующую линзу (13) и фокусирующую линзу (14), отличающаяся тем, что:- коллимирующая линза (13) и фокусирующая линза (14) выполнены из ZnS и имеют толщину по краям, по меньшей мере, 5 мм, и- отклоняющее зеркало (15), функционирующее под углом (α) наклона от 40° до 50°, расположено между коллимирующей линзой (13) и фокусирующей линзой (14) на пути лазерного луча в упомянутой фокусирующей головке.2. Фокусирующая головка по п.1, отличающаяся тем, что коллимирующая линза (13) и фокусирующая линза (14) имеют по краям толщину, величина которой составляет от 5 мм до 10 мм, предпочтительно от 6 мм до 8 мм.3. Фокусирующая головка по одному из предыдущих пунктов, отличающаяся тем, что коллимирующая линза (13) и фокусирующая линза (14) имеют диаметр, величина которого составляет от 35 мм до 55 мм.4. Фокусирующая головка по п.1, отличающаяся тем, что отклоняющее зеркало (15) выполнено из кремния.5. Установка лазерной резки, содержащая:- твердотельное лазерное устройство (SL), излучающее лазерный луч с длиной волны от 1,06 мкм до 1,10 мкм, и мощностью от 0,1 кВт до 25 кВт,- фокусирующую головку по одному из предыдущих пунктов, и- передающее волокно (FDC), соединяющее твердотельное лазерное устройство (SL) и фокусирующую головку так, чтобы подводить луч лазера, излучаемый твердотельным лазерным устройством (SL), к фокусирующей головке.6. Установка по п.5, отличающаяся тем, что твердотельное лазерное устройство (SL) представляет собой вид волоконного лазера, предпочтительно волоконный лазер, легированный иттербием.7. Установка по п.5 или 6, отличающаяся тем, что твердотельное лазерное устройство (SL) излучает лазерный луч с мощность�

Claims (13)

1. Фокусирующая головка для лазерного луча, содержащая коллимирующую линзу (13) и фокусирующую линзу (14), отличающаяся тем, что:
- коллимирующая линза (13) и фокусирующая линза (14) выполнены из ZnS и имеют толщину по краям, по меньшей мере, 5 мм, и
- отклоняющее зеркало (15), функционирующее под углом (α) наклона от 40° до 50°, расположено между коллимирующей линзой (13) и фокусирующей линзой (14) на пути лазерного луча в упомянутой фокусирующей головке.
2. Фокусирующая головка по п.1, отличающаяся тем, что коллимирующая линза (13) и фокусирующая линза (14) имеют по краям толщину, величина которой составляет от 5 мм до 10 мм, предпочтительно от 6 мм до 8 мм.
3. Фокусирующая головка по одному из предыдущих пунктов, отличающаяся тем, что коллимирующая линза (13) и фокусирующая линза (14) имеют диаметр, величина которого составляет от 35 мм до 55 мм.
4. Фокусирующая головка по п.1, отличающаяся тем, что отклоняющее зеркало (15) выполнено из кремния.
5. Установка лазерной резки, содержащая:
- твердотельное лазерное устройство (SL), излучающее лазерный луч с длиной волны от 1,06 мкм до 1,10 мкм, и мощностью от 0,1 кВт до 25 кВт,
- фокусирующую головку по одному из предыдущих пунктов, и
- передающее волокно (FDC), соединяющее твердотельное лазерное устройство (SL) и фокусирующую головку так, чтобы подводить луч лазера, излучаемый твердотельным лазерным устройством (SL), к фокусирующей головке.
6. Установка по п.5, отличающаяся тем, что твердотельное лазерное устройство (SL) представляет собой вид волоконного лазера, предпочтительно волоконный лазер, легированный иттербием.
7. Установка по п.5 или 6, отличающаяся тем, что твердотельное лазерное устройство (SL) излучает лазерный луч с мощностью от 1 кВт до 5 кВт, в непрерывном, квазинепрерывном или импульсном режиме, предпочтительно в непрерывном режиме.
8. Установка по п.5, отличающаяся тем, что передающее волокно (FDC) имеет диаметр, который не превышает 150 мкм, предпочтительно диаметр 50 мкм или 100 мкм.
9. Установка по п.5, отличающаяся тем, что твердотельное лазерное устройство (SL) излучает лазерный луч с параметром качества луча (ВРР) от 1,6 мм·мрад до 4 мм·мрад.
10. Установка п.5, отличающаяся тем, что передающее волокно (FDC) имеет диаметр 50 мкм и ВРР от 1,6 мм·мрад до 2,2 мм·мрад, причем коллимирующая линза имеет фокусное расстояние от 70 мм до 120 мм.
11. Установка п.5, отличающаяся тем, что передающее волокно (FDC) имеет диаметр 100 мкм и ВРР от 2,6 мм·мрад до 4 мм·мрад, причем коллимирующая линза имеет фокусное расстояние от 130 мм до 180 мм.
12 Установка п.5, отличающаяся тем, что фокусирующая линза имеет фокусное расстояние от 200 мм до 450 мм.
13. Способ лазерной резки металлической детали (10), в котором используют фокусирующую головку по одному из пп.1-4 или установку лазерной резки по одному из пп.5-12.
RU2012112398/02A 2009-09-01 2010-08-17 ЛАЗЕРНАЯ ФОКУСИРУЮЩАЯ ГОЛОВКА С ЛИНЗАМИ ИЗ ZnS, ИМЕЮЩИМИ ТОЛЩИНУ ПО КРАЯМ, ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ, 5 мм, И УСТАНОВКА И СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ РЕЗКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ОДНОЙ ТАКОЙ ФОКУСИРУЮЩЕЙ ГОЛОВКИ RU2553152C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0955949A FR2949618B1 (fr) 2009-09-01 2009-09-01 Tete de focalisation laser pour installation laser solide
FR0955949 2009-09-01
PCT/FR2010/051723 WO2011027065A1 (fr) 2009-09-01 2010-08-17 Tete de focalisation laser avec des lentilles en zns ayant une epaisseur aux bords d'au moins 5 mm; installation et procede de coupage laser employant une telle tete de focalisation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012112398A true RU2012112398A (ru) 2013-10-10
RU2553152C2 RU2553152C2 (ru) 2015-06-10

