RU2010147899A - Изображающий микроэллипсометр - Google Patents

Abstract

1. Изображающий микроэллипсометр, включающий оптически связанные источник когерентного освещения, элемент управления плоскостью поляризации, микрообъектив, предметный столик с объектом измерения, и интерференционный блок формирования изображения, отличающийся тем, что неполяризующий светоделитель установлен с возможностью направления излучения источника когерентного освещения через микрообъектив на объект измерения, и с возможностью направления отраженного излучения с выхода микрообъектива на интерференционный блок формирования изображения. ! 2. Изображающий микроэллипсометр по п.1, отличающийся тем, что микрообъектив, предметный столик с объектом измерения и интерференционный блок формирования изображения расположены на одной оптической оси, микрообъектив и предметный столик одной стороны неполяризующего светоделителя, а интерференционный блок формирования изображения - с противоположной стороны, при этом источник когерентного освещения и ловушка-поглотитель расположены по разные стороны неполяризующего светоделителя на оптической оси, перпендикулярной оптической оси микрообъектива и пересекающей ее в неполяризующем светоделителе. ! 3. Изображающий микроэллипсометр по п.1, отличающийся тем, что микрообъектив, предметный столик с объектом измерения и источник когерентного освещения расположены на одной оптической оси, микрообъектив и предметный столик одной стороны неполяризующего светоделителя, а источник когерентного освещения - с противоположной стороны, при этом интерференционный блок формирования изображения и ловушка-поглотитель расположены по разные стороны неполяризующего

Claims (9)

1. Изображающий микроэллипсометр, включающий оптически связанные источник когерентного освещения, элемент управления плоскостью поляризации, микрообъектив, предметный столик с объектом измерения, и интерференционный блок формирования изображения, отличающийся тем, что неполяризующий светоделитель установлен с возможностью направления излучения источника когерентного освещения через микрообъектив на объект измерения, и с возможностью направления отраженного излучения с выхода микрообъектива на интерференционный блок формирования изображения.

2. Изображающий микроэллипсометр по п.1, отличающийся тем, что микрообъектив, предметный столик с объектом измерения и интерференционный блок формирования изображения расположены на одной оптической оси, микрообъектив и предметный столик одной стороны неполяризующего светоделителя, а интерференционный блок формирования изображения - с противоположной стороны, при этом источник когерентного освещения и ловушка-поглотитель расположены по разные стороны неполяризующего светоделителя на оптической оси, перпендикулярной оптической оси микрообъектива и пересекающей ее в неполяризующем светоделителе.

3. Изображающий микроэллипсометр по п.1, отличающийся тем, что микрообъектив, предметный столик с объектом измерения и источник когерентного освещения расположены на одной оптической оси, микрообъектив и предметный столик одной стороны неполяризующего светоделителя, а источник когерентного освещения - с противоположной стороны, при этом интерференционный блок формирования изображения и ловушка-поглотитель расположены по разные стороны неполяризующего светоделителя на оптической оси отраженного луча, перпендикулярной оптической оси микрообъектива и пересекающей ее в неполяризующем светоделителе.

4. Изображающий микроэллипсометр по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что фронтальная линза микрообъектива выполнена с фокальной плоскостью, совпадающей с фронтальная поверхностью фронтальной линзы.

5. Изображающий микроэллипсометр по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что между источником когерентного освещения и неполяризующим светоделителем последовательно установлены управляемая полуволновая пластинка и коллиматор.

6. Изображающий микроэллипсометр по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что интерференционный блок формирования изображения содержит второй неполяризующий светоделитель и поляризующий светоделитель, двойное угловое зеркало, фазовый модулятор в виде плоского зеркала с механизмом перемещения, поворотное зеркало, проекционную систему и ловушку-поглотитель, при этом на входной оптической оси интерференционного блока формирования изображения установлены последовательно первая линза проекционной системы, поляризующий светоделитель и двойное угловое зеркало, на оптической оси фотоприемника последовательно расположены вторая линза проекционной системы, второй неполяризующий светоделитель и установленное под углом 45° поворотное зеркало, через которое оптическая ось фотоприемника связана с перпендикулярной осью поляризующего светоделителя и с установленной за ним четвертьволновой пластинкой и фазовым модулятором, причем поляризующий светоделитель через двойное угловое зеркало связан с вторым неполяризующим светоделем, на противоположной стороне которого установлена ловушка-поглотитель.

7. Изображающий микроэллипсометр по п.6, отличающийся тем, что механизм перемещения фазового модулятора выполнен в виде пьезопривода.

8 Изображающий микроэллипсометр по п.6, отличающийся тем, что двойное угловое зеркало выполнено в виде пентапризмы, установленной с возможностью его перемещения вдоль биссектрисы угла между его двумя сторонами.

9. Изображающий микроэллипсометр по п.6, отличающийся тем, что в проекционную система введены первая и вторая дополнительные линзы, размещенные соответственно на выходах поляризующего светоделителя на его перепендикулярных оптических осях, и третья и четвертая дополнительные линзы, размещенные соответственно на входах второго неполяризующего светоделителя на его перепендикулярных оптических осях.