Claims (11)
1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности образца (40), содержащий:1. Scanning probe microscope, combined with a device for modifying the surface of a sample (40), containing:
- основание (1), на котором установлены:- base (1) on which are installed:
- пуансон (2) с первым приводом (4), адаптированный по меньшей мере для модификации поверхности образца (40), и- a punch (2) with a first drive (4), adapted at least to modify the surface of the sample (40), and
- механизм (6) перемещения образца (40) со вторым приводом (7),- a mechanism (6) for moving the sample (40) with a second drive (7),
- сканирующее устройство (33), установленое на механизме (6) перемещения образца (40),- a scanning device (33) mounted on the mechanism (6) for moving the sample (40),
- образец (40), закрепленный на сканирующем устройстве (33),- a sample (40) mounted on a scanning device (33),
- первый зажим (27) с зондом (28), адаптированным для зондирования образца (6), иa first clamp (27) with a probe (28) adapted to probe the sample (6), and
- блок управления (107), адаптированный для управления по меньшей мере сканирующим устройством (33) и зондом (28),- a control unit (107) adapted to control at least a scanning device (33) and a probe (28),
характеризующийся тем, что он содержит платформу (18) с первой и второй направляющими (22), (23), на которых установлена подвижная каретка (26),characterized in that it comprises a platform (18) with first and second guides (22), (23), on which a movable carriage (26) is mounted,
тем, что платформа (18) закреплена на механизме (6) перемещения образца (40), иthe fact that the platform (18) is mounted on the mechanism (6) for moving the sample (40), and
тем, что первый зажим (27) с зондом (28) установлены на подвижной каретке (26).in that the first clamp (27) with the probe (28) is mounted on the movable carriage (26).
2. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит третий привод (31), сопряженный с подвижной кареткой (26) и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления третьим приводом (31).2. A scanning probe microscope according to claim 1, characterized in that it contains a third drive (31) coupled to a movable carriage (26) and that the control unit (107) is adapted to control the third drive (31).
3. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, характеризующийся тем, что третий привод (31) установлен на платформе (18).3. A scanning probe microscope according to claim 2, characterized in that the third drive (31) is mounted on the platform (18).
4. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, характеризующийся тем, что третий привод (31) установлен на основании (1).4. Scanning probe microscope according to claim 2, characterized in that the third drive (31) is installed on the basis of (1).
5. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что первый привод (4) сопряжен с подвижной кареткой (26), и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления первым приводом (4).5. Scanning probe microscope according to claim 1, characterized in that the first drive (4) is paired with a movable carriage (26), and that the control unit (107) is adapted to control the first drive (4).
6. Сканирующий зондовый микроскоп по любому одному из пп.1-5, характеризующийся тем, что он содержит первый экран (42), установленный на платформе (18) с возможностью подвижки относительно нее.6. Scanning probe microscope according to any one of claims 1 to 5, characterized in that it contains a first screen (42) mounted on the platform (18) with the possibility of movement relative to it.
7. Сканирующий зондовый микроскоп по п.6, характеризующийся тем, что он содержит второй экран (95), установленный на платформе (18) с возможностью подвижки относительно нее.7. Scanning probe microscope according to claim 6, characterized in that it contains a second screen (95) mounted on the platform (18) with the possibility of movement relative to it.
8. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что сканирующее устройство (33) закреплено на платформе (18).8. Scanning probe microscope according to claim 1, characterized in that the scanning device (33) is mounted on the platform (18).
9. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что на первом приводе (4) установлен модуль воздействия на зонд (28), и тем, что блок управления (107) адаптирован для управления первым приводом (4).9. A scanning probe microscope according to claim 1, characterized in that a probe exposure module (28) is installed on the first drive (4), and that the control unit (107) is adapted to control the first drive (4).
10. Сканирующий зондовый микроскоп по п.9, характеризующийся тем, что модуль воздействия на зонд (28) содержит держатель (3) и кольцевой электрод (57) с электролитом (58), и тем, что кольцевой электрод (57) закреплен в держателе (3).10. A scanning probe microscope according to claim 9, characterized in that the probe exposure module (28) comprises a holder (3) and an annular electrode (57) with an electrolyte (58), and that the annular electrode (57) is fixed in the holder (3).
11. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что пуансон (2), первый зажим (27) с зондом (28) и сканирующее устройство (33) с образцом (40) расположены в криогенной камере (103) с возможностью их охлаждения.
11. Scanning probe microscope according to claim 1, characterized in that the punch (2), the first clamp (27) with the probe (28) and the scanning device (33) with the sample (40) are located in the cryogenic chamber (103) with the possibility of their cooling.