Family

ID=42105843

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012112398/02A RU2553152C2 (ru) 2009-09-01 2010-08-17 ЛАЗЕРНАЯ ФОКУСИРУЮЩАЯ ГОЛОВКА С ЛИНЗАМИ ИЗ ZnS, ИМЕЮЩИМИ ТОЛЩИНУ ПО КРАЯМ, ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ, 5 мм, И УСТАНОВКА И СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ РЕЗКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ОДНОЙ ТАКОЙ ФОКУСИРУЮЩЕЙ ГОЛОВКИ

Country Status (13)

Country Link
US (1) US20120154922A1 (ru)
EP (1) EP2473315B1 (ru)
JP (1) JP2013503751A (ru)
CN (1) CN102481665B (ru)
BR (1) BR112012004680A2 (ru)
DK (1) DK2473315T3 (ru)
ES (1) ES2457231T3 (ru)
FR (1) FR2949618B1 (ru)
IN (1) IN2012DN00926A (ru)
PL (1) PL2473315T3 (ru)
PT (1) PT2473315E (ru)
RU (1) RU2553152C2 (ru)
WO (1) WO2011027065A1 (ru)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5642493B2 (ja) * 2010-10-15 2014-12-17 三菱重工業株式会社 レーザ切断装置及びレーザ切断方法
JP5766423B2 (ja) * 2010-10-15 2015-08-19 三菱重工業株式会社 レーザ切断装置及びレーザ切断方法
PL3693122T3 (pl) 2010-12-16 2022-10-31 Bystronic Laser Ag Urządzenie do obróbki wiązką laserową zawierające pojedynczą soczewkę do skupiania światła
US8881553B2 (en) * 2011-06-01 2014-11-11 US Conec, Ltd Assembly for precision datum alignment and method of use
DE102013102442B4 (de) * 2013-03-12 2014-11-27 Highyag Lasertechnologie Gmbh Optische Vorrichtung zur Strahlformung
JP5805256B1 (ja) * 2014-04-07 2015-11-04 ハイヤグ レーザーテクノロジー ゲーエムベーハーＨＩＧＨＹＡＧ Ｌａｓｅｒｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅ ＧｍｂＨ ビーム整形のための光学デバイス
US9678281B2 (en) 2014-04-25 2017-06-13 US Conec, Ltd Apparatus for and method of terminating a multi-fiber ferrule
CN103962731B (zh) * 2014-04-30 2016-04-27 武汉锐科光纤激光器技术有限责任公司 光纤激光负压切割8mm以上厚金属材料的方法
JP5919356B2 (ja) * 2014-10-15 2016-05-18 株式会社アマダホールディングス レーザ光による板金の加工方法及びこれを実行するレーザ加工装置
JP6025917B1 (ja) * 2015-06-10 2016-11-16 株式会社アマダホールディングス レーザ切断方法
IT201600070259A1 (it) * 2016-07-06 2018-01-06 Adige Spa Procedimento di lavorazione laser di un materiale metallico con controllo della posizione dell'asse ottico del laser rispetto ad un flusso di gas di assistenza, nonché macchina e programma per elaboratore per l'attuazione di un tale procedimento.
US20200238438A1 (en) * 2017-10-17 2020-07-30 Mitsubishi Electric Corporation Laser processing machine
GB201801796D0 (en) * 2018-02-02 2018-03-21 Spi Lasers Uk Ltd Apparatus and method for laser processing a material
DE102018218006A1 (de) * 2018-10-22 2020-04-23 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Schneidprozesses
DE102019212360A1 (de) * 2019-08-19 2021-02-25 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Brennschneiden mittels eines Laserstrahls
