NO313113B1 - System for scanning av store objekters geometri - Google Patents

System for scanning av store objekters geometri Download PDF

Info

Publication number
NO313113B1
NO313113B1 NO19993446A NO993446A NO313113B1 NO 313113 B1 NO313113 B1 NO 313113B1 NO 19993446 A NO19993446 A NO 19993446A NO 993446 A NO993446 A NO 993446A NO 313113 B1 NO313113 B1 NO 313113B1
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
unit
sensor
robot
sensor unit
scanner
Prior art date
Application number
NO19993446A
Other languages
English (en)
Other versions
NO993446L (no
NO993446D0 (no
Inventor
Alf Pettersen
Original Assignee
Metronor Asa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Metronor Asa filed Critical Metronor Asa
Priority to NO19993446A priority Critical patent/NO313113B1/no
Publication of NO993446D0 publication Critical patent/NO993446D0/no
Priority to JP2001512250A priority patent/JP2003505682A/ja
Priority to AU74599/00A priority patent/AU7459900A/en
Priority to EP00963149A priority patent/EP1200798A1/en
Priority to PCT/NO2000/000235 priority patent/WO2001007866A1/en
Publication of NO993446L publication Critical patent/NO993446L/no
Publication of NO313113B1 publication Critical patent/NO313113B1/no

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)

