NO870193L - METALLIZED VALVE. - Google Patents

Description

Denne oppfinnelse vedrører ventiler generelt, og særlig ventiler for håndtering av reagenser av høy renhet. This invention relates to valves in general, and in particular valves for handling reagents of high purity.

Ventiler anses vanligvis ikke å være forurensningskilder. Faktisk, i de fleste systemer, blir ventilen, på grunn av selve naturen av dens konstruksjon med et tungt legeme sammenlignet med tykkelsen av veggene av rør, føring eller ledning koblet til denne, ikke å være gjennomtrengelig for noen forurensning. Av og til er ventiltetninger ufullkomne, og kan derfor danne en forurensningskilde, men ventillegemet anses i og for seg ikke å være slik at det tillater innføring av noen forurensninger. Valves are not generally considered to be sources of pollution. In fact, in most systems, the valve, due to the very nature of its construction with a heavy body compared to the thickness of the walls of the pipe, conduit or wire connected to it, will not be permeable to any contamination. Occasionally, valve seals are imperfect, and can therefore form a source of contamination, but the valve body itself is not considered to be such as to allow the introduction of any contaminants.

Ved håndteringen av visse reagenser som har ultrahøy renhet, byr tilveiebringelsen av en ventil som er kjemisk inert overfor reagensen, og også ugjennomtrengelig for oksygen og fuktighet, på et alvorlig problem. Tidligere er dette problemet blitt ganske enkelt tolerert med en minskning i kvalitet, eller systemene er blitt omsluttet i fullstendig inerte atmosfærer. En slik teknikk hvor dette problemet er en meget viktig begrensning er i området for fremstilling av visse elektroniske anordninger, og visse optiske anordninger. Det skal her henvises til fremstillingen av halvleder-anordninger, men de samme prinsipper gjelder hvor kjemikalier av ultrahøy renhet som er reaktive med oksygen eller fuktighet, håndteres. In the handling of certain reagents of ultra high purity, the provision of a valve which is chemically inert to the reagent, and also impermeable to oxygen and moisture, presents a serious problem. In the past, this problem has been simply tolerated with a reduction in quality, or the systems have been enclosed in completely inert atmospheres. One such technique where this problem is a very important limitation is in the area of manufacturing certain electronic devices and certain optical devices. Reference must be made here to the manufacture of semiconductor devices, but the same principles apply where chemicals of ultra-high purity that are reactive with oxygen or moisture are handled.

Mange kjemikalier er reaktive med de fleste metaller. Edelmetaller kan anvendes i mange tilfeller, men kostnaden for slike materialer utelukker deres effektive bruk i samtlige unntatt meget sjeldne tilfeller. Der er mange polymerer som er kjent til å være inerte eller relativt inerte overfor de fleste kjemikalier. Forskjellige polymerer har selvfølgelig et forskjellig nivå av inerthet, men rent generelt er de organiske polymerer mindre reaktive med de fleste kjemikaliereagenser enn hva metall er. Det er derfor vanlig praksis å tilveiebringe ventiler, føringer eller andre elementer dannet av forskjellige polymere materialer. Bruken av slike materialer løser mange problemer og gir en stor anvendelighet. I visse tilfeller har imidlertid bruken av slike materialer blitt oppdaget å skape en alvorlig forurensningskilde. Således, mens de fleste av disse polymere materialer anses å være dampugjennomtrengelige, tillater de ikke desto mindre små mengder av oksygen og fuktighet, sammen med andre gasser, å trenge igjennom ventilens vegger. Slike ventiler er derfor ikke egnet for visse langtidslagrings- og visse håndteringsanvendelser hvor meget reaktive kjemiske reagenser av ultrahøy renhet lagres eller håndteres. Denne oppfinnelse er rettet mot en løsning på dette problem hvor foredelene med inerthet for den organiske polymer beholdes, og ulempen ved gass og fuktighetsgjennnomtrengelighet elimineres. Many chemicals are reactive with most metals. Precious metals can be used in many cases, but the cost of such materials precludes their effective use in all but very rare cases. There are many polymers that are known to be inert or relatively inert to most chemicals. Different polymers of course have a different level of inertness, but in general organic polymers are less reactive with most chemical reagents than metals are. It is therefore common practice to provide valves, guides or other elements formed from different polymeric materials. The use of such materials solves many problems and provides great applicability. In certain cases, however, the use of such materials has been found to create a serious source of pollution. Thus, while most of these polymeric materials are considered vapor impermeable, they nevertheless allow small amounts of oxygen and moisture, along with other gases, to penetrate the walls of the valve. Such valves are therefore not suitable for certain long-term storage and certain handling applications where highly reactive chemical reagents of ultra-high purity are stored or handled. This invention is aimed at a solution to this problem where the advantages of inertness for the organic polymer are retained, and the disadvantage of gas and moisture permeability is eliminated.