KR102324548B1 (ko) * 2019-12-31 2021-11-10 (주)미래컴퍼니 레이저 가공 시스템 및 레이저 가공 방법
RU2760443C1 (ru) * 2020-12-07 2021-11-25 Общество с Ограниченной Ответственностью Научно Исследовательский Центр «Астрофизика» Устройство фокусировки для лазерной обработки
US20220203481A1 (en) * 2020-12-29 2022-06-30 American Air Liquide, Inc. Donut keyhole laser cutting
US20220283416A1 (en) * 2021-03-04 2022-09-08 Ii-Vi Delaware, Inc. Dynamic Focus For Laser Processing Head
DE102022101322A1 (de) 2022-01-20 2023-07-20 TRUMPF Werkzeugmaschinen SE + Co. KG Laserschneideverfahren mit Fokuslage innerhalb einer Schneiddüse mit kleinem Mündungsdurchmesser

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3435363A (en) * 1965-03-23 1969-03-25 Bell Telephone Labor Inc Self-focusing laser
JPH0716067B2 (ja) * 1988-12-22 1995-02-22 富士電機株式会社 レーザ加工装置
JPH0957479A (ja) * 1995-08-28 1997-03-04 Amada Co Ltd レーザ加工ヘッド
JPH1058181A (ja) * 1996-08-23 1998-03-03 Amada Eng Center:Kk レーザビームの遮光装置
US6289155B1 (en) * 1997-12-13 2001-09-11 Lightchip, Inc. Wavelength division multiplexing/demultiplexing devices using dual high index of refraction crystalline lenses
RU12887U1 (ru) * 1998-04-15 2000-02-20 Экспериментальное научно-производственное объединение "Специализированные электронные системы" Лазерная установка
CN1195453C (zh) * 1998-05-13 2005-04-06 三星电子株式会社 激光机头
JP2001009580A (ja) * 1999-06-28 2001-01-16 Amada Eng Center Co Ltd レーザ光集光装置
JP2002006122A (ja) * 2000-06-19 2002-01-09 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd レーザミラー
JP3608504B2 (ja) * 2000-11-14 2005-01-12 住友電気工業株式会社 赤外線レーザ用光学部品の製造方法
RU2226183C2 (ru) * 2002-02-21 2004-03-27 Алексеев Андрей Михайлович Способ резки прозрачных неметаллических материалов
JP4357944B2 (ja) * 2003-12-05 2009-11-04 トヨタ自動車株式会社 固体レーザ加工装置およびレーザ溶接方法
JP4182034B2 (ja) * 2004-08-05 2008-11-19 ファナック株式会社 切断加工用レーザ装置
FR2897007B1 (fr) * 2006-02-03 2008-04-11 Air Liquide Procede de coupage avec un laser a fibre avec controle des parametres du faisceau
JP2009063941A (ja) * 2007-09-10 2009-03-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 遠赤外線カメラ用レンズ、レンズユニット及び撮像装置
JP5033693B2 (ja) * 2008-03-25 2012-09-26 株式会社アマダ ファイバレーザ加工機における集光直径の変換制御方法及びその装置
RU86129U1 (ru) * 2008-04-15 2009-08-27 Открытое акционерное общество Национальный институт авиационных технологий (ОАО НИАТ) Лазерная режущая установка
CN101323053A (zh) * 2008-07-16 2008-12-17 上海大学 飞秒激光微球打孔方法和装置
FR2935916B1 (fr) * 2008-09-12 2011-08-26 Air Liquide Procede et installation de coupage laser avec modification du facteur de qualite du faisceau laser

