RU2010147899A - Изображающий микроэллипсометр - Google Patents
Изображающий микроэллипсометр Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010147899A RU2010147899A RU2010147899/28A RU2010147899A RU2010147899A RU 2010147899 A RU2010147899 A RU 2010147899A RU 2010147899/28 A RU2010147899/28 A RU 2010147899/28A RU 2010147899 A RU2010147899 A RU 2010147899A RU 2010147899 A RU2010147899 A RU 2010147899A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- beam splitter
- polarizing beam
- lens
- micro
- optical axis
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
1. Изображающий микроэллипсометр, включающий оптически связанные источник когерентного освещения, элемент управления плоскостью поляризации, микрообъектив, предметный столик с объектом измерения, и интерференционный блок формирования изображения, отличающийся тем, что неполяризующий светоделитель установлен с возможностью направления излучения источника когерентного освещения через микрообъектив на объект измерения, и с возможностью направления отраженного излучения с выхода микрообъектива на интерференционный блок формирования изображения. ! 2. Изображающий микроэллипсометр по п.1, отличающийся тем, что микрообъектив, предметный столик с объектом измерения и интерференционный блок формирования изображения расположены на одной оптической оси, микрообъектив и предметный столик одной стороны неполяризующего светоделителя, а интерференционный блок формирования изображения - с противоположной стороны, при этом источник когерентного освещения и ловушка-поглотитель расположены по разные стороны неполяризующего светоделителя на оптической оси, перпендикулярной оптической оси микрообъектива и пересекающей ее в неполяризующем светоделителе. ! 3. Изображающий микроэллипсометр по п.1, отличающийся тем, что микрообъектив, предметный столик с объектом измерения и источник когерентного освещения расположены на одной оптической оси, микрообъектив и предметный столик одной стороны неполяризующего светоделителя, а источник когерентного освещения - с противоположной стороны, при этом интерференционный блок формирования изображения и ловушка-поглотитель расположены по разные стороны неполяризующего
Claims (9)
1. Изображающий микроэллипсометр, включающий оптически связанные источник когерентного освещения, элемент управления плоскостью поляризации, микрообъектив, предметный столик с объектом измерения, и интерференционный блок формирования изображения, отличающийся тем, что неполяризующий светоделитель установлен с возможностью направления излучения источника когерентного освещения через микрообъектив на объект измерения, и с возможностью направления отраженного излучения с выхода микрообъектива на интерференционный блок формирования изображения.
2. Изображающий микроэллипсометр по п.1, отличающийся тем, что микрообъектив, предметный столик с объектом измерения и интерференционный блок формирования изображения расположены на одной оптической оси, микрообъектив и предметный столик одной стороны неполяризующего светоделителя, а интерференционный блок формирования изображения - с противоположной стороны, при этом источник когерентного освещения и ловушка-поглотитель расположены по разные стороны неполяризующего светоделителя на оптической оси, перпендикулярной оптической оси микрообъектива и пересекающей ее в неполяризующем светоделителе.
3. Изображающий микроэллипсометр по п.1, отличающийся тем, что микрообъектив, предметный столик с объектом измерения и источник когерентного освещения расположены на одной оптической оси, микрообъектив и предметный столик одной стороны неполяризующего светоделителя, а источник когерентного освещения - с противоположной стороны, при этом интерференционный блок формирования изображения и ловушка-поглотитель расположены по разные стороны неполяризующего светоделителя на оптической оси отраженного луча, перпендикулярной оптической оси микрообъектива и пересекающей ее в неполяризующем светоделителе.
4. Изображающий микроэллипсометр по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что фронтальная линза микрообъектива выполнена с фокальной плоскостью, совпадающей с фронтальная поверхностью фронтальной линзы.
5. Изображающий микроэллипсометр по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что между источником когерентного освещения и неполяризующим светоделителем последовательно установлены управляемая полуволновая пластинка и коллиматор.