Den foreliggende oppfinnelse omfatter en ventil som er særlig konstruert og sammensatt til å muliggjøre håndteringen av kjemikalier av høy renhet som reagerer med, eller hvis effektivitet er begrenset av fuktighet eller oksygen, således resulterende i forurensning av kjemikaliet. Ventillegemet er bestående av en polymer som er inert overfor kjemikaliet som skal håndteres av ventilen. Legemet er således konstruert at det danner et innløp og et utløp, og en passasje for ventildannende middel. Ventillegemet er belagt med et lag av oksygen og fuktighetsdampugjennomtrengelig metall som er bundet til den utvendige overflaten av legemet, dannende en koherent, kohesiv gass og fuktighetssperre på ventillegemet. Midler er tilveiebragt for å forbinde innløps- og utløps-ledninger til ventilen, og ventildannende middel er bevegelig opptatt i passasjen for å bli beveget fra en åpen til en lukket posisjon hvor respektivt fluidium tillates å strømme fra innløpet til utløpet, eller slik fluidumsforløp avstenges. I en foretrukket utførelsesform har ventilen også opererbarhet tilknyttet eller medført et ventilorgan, og et punkteringsmiddel for å punktere en forsegling på enden av ledningen. The present invention comprises a valve which is specially designed and composed to enable the handling of chemicals of high purity which react with, or whose effectiveness is limited by moisture or oxygen, thus resulting in contamination of the chemical. The valve body consists of a polymer that is inert to the chemical to be handled by the valve. The body is so constructed that it forms an inlet and an outlet, and a passage for valve-forming means. The valve body is coated with a layer of oxygen and moisture vapor impermeable metal that is bonded to the outer surface of the body, forming a coherent, cohesive gas and moisture barrier on the valve body. Means are provided to connect inlet and outlet conduits to the valve, and valve-forming means are movably engaged in the passage to be moved from an open to a closed position where respective fluid is allowed to flow from the inlet to the outlet, or such fluid flow is shut off. In a preferred embodiment, the valve also has operability associated with or carrying a valve member, and a puncturing means for puncturing a seal on the end of the line.