Also Published As

Publication number Publication date
BR112012004680A2 (pt) 2019-09-24
WO2011027065A1 (fr) 2011-03-10
US20120154922A1 (en) 2012-06-21
FR2949618A1 (fr) 2011-03-04
CN102481665A (zh) 2012-05-30
PL2473315T3 (pl) 2014-06-30
IN2012DN00926A (ru) 2015-04-03
ES2457231T3 (es) 2014-04-25
CN102481665B (zh) 2015-07-01
RU2553152C2 (ru) 2015-06-10
DK2473315T3 (da) 2014-04-07
EP2473315A1 (fr) 2012-07-11
JP2013503751A (ja) 2013-02-04
EP2473315B1 (fr) 2014-01-15
FR2949618B1 (fr) 2011-10-28
PT2473315E (pt) 2014-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012112398A (ru) ЛАЗЕРНАЯ ФОКУСИРУЮЩАЯ ГОЛОВКА С ЛИНЗАМИ ИЗ ZnS, ИМЕЮЩИМИ ТОЛЩИНУ ПО КРАЯМ, ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ, 5 мм, И УСТАНОВКА И СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ РЕЗКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ОДНОЙ ТАКОЙ ФОКУСИРУЮЩЕЙ ГОЛОВКИ
JP5241525B2 (ja) レーザ加工装置
US7333255B2 (en) Laser processing device
RU2012154354A (ru) Источник света с лазерной накачкой и способ генерации излучения
US9346126B2 (en) Laser processing head, laser processing apparatus, optical system of laser processing apparatus, laser processing method, and laser focusing method
US9129717B2 (en) EUV excitation light source with a laser beam source and a beam guide device for manipulating the laser beam
JP5832412B2 (ja) 光学系及びレーザ加工装置
JP2007167918A (ja) レーザ加工装置
WO2011017003A3 (en) Optical system for ophthalmic surgical laser
WO2011017002A3 (en) Optical system with movable lens for ophthalmic surgical laser
JP5241527B2 (ja) レーザ加工装置
DE602008000099D1 (de) Multilasersystem
JP2015223614A (ja) 長距離レーザ切断装置
EP2058688A3 (en) Beam-adjusting optics
US20200039005A1 (en) Device and method for laser-based separation of a transparent, brittle workpiece
RU2383416C1 (ru) Устройство для лазерной обработки материалов
KR102131764B1 (ko) 반도체 기판을 통한 중간 적외선 레이저 광의 투과에 의한 열처리
TWI715548B (zh) 硬脆材料的雷射切割方法及雷射切割機與雷射切割機的光學系統
JP5389554B2 (ja) レーザ装置及びレーザ光の調整方法
JP5302788B2 (ja) レーザ加工装置
KR101667792B1 (ko) 간섭 빔을 이용한 절단용 광학기기
JP2013500136A5 (ru)
US11387618B2 (en) Laser beam irradiation apparatus and laser beam irradiation system
US20210113851A1 (en) Medical handpiece and medical laser apparatus
JP2015196172A (ja) レーザ加工装置及びレンズユニット

Legal Events

Date Code Title Description
HZ9A Changing address for correspondence with an applicant
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180818