6. Изображающий микроэллипсометр по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что интерференционный блок формирования изображения содержит второй неполяризующий светоделитель и поляризующий светоделитель, двойное угловое зеркало, фазовый модулятор в виде плоского зеркала с механизмом перемещения, поворотное зеркало, проекционную систему и ловушку-поглотитель, при этом на входной оптической оси интерференционного блока формирования изображения установлены последовательно первая линза проекционной системы, поляризующий светоделитель и двойное угловое зеркало, на оптической оси фотоприемника последовательно расположены вторая линза проекционной системы, второй неполяризующий светоделитель и установленное под углом 45° поворотное зеркало, через которое оптическая ось фотоприемника связана с перпендикулярной осью поляризующего светоделителя и с установленной за ним четвертьволновой пластинкой и фазовым модулятором, причем поляризующий светоделитель через двойное угловое зеркало связан с вторым неполяризующим светоделем, на противоположной стороне которого установлена ловушка-поглотитель.
7. Изображающий микроэллипсометр по п.6, отличающийся тем, что механизм перемещения фазового модулятора выполнен в виде пьезопривода.
8 Изображающий микроэллипсометр по п.6, отличающийся тем, что двойное угловое зеркало выполнено в виде пентапризмы, установленной с возможностью его перемещения вдоль биссектрисы угла между его двумя сторонами.
9. Изображающий микроэллипсометр по п.6, отличающийся тем, что в проекционную система введены первая и вторая дополнительные линзы, размещенные соответственно на выходах поляризующего светоделителя на его перепендикулярных оптических осях, и третья и четвертая дополнительные линзы, размещенные соответственно на входах второго неполяризующего светоделителя на его перепендикулярных оптических осях.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2010147899/28A RU2503922C2 (ru) | 2010-11-24 | 2010-11-24 | Изображающий микроэллипсометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2010147899/28A RU2503922C2 (ru) | 2010-11-24 | 2010-11-24 | Изображающий микроэллипсометр |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2010147899A true RU2010147899A (ru) | 2012-05-27 |
RU2503922C2 RU2503922C2 (ru) | 2014-01-10 |
Family
ID=46231481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2010147899/28A RU2503922C2 (ru) | 2010-11-24 | 2010-11-24 | Изображающий микроэллипсометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2503922C2 (ru) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1157416A1 (ru) * | 1983-12-26 | 1985-05-23 | Киевский Ордена Ленина Государственный Университет Им.Т.Г.Шевченко | Многолучевой интерференционный эллипсометр |
SU1695145A1 (ru) * | 1988-08-03 | 1991-11-30 | Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср | Эллипсометр |
RU2181498C1 (ru) * | 2001-01-15 | 2002-04-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория АМФОРА" | Способ определения микрорельефа объекта и оптических свойств приповерхностного слоя, модуляционный интерференционный микроскоп для осуществления способа |
US7324214B2 (en) * | 2003-03-06 | 2008-01-29 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features |
-
2010
- 2010-11-24 RU RU2010147899/28A patent/RU2503922C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2503922C2 (ru) | 2014-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2016105963A (ru) | Устройство стереоскопических изображений | |
WO2011127400A3 (en) | Laser beam analysis apparatus | |
JP2009544048A5 (ru) | ||
WO2014059811A1 (zh) | 离轴对准***及对准方法 | |
KR20100134609A (ko) | 물체의 표면 형태를 측정하기 위한 장치 및 방법 | |
JP2013517465A5 (ru) | ||
JP2014026195A5 (ru) | ||
JP2013518261A5 (ja) | ホログラフィックマスク検査システム、ホログラフィックマスク検査方法、及びリソグラフィシステム | |
CN103307969B (zh) | 白色光干涉测量装置 | |
JP2011247886A5 (ru) | ||
TW200732822A (en) | Projector | |
JP2018205301A5 (ru) | ||
JP2014517505A5 (ru) | ||
JP2011033567A (ja) | 斜入射干渉計 | |
TW201728967A (zh) | 偏振器配置、極紫外線輻射產生裝置及用於雷射光束之線性偏振之方法 | |
CN207798024U (zh) | 一种紧凑型的数字全息显微*** | |
RU2011118414A (ru) | 3d-проектор | |
CN210690999U (zh) | 具有相位补偿功能的图案化液晶光取向装置 | |
JP2006084956A5 (ru) | ||
RU2010147899A (ru) | Изображающий микроэллипсометр | |
JP5421677B2 (ja) | 光干渉計を用いた変位計測装置 | |
RU2012133312A (ru) | Интерферометрическая система обнаружения положения | |
RU2304796C1 (ru) | Двухканальный оптико-электронный автоколлиматор | |
TWI497186B (zh) | 雷射微型投影機 | |
RU2016136551A (ru) | Многоканальный конфокальный микроскоп |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20141125 |