Oppfinnelsen i en side av denne, omfatter en kombinasjon av ledning, en forsegling som avstenger enden av ledningen og et ventillegeme bestående av polymer som er inert overfor kjemikaliet som skal monteres av ventilen. Legemet er således konstruert at det danner et innløp og et utløp, og en passasje for å motta det ventildannende middel. Hele legemet er belagt med et lag av oksygen og fuktighetsdampugjennomtrengelig metall som er bundet til den utvendige overflaten av ventillegemet, hvorved tilveiebringes en fullstendig eller i alt vesentlig fullstendig sperre overfor eventuell gj ennomtrengelighet av en hvilken som helst gass eller fuktighet. Disse er tilveiebragt for å forbinde ventillegemet med ledningen og ventildannende midler er bevegelig plassert i passasjen for å bli beveget fra en åpen posisjon til en lukket posisjon, hvorved tillates eller avstenges fluidumsforbindelse mellom innløpet og utløpet. Ventilen innbefatter forseglingspunkteringsmiddel som er driftsmessig knyttet til et ventildannende organ for å bryte forseglingen på ledningen når det ventildannende organet beveges på en forutbestemt måte. Typisk vil det ventildannende organet bevege seg frem og tilbake i en passasje i ventillegemet, og punk"teringsmidlet bæres på en ende av det ventildannende organet. Når det ventildannende organet stenges, bryter eller åpner punkteringsmidlet forseglingen over enden av ledningen, og ved bevegelse av ventilen til den åpne posisjonen, etableres en fluidumsforløpsbane mellom innløpet og utløpet gjennom ventillegemet, alt mens fluidumet beskyttes mot forurensning av gass eller fuktighetsdamp ved hjelp av det gassugjennomtrengelige laget av metall på utsiden av ventillegemet. I en spesielt foretrukket utførelsesform er hele legemet, eller i det minste de innvendige deler av legemet, fluorinert til å minske den kjemiske reaksjonsevne for dette, etter at legemet er dannet. Figur 1 er sideriss, med bortkutting, som viser konstruk-sjonen av ventilen ifølge denne oppfinnelse koblet til to ledninger. Figur 2 er et sideriss og delvis bortkutting som viser kombinasjonen av denne oppfinnelse slik den kan anvendes som del av en handelsgjenstand. Figur 3 er et forstørret tverrsnittsriss av en del av ventillegemet tatt ved skjæringspunktet mellom utløpet og ventillegemet i figur 2, oppvisende metallbelegg over gjengene, samt hoveddelen av ventillegemet. The invention in one aspect of this includes a combination of a line, a seal that seals off the end of the line and a valve body consisting of polymer that is inert to the chemical to be mounted by the valve. The body is so constructed as to form an inlet and an outlet, and a passage to receive the valve-forming means. The entire body is coated with a layer of oxygen and moisture vapor impermeable metal which is bonded to the outer surface of the valve body, thereby providing a complete or substantially complete barrier to possible permeation of any gas or moisture. These are provided to connect the valve body to the line and valve forming means are movably placed in the passage to be moved from an open position to a closed position, thereby allowing or shutting off fluid communication between the inlet and the outlet. The valve includes seal puncturing means operatively connected to a valve-forming member to break the seal on the conduit when the valve-forming member is moved in a predetermined manner. Typically, the valve-forming means will move back and forth in a passage in the valve body, and the puncturing means is carried on one end of the valve-forming means. When the valve-forming means is closed, the puncturing means breaks or opens the seal over the end of the conduit, and upon movement of the valve to the open position, a fluid flow path is established between the inlet and the outlet through the valve body, all while protecting the fluid from contamination by gas or moisture vapor by means of the gas impermeable layer of metal on the outside of the valve body. In a particularly preferred embodiment, the entire body, or in the at least the internal parts of the body, fluorinated to reduce the chemical reactivity thereof, after the body is formed. Figure 1 is a side view, with cutaway, showing the construction of the valve according to this invention connected to two lines. Figure 2 is a side view and partial cut away showing the combination of this invention as they n can be used as part of a trade item. Figure 3 is an enlarged cross-sectional view of part of the valve body taken at the intersection between the outlet and the valve body in Figure 2, showing metal coating over the threads, as well as the main part of the valve body.

I en form, er den foretrukne utførelsesform av oppfinnelsen en ventil som er særlig tilpasset, konstruert og sammensatt til å muliggjøre håndteringen av kjemikalier av høy renhet som reagerer med fuktighet eller oksygen, og, ved slik reaksjon blir forurenset. Ventilen 10 ifølge denne oppfinnelse er best vist i figur 1 som det nå skal henvises til. In one form, the preferred embodiment of the invention is a valve which is particularly adapted, constructed and assembled to enable the handling of high purity chemicals which react with moisture or oxygen and, by such reaction, become contaminated. The valve 10 according to this invention is best shown in Figure 1, to which reference will now be made.

