RU2005132957A - Способ изготовления продукта переработки, включающего содержащий кремний сплав ниобия и тантала (его варианты), лунки глубокой вытяжки и мишени ионного распыления, полученные из него - Google Patents

Claims (26)

1. Способ изготовления продукта переработки, включающего содержащий кремний сплав ниобия или тантала, причем этот способ включает

A) формирование смеси, включающей порошок ниобия или тантала и порошок кремния, и прессование смеси с получением прессованной смеси;

B) присоединение прессованной смеси к электроду, включающему ниобий или тантал;

C) расплавление электрода и прессованной смеси в условиях вакуумно-дугового переплава так, что смесь смешивается с расплавленным электродом;

D) охлаждение расплавленного электрода с формированием слитка сплава; и,

Е) применение термомеханических технологических операций к слитку сплава.

2. Способ по п.1, где продукт переработки в Е) имеет мелкий и однородный размер зерна по ASTM от 5 до 9.

3. Способ по п.1, где кремний присутствует в А) в количестве от 0,1 до 100 чнм относительно полного содержания ниобия или тантала в продукте переработки.

4. Способ по п.1, где стадии термомеханической обработки в Е) включают

i) ковку слитка сплава с формированием продукта переработки; и

ii) отжиг продукта переработки при температуре от 950 до 1150°С.

5. Способ по п.4, где продукт переработки выбран из группы, состоящей из фольги, листов, пластин, труб и стержней.

6. Способ по п.4, где отжиг в i) приводит по меньшей мере к 75% рекристаллизации.

7. Способ по п.1, где термомеханические технологические операции в Е) включают

I) прокатку продукта переработки до промежуточной толщины;

II) отжиг продукта переработки из I) при температуре от 950 до 1150°С в течение периода от 30 до 180 мин;

III) прокатку продукта переработки из II); и

IV) отжиг продукта переработки из III) при температуре от 950 до 1150°С в течение периода от 30 до 180 мин и затем охлаждение продукта переработки до комнатной температуры.

8. Способ по п.6, где продукт переработки выбран из группы, состоящей из фольги, листов, пластин, труб и стержней.

9. Способ по п.7, где отжиг в II) и IV) приводит по меньшей мере к 75% рекристаллизации.

10. Продукт переработки, содержащий ниобий или тантал, полученный в соответствии со способом по п.1.

11. Продукт переработки по п.10, где продукт переработки выбран из группы, состоящей из фольги, листа, пластины, трубы и стержня.

12. Лунки глубокой вытяжки, полученные из продукта переработки по п.10.

13. Мишени ионного распыления, полученные из продукта переработки по п.10.

14. Способ изготовления продукта переработки, включающего содержащий кремний сплав ниобия или тантала, причем этот способ включает

a) плавление ниобия или тантала с образованием расплава;

b) добавление от 0,1 до 60 чнм кремния относительно ниобия или тантала в расплав;

c) охлаждение расплава с формированием слитка сплава;

d) применение термомеханических технологических операций к слитку сплава.

15. Способ по п.14, где продукт переработки имеет мелкий и однородный размер зерна по ASTM от 5 до 9.

16. Способ по п.14, где кремний присутствует в b) в количестве от 0,1 до 100 чнм относительно всего ниобия или тантала.

17. Способ по п.14, где термомеханические технологические операции в d) включают

i) ковку слитка сплава с формированием продукта переработки; и

ii) отжиг продукта переработки при температуре от 950 до 1150°С.

18. Способ по п.17, где продукт переработки выбран из группы, состоящей из фольги, листов, пластин, труб и стержней.

19. Способ по п.17, где отжиг в i) приводит по меньшей мере к 75% рекристаллизации.

20. Способ по п.14, где термомеханические технологические операции в d) включают

I) прокатку продукта переработки до промежуточной толщины;

II) отжиг продукта переработки из I) при температуре от 950 до 1150°С в течение периода от 30 до 180 мин;

III) прокатку продукта переработки из II); и

IV) отжиг продукта переработки из III) при температуре от 950 до 1150°С в течение периода от 30 до 180 мин и затем охлаждение продукта переработки до комнатной температуры.

21. Способ по п.20, где продукт переработки выбран из группы, состоящей из фольги, листов, пластин, труб и стержней.

22. Способ по п.21, где отжиг в II) и IV) приводит по меньшей мере к 75% рекристаллизации.

23. Продукт переработки, содержащий ниобий или тантал, полученный в соответствии со способом по п.14.

24. Продукт переработки по п.23, где продукт переработки выбран из группы, состоящей из фольги, листа, пластины, трубы и стержня.

25. Лунки глубокой вытяжки, полученные из продукта переработки по п.23.

26. Мишени ионного распыления, полученные из продукта переработки по п.24.