RU2010101434A - METAL NETWORK STRUCTURE AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE - Google Patents

Abstract

1. Перфорированная металлическая сеточная структура (МСС), представляющая собой гальванически выращенную металлическую сетку, отличающаяся тем, что она выполнена самоподдерживающейся, т.е. крепящейся своими краями к массивному опорному металлическому кольцу, входящему в состав исходной подложки. ! 2. Способ изготовления перфорированной металлической сеточной структуры, включающий в себя процессы формирования литографическими способами на исходной электропроводящей (или содержащей верхний электропроводящий слой) подложке резистивной маски, электрохимического осаждения на рабочую поверхность подложки через резистивную маску металлической пленки, удаления резистивной маски, отличающийся тем, что исходную подложку изготавливают из двух выполненных из различных материалов деталей: опорного кольца и центрального диска, который полностью удаляют на одном из последних этапов формирования МСС посредством травления (химического, плазмохимического и т.п.). ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что на рабочую поверхность исходной подложки, в случае необходимости блокирования химического взаимодействия материалов диска или кольца с электролитом, напыляют тонкий слой электрохимически осаждаемого металла. 1. A perforated metal mesh structure (MSS), which is a galvanically grown metal mesh, characterized in that it is made self-supporting, i.e. fastened by its edges to a massive support metal ring, which is part of the original substrate. ! 2. A method of manufacturing a perforated metal mesh structure, including the processes of forming lithographic methods on the initial conductive (or containing the upper conductive layer) resistive mask substrate, electrochemical deposition on the working surface of the substrate through a resistive metal film mask, removing the resistive mask, characterized in that the initial substrate is made of two parts made of different materials: a support ring and a central disk, which Using the fully removed one of the last steps of forming the MCC by etching (chemical, plasma-chemical, etc.). ! 3. The method according to claim 2, characterized in that a thin layer of electrochemically deposited metal is sprayed onto the working surface of the original substrate, if necessary, blocking the chemical interaction of the materials of the disk or ring with the electrolyte.

Claims (3)

1. Перфорированная металлическая сеточная структура (МСС), представляющая собой гальванически выращенную металлическую сетку, отличающаяся тем, что она выполнена самоподдерживающейся, т.е. крепящейся своими краями к массивному опорному металлическому кольцу, входящему в состав исходной подложки.1. A perforated metal mesh structure (MSS), which is a galvanically grown metal mesh, characterized in that it is made self-supporting, i.e. fastened by its edges to a massive support metal ring, which is part of the original substrate. 2. Способ изготовления перфорированной металлической сеточной структуры, включающий в себя процессы формирования литографическими способами на исходной электропроводящей (или содержащей верхний электропроводящий слой) подложке резистивной маски, электрохимического осаждения на рабочую поверхность подложки через резистивную маску металлической пленки, удаления резистивной маски, отличающийся тем, что исходную подложку изготавливают из двух выполненных из различных материалов деталей: опорного кольца и центрального диска, который полностью удаляют на одном из последних этапов формирования МСС посредством травления (химического, плазмохимического и т.п.).2. A method of manufacturing a perforated metal mesh structure, including the processes of forming lithographic methods on the initial conductive (or containing the upper conductive layer) resistive mask substrate, electrochemical deposition on the working surface of the substrate through a resistive metal film mask, removing the resistive mask, characterized in that the initial substrate is made of two parts made of different materials: a support ring and a central disk, which Using the fully removed one of the last steps of forming the MCC by etching (chemical, plasma-chemical, etc.). 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что на рабочую поверхность исходной подложки, в случае необходимости блокирования химического взаимодействия материалов диска или кольца с электролитом, напыляют тонкий слой электрохимически осаждаемого металла. 3. The method according to claim 2, characterized in that a thin layer of electrochemically deposited metal is sprayed onto the working surface of the original substrate, if necessary, blocking the chemical interaction of the materials of the disk or ring with the electrolyte.