Ventilen 10 omfatter et legeme 12 som er bestående av en polymer som er inert overfor kjemikalier som skal håndteres av ventilen, idet legemet danner et innløp 14 og et utløp 16. Ventillegemet er bestående av en polymer. Et stort antall av organiske polymer kan anvendes. Polyetylen, nylon, polyvinyl-fluorid, etc., kan anvendes, avhengig av den spesielle reagens som skal håndteres. Høytetthetslineær polyetylen, polyetylentereftalat, og polyvinylidinklorid foretrekkes, selv om oppfinnelsen ikke er begrenset til bruken av disse spesielle polymerer. Ventillegemet danner også passasjen 18 for mottagelse av ventildannende middel 20. The valve 10 comprises a body 12 which consists of a polymer which is inert to chemicals to be handled by the valve, the body forming an inlet 14 and an outlet 16. The valve body consists of a polymer. A large number of organic polymers can be used. Polyethylene, nylon, polyvinyl fluoride, etc., can be used, depending on the particular reagent to be handled. High density linear polyethylene, polyethylene terephthalate, and polyvinylidine chloride are preferred, although the invention is not limited to the use of these particular polymers. The valve body also forms the passage 18 for receiving valve forming means 20.

Midler er tilveiebragt for å forbinde ventilens innløp til en ledning 100. I den spesielle form som er vist i den eksempel-vise utførelsesform, er ledningen 100 av glass eller kvarts, og har et spor 102 dannet deri i hvilket en holdeskive 22, som er tilstrekkelig ettergivende til å gli over ledningens ende, opptas. En konisk bøssing 24 holdes i kompresjon ved hjelp av en mutter 26 som fester ledningen på plass. Det vil bemerkes at ledningen 100 er avstengt ved hjelp av en forsegling 104 som kan være en skive av edelt eller annet inert metall, eller en skjør forsegling av kvarts eller glass. Means are provided for connecting the inlet of the valve to a line 100. In the particular form shown in the exemplary embodiment, the line 100 is of glass or quartz, and has a groove 102 formed therein in which a retainer disc 22, which is sufficiently compliant to slide over the end of the wire, is recorded. A conical bushing 24 is held in compression by a nut 26 which secures the wire in place. It will be noted that the line 100 is closed by means of a seal 104 which may be a disk of noble or other inert metal, or a fragile seal of quartz or glass.

Forseglingen støter an mot skulderen 28 dannet ved overgangen mellom passasjen og innløpet i ventillegemet. The seal abuts the shoulder 28 formed at the transition between the passage and the inlet in the valve body.

Utløpsledningen 106, som også kan være av kvarts eller glass, holdes på plass på en lignende måte, i dette tilfellet ved ganske enkelt å anvende en konisk bøssing 30 og en mutter 32 som holder utløpsledningen i kompresjon i utløpet av ventilen. The outlet line 106, which may also be quartz or glass, is held in place in a similar manner, in this case by simply using a conical bushing 30 and a nut 32 which holds the outlet line in compression in the outlet of the valve.

Det ventildannende middel- 20 omfatter -i -den illustrerte utførelsesform, som kun er eksempelvis, et langstrakt skaft generelt angitt med 34, og et håndtak generelt angitt med 36, idet akselen 34 er gjenget og er vist ved 38, og blir gjengemessig opptatt for frem- og tilbakebevegelse i korre-sponderende gjenger innenfor ventillegemets passasje, idet passasjen er vist med 18. I det spesielle eksempel vist i figur 1, innbefatter det ventildannende middel et hakk 40 i hvilket i "0"-ring eller annen forseglingsanordning 42 opptas. Ved kompresjon mellom det ventildannende middel og veggen av passasjen i ventillegemet, dannes en gasstett forsegling mellom disse. I den foretrukne utførelsesform er et middel for å bryte forseglingen, vist ved 42, festet til, eller bæres på, eller på annen måte driftsmessig knyttet til det ventildannende middel. Som det vil fremgå av figur 1, ettersom det ventildannende middel beveges nedad, hvorved ventilen avstenges og den passasje stenges som ellers ville tillate fluidumsforbindelse mellom innløpet og utløpet, punkterer brytningsmidlet forseglingen 104. Når det ventildannende middel beveges oppad, åpner det til fluidumsforbindelse mellom innløpet og utløpet, fluidumet tillates så å strømme fra innløpet til utløpet, hvorved det tillates f luidumsforbindelse mellom ledningen 100 og ledningen 106. Det ventildannende middel er sikret i et gasstett forhold med passasjen hos ventillegemet ved hjelp av bøssingen 46 og mutteren 48. The valve forming means 20 comprises - in - the illustrated embodiment, which is only exemplary, an elongate shaft generally indicated by 34, and a handle generally indicated by 36, the shaft 34 being threaded and shown at 38, and being threadedly engaged for reciprocating movement in corresponding threads within the passage of the valve body, the passage being shown at 18. In the particular example shown in Figure 1, the valve forming means includes a notch 40 in which an "O" ring or other sealing device 42 is received. By compression between the valve-forming means and the wall of the passage in the valve body, a gas-tight seal is formed between them. In the preferred embodiment, a means for breaking the seal, shown at 42, is attached to, or carried on, or otherwise operatively connected to the valve forming means. As will be seen from Figure 1, as the valve-forming means is moved downward, thereby closing the valve and closing the passage that would otherwise allow fluid communication between the inlet and the outlet, the rupture means punctures the seal 104. As the valve-forming means is moved upward, it opens up fluid communication between the inlet and the outlet, the fluid is then allowed to flow from the inlet to the outlet, thereby allowing fluid connection between the line 100 and the line 106. The valve-forming means is secured in a gas-tight relationship with the passage of the valve body by means of the bushing 46 and the nut 48.

