RU178895U1 - Зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине - Google Patents
Зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине Download PDFInfo
- Publication number
- RU178895U1 RU178895U1 RU2017144080U RU2017144080U RU178895U1 RU 178895 U1 RU178895 U1 RU 178895U1 RU 2017144080 U RU2017144080 U RU 2017144080U RU 2017144080 U RU2017144080 U RU 2017144080U RU 178895 U1 RU178895 U1 RU 178895U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- crystals
- measuring probes
- line
- electrical parameters
- plate
- Prior art date
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Использование: для контроля электрических параметров кристаллов. Сущность полезной модели заключается в том, что зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине содержит N, превышающее единицу, групп измерительных зондов, подключаемых к контактным площадкам N кристаллов, расположенных в линию, группы измерительных зондов в линии размещены с интервалом, равным умноженному на N размеру кристалла вдоль линии. Технический результат - обеспечение возможности свободного размещения необходимого количества измерительных зондов, исключая возможность их замыкания. 4 ил.
Description
Полезная модель относится к устройствам, осуществляющим подключение измерительных зондов к контактным площадкам кристаллов микроэлектронных приборов непосредственно на полупроводниковой или иной целой пластине.
Известны зондовые устройства, которые в одном измерительном цикле выполняют подключение группы измерительных зондов только к одному из кристаллов на пластине. См., например, авторское свидетельство СССР №1128310, МКИ H01L 21/66, G01R 1/06, опубликованное 07 декабря 1984 г. [1]. Такие устройства не позволяют в полной мере использовать все возрастающие возможности современных измерительных систем в случае их применения для тестирования кристаллов простых массовых изделий.
Повысить производительность контроля позволяет применение зондового устройства, осуществляющего параллельное подключение измерительных цепей одновременно к нескольким кристаллам на пластине, как, например, описанного в патенте США №6462569 НКИ 324/754, МКИ G05R 31/02, опубликованном 08 октября 2002 г. [2]. Данное устройство устанавливает измерительные зонды на контактные площадки целой группы примыкающих друг к другу кристаллов, расположенных на пластине в одну линию.
Это решение по технической сущности наиболее близко к данной полезной модели, оно хорошо выполняет свои функции, когда контактные площадки измеряемых кристаллов имеют достаточные расстояния между собой, позволяющие разместить необходимое количество устанавливаемых на них зондовых игл и исключить их замыкание. Однако это становится трудно выполнимым для кристаллов с повышением плотности размещения контактных площадок.
Технический результат полезной модели заключается в устранении указанного недостатка.
Технический результат достигается тем, что в зондовом устройстве для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине, содержащем N, превышающее единицу, групп измерительных зондов, подключаемых к контактным площадкам N кристаллов, расположенных в линию, группы измерительных зондов в линии размещены с интервалом, равным умноженному на N размеру кристалла вдоль линии.
Указанное выполнение устройства позволяет более свободно разместить необходимое количество измерительных зондов, исключая возможность их замыкания.
Отличительным признаком полезной модели является размещение групп измерительных зондов.
Полезная модель поясняется чертежами с изображением контактных площадок на кристаллах двух вариантов с подключенными к ним зондовыми иглами (фиг. 1 и 2), обозначений размеров сторон кристалла и других его размеров, критичных при диагональной ориентации измеряемых рядов (фиг. 3), а также последовательности подключения измерительных зондов данного устройства в процессе тестирования ряда кристаллов на пластине (фиг. 4).
Зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине содержит N>1 групп 1-1, … 1-N измерительных зондов, подключаемых к контактным площадкам N кристаллов 2-1, … 2-N, расположенных в линию с интервалом, равным умноженному на N размеру кристалла вдоль линии.
На чертеже Фиг. 1 линия размещения измеряемых кристаллов 2-1, … 2-N ориентирована вдоль сторон кристалла. Такая ориентация больше подходит для случаев расположения контактных площадок на кристалле преимущественно около двух противоположных его сторон, вдоль которых должна быть направлена линия размещения групп 1-1, … 1-N измерительных зондов.
В случаях четырехстороннего размещения контактных площадок на кристалле более подходит ориентация линий групп 1-1, … 1-N измерительных зондов вдоль диагоналей измеряемых кристаллов 2-1, … 2-N, как показано на чертеже Фиг. 2.
При диагональной ориентации измеряемых кристаллов в рядах перемещение измерительных зондов производится с шагом, кратным длине D диагонали кристалла, которая должна быть кратной дискретности настройки интервалов перемещений. Это необходимо, чтобы избежать смещение зондовых игл относительно контактных площадок после многократных перемещений при невозможности автоматической коррекции. Такое же требование относится и к размеру Н половины высоты повернутого кристалла, соответствующему шагу смены линий измеряемых кристаллов.
Размеры D и Н связаны с размерами сторон кристалла А и В следующими уравнениями:
Все возможные взаимно простые целочисленные решения уравнений (1) для случаев, когда отношения размеров кристалла А к В лежат в интервале от 0,5 до 1,0, и величины В не превышают 10000, приведены в таблице 1.
Выбор размеров кристаллов из таблицы 1 или кратных им при разработке обеспечивает выполнение указанных требований.
В процессе измерений кристаллов на пластине измерительные зонды 1-1, … 1-N перемещаются по линий измеряемых кристаллов 2-1, … 2-N с шагом, равным умноженному на N+1 размеру кристалла вдоль линии, как показано на чертеже Фиг. 4 для случая N=4.