Det vil forstås at dette er ganske enkelt en eksempelvis form av ventilen, og at mange, mange former av ventilen kan anvendes uten å avvike fra prinsippene ved den foreliggende oppfinnelse. It will be understood that this is simply an exemplary form of the valve, and that many, many forms of the valve can be used without deviating from the principles of the present invention.

I den utstrekning som det hittil er beskrevet, ville ventilen fungere ganske tilfredsstillende fra synspunktet med ganske enkelt å bryte forseglingen, åpne og lukke passasjen overfor fluidumsforløpet. Imidlertid gjenstår problemene som har plaget industrien under minst to dekader, nemlig ettersom reagensen strømmet fra ledningen 100 gjennom ventilen og ut av ledningen 106, ville den bli forurenset med oksygen, fuktighet eller en viss annen gass som trengte gjennom ventillegemet. For å bøte på dette problem, er et lag 50 av metall dannet over utsiden av ventillegemet. Laget 50 kan dekke kun hoveddelen av ventillegemet, ettersom det er et redusert problem med gassgjennomtrengning rundt innløpet og utløpet. Imidlertid, som best vist i figur 3, kan metall-omradet også omslutte gjengene på ventilen. To the extent so far described, the valve would operate quite satisfactorily from the point of view of simply breaking the seal, opening and closing the passage opposite the fluid flow. However, the problems that have plagued the industry for at least two decades remain, namely that as the reagent flowed from line 100 through the valve and out of line 106, it would become contaminated with oxygen, moisture, or some other gas that permeated the valve body. To remedy this problem, a layer 50 of metal is formed over the outside of the valve body. The layer 50 can cover only the main part of the valve body, as there is a reduced problem of gas permeation around the inlet and outlet. However, as best shown in Figure 3, the metal area can also enclose the threads of the valve.

Metallet kan være et hvilket som helst av et stort antall av inerte, eller relativt inerte metaller. Metallet kan eksempelvis være rustfritt stål, krom, sink, kadmium, tantal, eller edelmetaller, selv om kostnad vanligvis utelukker bruk av edelmetallene. Laget av metall kan dannes ved elektro-lytisk belegning, med passende forbehandling og et molekylært tynt lag av kobber, ved påsprutning eller dampavsetning. Fortrinnsvis er metallaget typisk fra 0,00762 til 0,0254 cm i tykkelse, og fortrinnsvis rundt 0,01524 cm i tykkelse. The metal may be any of a large number of inert, or relatively inert, metals. The metal can be, for example, stainless steel, chrome, zinc, cadmium, tantalum, or precious metals, although cost usually precludes the use of the precious metals. The layer of metal can be formed by electrolytic plating, with suitable pretreatment and a molecularly thin layer of copper, by sputtering or vapor deposition. Preferably, the metal layer is typically from 0.00762 to 0.0254 cm in thickness, and preferably around 0.01524 cm in thickness.

Utførelsesformen vist i figur 2 er identisk med den i figur 1 med den unntagelse at denne kombinasjon er en del av en produksj onsgj ens tand som kan forsendes. I dette tilfellet sikres ventilen, som del av produksj onsgj ens tanden, og forsendes i handel, og utløpet ganske enkelt avstenges med en plugg 108. Ellers er ventilen identisk som beskrevet tidligere. Denne kombinasjon er særlig nyttig ettersom ventilen allerede er på plass, og det er ganske enkelt nødvendig for mottageren å fjerne mutteren 32 og pluggen 108, og erstatte pluggen 108 med en passende ledning som går til systemet som reagensen skal rettes mot for bruk. Ventilen forsendes selvfølgelig i den åpne posisjonen. Så snart den er koblet til systemet for bruk, og renset eller uttømt, beveges så det ventildannende organet nedad til brytning av forseglingen, ikke vist i figur 2, men vist i figur 1, idet figur 2 er identisk i dette henseende, hvorved fluidum tillates å strømme fra ledningen som danner del av kombinasjonen gjennom innløpet, den ventll'dannende"passasj e og 1 av' -ventilen ved utløpet. The embodiment shown in Figure 2 is identical to that in Figure 1 with the exception that this combination is part of a production tooth that can be shipped. In this case, the valve is secured, as part of the production tooth, and shipped commercially, and the outlet is simply closed with a plug 108. Otherwise, the valve is identical as described earlier. This combination is particularly useful as the valve is already in place and it is simply necessary for the receiver to remove the nut 32 and the plug 108, and replace the plug 108 with a suitable line leading to the system to which the reagent is to be directed for use. The valve is of course shipped in the open position. Once connected to the system for use, and purged or drained, the valve-forming member is then moved downward to break the seal, not shown in Figure 2, but shown in Figure 1, Figure 2 being identical in this respect, thereby allowing fluid to flow from the line forming part of the combination through the inlet, the valve forming passage and the off valve at the outlet.

Det skal understrekes at dette er en hensiktsmessig ventil-type, men mange typer av ventiler, i mange former og ut-forminger, kunne lages som i realiteten ville være de samme. Således er en spesiell utforming av denne ventil kun eksempelvis. Således kan disse og andre modifikasjoner foretas uten å avvike fra oppfinnelsens idé eller omfang, eller fra de etterfølgende patentkrav som innbefatter et rimelig omfang av ekvivalens. It should be emphasized that this is an appropriate valve type, but many types of valves, in many shapes and designs, could be made which would in reality be the same. Thus, a special design of this valve is only an example. Thus, these and other modifications can be made without deviating from the idea or scope of the invention, or from the subsequent patent claims which include a reasonable extent of equivalence.

Denne oppfinnelse finner anvendelse innenfor elektronikk, optikk og halvlederindustrien for lagringen, forsendelsen og håndteringen av reagenser av ultrahøy renhet. This invention finds application within the electronics, optics and semiconductor industry for the storage, shipment and handling of reagents of ultra-high purity.

Claims (12)