На чертеже Фиг. 4 в позициях а - ж показана последовательность перемещения четырех групп из шести измерительных зондов вдоль вертикального ряда квадратных кристаллов. Измерительные зонды показаны толстыми заостренными линиями, а измеряемые и измеренные кристаллы выделены штриховкой. С позиции ∂ становится заметно, что в начале ряда измеряемых кристаллов некоторые из них остаются неизмеренными. Общее количество кристаллов в имеющей пропуски группе соответствует произведению N(N-1), группа кристаллов с пропусками такой же численности получается и в конце измеряемого ряда. Это не приведет к потере годных кристаллов, если контроль начинают от самого края пластины, а заканчивают на противоположном краю и пропущенные кристаллы оказываются в пределах запрещенной области по периметру пластины. Такое возможно, когда кристаллы имеют малые размеры, именно для контроля таких кристаллов, прежде всего, предназначено данное техническое решение.
Таким образом, зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине позволяет одновременно подключать к нескольким кристаллам большое количество измерительных зондов, исключая скученности их размещения.
Claims (1)
- Зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине, содержащее N, превышающее единицу, групп измерительных зондов, подключаемых к контактным площадкам N кристаллов, расположенных в линию, отличающееся тем, что группы измерительных зондов в линии размещены с интервалом, равным умноженному на N размеру кристалла вдоль линии.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017144080U RU178895U1 (ru) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | Зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017144080U RU178895U1 (ru) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | Зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU178895U1 true RU178895U1 (ru) | 2018-04-23 |
Family
ID=62043747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2017144080U RU178895U1 (ru) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | Зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU178895U1 (ru) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1128310A1 (ru) * | 1983-03-04 | 1984-12-07 | Предприятие П/Я Р-6429 | Зондовое устройство |
US4985676A (en) * | 1989-02-17 | 1991-01-15 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus of performing probing test for electrically and sequentially testing semiconductor device patterns |
RU2076392C1 (ru) * | 1981-05-22 | 1997-03-27 | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" | Зондовая головка для измерения параметров кристаллов |
WO1999036790A2 (en) * | 1998-01-17 | 1999-07-22 | Vladimir Nikolayevich Davydov | Test probe interface unit and method of manufacturing the same |
US9664733B2 (en) * | 2013-02-27 | 2017-05-30 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Probe device for testing electrical characteristics of semiconductor element |
RU172838U1 (ru) * | 2017-03-06 | 2017-07-26 | Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" | Устройство для зондового контроля параметров кристаллов высоковольтных приборов |
-
2017
- 2017-12-15 RU RU2017144080U patent/RU178895U1/ru active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2076392C1 (ru) * | 1981-05-22 | 1997-03-27 | Государственное научно-производственное предприятие "Исток" | Зондовая головка для измерения параметров кристаллов |
SU1128310A1 (ru) * | 1983-03-04 | 1984-12-07 | Предприятие П/Я Р-6429 | Зондовое устройство |
US4985676A (en) * | 1989-02-17 | 1991-01-15 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus of performing probing test for electrically and sequentially testing semiconductor device patterns |
WO1999036790A2 (en) * | 1998-01-17 | 1999-07-22 | Vladimir Nikolayevich Davydov | Test probe interface unit and method of manufacturing the same |
US9664733B2 (en) * | 2013-02-27 | 2017-05-30 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Probe device for testing electrical characteristics of semiconductor element |
RU172838U1 (ru) * | 2017-03-06 | 2017-07-26 | Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" | Устройство для зондового контроля параметров кристаллов высоковольтных приборов |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20180356444A1 (en) | Multi-test type probe card and corresponding testing system for parallel testing of dies via multiple test sites | |
US11467210B2 (en) | TSV testing using test circuits and grounding means | |
EP1842073A2 (en) | Probe head arrays | |
TW201716783A (zh) | 可固定之探針 | |
WO2016176469A1 (en) | Multiple pin probes with support for performing parallel measurements | |
RU178895U1 (ru) | Зондовое устройство для контроля электрических параметров кристаллов микроэлектронных приборов на пластине | |
TW201715238A (zh) | 探針卡與測試方法 | |
US7884629B2 (en) | Probe card layout | |
US20080278186A1 (en) | Pipeline test apparatus and method | |
CN103760391A (zh) | 内置多探针模块及其具有该模块的探针台 | |
CN105527596B (zh) | 一种晶圆验收测试机台加压校准方法 | |
TWI476418B (zh) | 半導體測試系統與方法 | |
US20110254579A1 (en) | Semiconductor test method and semiconductor test system | |
KR20060125781A (ko) | Gsg 테스트 구조체 및 gsg 테스트 패드의 구조물 | |
US10802047B2 (en) | Inspection device and inspection method | |
TWI288960B (en) | Probe assembly | |
KR101171105B1 (ko) | 컨택트 프로브 홀더 | |
CN104090135A (zh) | 一种适用于多种引脚微小间距的芯片测试探针 | |
CN218412806U (zh) | 一种用于qfp在线信号采集的柔性辅助装置 | |
US11828791B2 (en) | Test board and test apparatus including the same | |
US1716246A (en) | Meter-testing block | |
CN107589364A (zh) | 一种晶圆上mmic裸片的快速自动测试方法 | |
JPS6047433A (ja) | 多品種搭載ウエハ試験装置 | |
CN107422242A (zh) | 一种vdmos芯片的测试装置及方法 | |
KR100426073B1 (ko) | 프로브 카드의 탐침 구조 |