1. Ventil særlig konstruert og sammensatt til å muliggjøre håndteringen av kjemikalier av høy renhet som reagerer med fuktighet eller oksygen,karakterisert vedat den omfatter: et ventillegeme sammensatt av polymer som er inert overfor kjemikaliet som skal håndteres av ventilen, idet legemet danner et innløp og et utløp, og en passasje for mottagelse av et ventildannende middel, et lager av oksygen og fuktighetsdampugjennomtrengelig metall bundet til den utvendige overflaten av ventillegemet, middel for å forbinde innløps- og utløpsledninger med ventillegemet, og ventildannende midler som er bevegelig opptatt i passasjen for å bli beveget fra en åpen posisjon til en lukket posisjon for respektivt å tillate fluidumsforbindelse mellom innløpet og utløpet, og å avstenge slik fluidumsforbindelse.1. Valve especially designed and assembled to enable the handling of high purity chemicals that react with moisture or oxygen, characterized in that it comprises: a valve body composed of polymer that is inert to the chemical to be handled by the valve, the body forming an inlet and an outlet , and a passage for receiving a valve forming means, a layer of oxygen and moisture vapor permeable metal bonded to the outer surface of the valve body, means for connecting inlet and outlet conduits to the valve body, and valve forming means movably received in the passage to be moved from an open position to a closed position to respectively allow fluid connection between the inlet and the outlet, and to shut off such fluid connection. 2. Ventil som angitt i krav 1,karakterisertved at den dessuten omfatter forseglingspunkterende middel på det ventildannende organet.2. Valve as specified in claim 1, characterized in that it also comprises a sealing puncturing agent on the valve-forming member. 3. Ventil som angitt i krav 2,karakterisertved at ventillegemet er sammensatt av polyetylentereftalat eller polyvinylidinklorid.3. Valve as stated in claim 2, characterized in that the valve body is composed of polyethylene terephthalate or polyvinylidine chloride. 4. Ventil som angitt i krav 3,karakterisertved at metallaget er krom.4. Valve as specified in claim 3, characterized in that the metal layer is chrome. 5. Ventil som angitt i krav 1,karakterisertved at ventillegemet fluorineres etter at passasjen og innløpet og utløpet er dannet.5. Valve as specified in claim 1, characterized in that the valve body is fluorinated after the passage and inlet and outlet have been formed. 6. Ventil som angitt i krav 1,karakterisertved at ventillegemet er sammensatt av polyetylentereftalat eller polyvinylidinklorid.6. Valve as specified in claim 1, characterized in that the valve body is composed of polyethylene terephthalate or polyvinylidine chloride. 7. Ventil som angitt i krav 1,karakterisertved at metallaget er krom.7. Valve as specified in claim 1, characterized in that the metal layer is chrome. 8. Ventil' som angitt i "krav 1 ,• - k a r a k t e r'i s e- r t"" ved at ventillegemet fluorineres etter at passasjen og innløpet og utløpet er dannet.8. Valve' as stated in "claim 1,• - c a r a c t e r'i s e- r t"" in that the valve body is fluorinated after the passage and inlet and outlet have been formed. 9. I kombinasjon, en ledning, en forsegling som lukker enden av ledningen, et ventillegeme bestående av polymer som er inert overfor kjemikaliet som skal håndteres av ventilen, idet legemet danner et innløp og et utløp, og en passasje for mottagelse av et ventildannende middel,karakterisert vedet lag av oksygen og fuktighetsdampugjennomtrengelig metall bundet til den utvendige overflaten av ventillegemet, middel som forbinder ventillegemet med ledningen, ventildannende middel bevegbart opptatt i passasjen for å bli beveget fra en åpen posisjon til en lukket posisjon for respektivt å tillate fluidumsforbindelse mellom innløpet og utløpet, og å avstenge slik fluidumsforbindelse, og forseglingspunkterende middel som er driftsmessig knyttet til det ventildannende organet for å bryte forseglingen på ledningen ved å bevege det ventildannende organet.9. In combination, a conduit, a seal closing the end of the conduit, a valve body consisting of polymer inert to the chemical to be handled by the valve, the body forming an inlet and an outlet, and a passage for receiving a valve forming agent, characterized layer of oxygen and moisture vapor permeable metal bonded to the outer surface of the valve body, means connecting the valve body to the conduit, valve forming means movably received in the passage to be moved from an open position to a closed position to allow fluid communication between the inlet and the outlet, respectively, and to shut off such fluid connection, and seal puncturing means which are operationally connected to the valve-forming member to break the seal on the line by moving the valve-forming member. 10. Kombinasjon som angitt i krav 9,karakterisertved at ventillegemet er sammensatt av polyetylentereftalat eller polyvinylidinklorid.10. Combination as stated in claim 9, characterized in that the valve body is composed of polyethylene terephthalate or polyvinylidine chloride. 11. Kombinasjon som angitt i krav 9,karakterisertved at metallaget er krom.11. Combination as specified in claim 9, characterized in that the metal layer is chrome. 12. Kombinasjon som angitt i krav 9,karakterisertved at ventillegemet fluorineres etter at passasjen og innløpet og utløpet er dannet.12. Combination as stated in claim 9, characterized in that the valve body is fluorinated after the passage and the inlet and the outlet have been formed.