Description

Den foreliggende oppfinnelse vedrører et system samt en fremgangsmåte for skanning av objekters geometri, slik som angitt i ingressen av krav 1 og 10.
Det finnes en rekke laserbaserte skannere for oppmåling av flater. Karakteristisk for disse er at de har begrenset arbeidsområde, eller begrenset målevolum, må posisjoneres i en gitt avstand fra flaten, og bør ha en gitt orientering relativt til flaten. Skannere monteres derfor ofte på nøyaktige koordinatmålemaskiner, slik at skanneren kan forflyttes stegvis over flaten og skanne område for område. En koordinatmåle-maskin er kompleks, lite fleksibel og har høy pris.
Det er behov for mer fleksible, flyttbare løsninger. Et alternativ er å montere en skanner på en robot, slik at roboten forflytter skanneren over objektet. For hver posisjon skannes en delflate. Denne oppmålingen registreres relativt til skannerens posisjon, og transformeres til et globalt koordinatsystem gitt av roboten.
De fleste roboter har imidlertid en dårlig nøyaktighet. Transformasjon av dataene til robotens koordinatsystem vil derfor ikke gi en tilstrekkelig nøyaktig beskrivelse av objektets overordnede geometri. Kalibrering av roboten for å beskrive dens bevegelser bedre vil hjelpe noe, men på grunn av effekter som slitasje og temperaturvariasjoner er heller ikke dette godt nok.
I den foreliggende oppfinnelse kombineres en løsning bestående av robot og skanner med bruk av en posisjonsmåleenhet som beskrevet i norsk patent nr. 303.595. Skanneren og posisjonsmåleenheten integreres i en sensorenhet. I denne løsningen gir posisjonsmåleenheten informasjonen om skannerens eksakte posisjon. Roboten benyttes kun til forflytning av sensorenheten.
De for oppfinnelsen kjennetegnende trekk ved henholdsvis systemet og fremgangs-måten fremgår av den kjennetegnende del av henholdsvis vedlagte krav 1 og 11. Ytterligere utførelsesformer fremgår av underkravene.
Figur 1 viser systemløsningen.
Figur 2 viser en alternativ konfigurasjon.
Figur 3 viser et eksempel på en skannerenhet, en trianguleringssensor.
Figur 4 viser et eksempel på en posisjonsmåleenhet som beskrevet i norsk patent nr. 303.595.
Figur 5 viser en metode for å bestemme den interne geometrien i sensorenheten. Figur 1 viser et eksempel på en konfigurasjon av systemet. Dette består i hovedsak av to enheter, en sensor 1 og en robot 4. Roboten benyttes for å posisjonere sensoren ved det aktuelle område 12 på objektet 6. Sensoren 1 registrerer objektets lokale geometri, og måler sin egen posisjon relativt til et globalt koordinatsystem 13.
Sensorenheten 1 består av en skannenhet 2 for lokal skanning av geometri samt posisjonsmåleenhet 3 for å bestemme sensorenhetens egen posisjon relativt til det globale koordinatsystem 13. Skannerenheten 2, eksempelvis en laser skann, emitterer en laserstråle 11 som skanner et begrenset område 12. Posisjonsmåleenheten 3 registrerer sin egen posisjon, og derved sensorens 1 posisjon, relativt til et nettverk 8 av referansepuiikter 9. Referansepunktenes posisjon er kjent relativt til det globale koordinatsystemet 13.
Systemet inneholder videre en regnenhet 5 som samler inn dataene fra skannerenheten 2 og posisjonsmåleenhet 3 og transformerer alle data fra skannerenheten til samme globale koordinatsystem. Regneenheten 5 sender også informasjon til roboten 4 for kontroll av dennes forflytning relativt til objektet.
Figur 2 viser en alternativ konfigurasjon. Referansepunktene 9 er her anbragt på objektet 6. Pos isjonsmålesensoren 3 er anbragt slik at den ser disse referansepunktene.
Skannerenheten 2 kan eksempelvis være en av følgende typer, men er ikke begrenset til dette: • Laser avstandsmåler som måler avstanden mellom skannerenhet og objektet i ett punkt, • Trianguleringssensor basert på én-akse skannende laser eller laser linjeprojeksjon kombinert med kamera (f.eks. CCD sensor). En slik sensor skanner en linje i hver
posisjon av skanneren.
• Trianguleringssensor basert på to-akse scannende laser eller laser raster projeksjon kombinert med kamera (f.eks. CCD sensor). • Sensor basert på projeksjon av mønster kombinert med ett eller flere kamera (f.eks. CCD sensor).
Figur 3 viser prinsippet for en trianguleringssensor. Denne inneholder en laser 14 som utsender en laserstråle 11 eller et laser plan (linjeprojeksjon). Laseren projiserer et punkt 15 eller en linje på objektet 6. Punktet 15 avbildes gjennom eri linse 16 på en sensor 17, eksempelvis et CCD array. Skannerenheten 2 er kalibrert, slik at den bestemmer punktets 15 posisjon relativt til et internt koordinatsystem 18.1 en alternativ utforming kan laserstrålen rettes inn mot flaten via et to-akset, bevegelig speil. Derved kan et område av flaten scannes fra en posisjon av trianguleringssensoren.
Skannerens vesentlige egenskap er at den registrerer lokal geometri for et objekt, relativt til skannerens interne koordinatsystem. For hver posisjon av skanneren kan man registrere et punkt, punkter langs en linje, eller punkter i et to-dimensjonalt mønster.
Posisjonsmåleenheten 3 er fortrinnsvis av type beskrevet i norsk patent nr. 303.595, som vist i figur 4. Denne består essensielt av et eller flere kamera montert sammen i en enhet. Det enkelte kamera ser et referansemønster i form av punkter, linjer eller lett gjennkjennbare objekter. For hver posisjon av sensorenheten 1 avbildes punktene 9 i referansemønsteret 8 gjennom linsen 19 på sensoren 20. Dataene overføres til regneenheten 5. Programvare i regneenheten sørger for beregning av posisjonsmåleenhetens 3 egen posisjon og orientering relativt til referansemønsteret 8. Posisjonsmåleenheten i figur 4 er også vist med håndtak 21 og aktiviseringsbryter 22 for manuell bruk. Videre er vist belysningskilde 23 for belysning av referanse-mønsteret 8, og mekanisk probe 24 for punktvis måling av et objekt ved berøring, som beskrevet i norsk patent nr. 303.595.
Det vil være fordelaktig om referansemønsteret 8 er kjent i objektets koordinatsystem eventuelt er en del av objektet selv som angitt i figur 2. Dette kan oppnås om objektet har hull som kan gjenkjennes av posisjonsmåleenheten, eller om referansemønsteret festes til objektet, f. eks. ved å sette lett gjennkjennelige targets i hull eller fordypninger i objektet. Disse targets kan f.eks. være rene passive markører, lysgivere, lysreflektorer e.l.
Det er vesentlig at den geometriske relasjonen mellom skannerenheten 2 og posisjonsmåleenheten 3 er kjent og stabil. Dette kan delvis oppnås ved en stabil, presis og kjent mekanisk konstruksjon, og eventuelt ved separat kalibrering som angitt nedenfor.
Robotenheten 4 har som eneste oppgave å posisjonere sensorenheten 1 i riktig posisjon og orientering relativt til objektet 6. Flere typer robotprinsipper kan benyttes, eksempelvis arm-roboter, kartesiske roboter, roboter med én, to, tre eller flere frihetsgrader. Roboten kan styres etter et forhåndsbestemt program, eller ved å benytte den registerte posisjonen av sensorenheten relativt til objektet, og gi roboten instruksjoner om relativ forflytning relativt til nåværende posisjon.
For hver posisjon skal dataene fra sensorenheten 1 relateres til det samme globale koordinatsystem 13 J Dette forutsetter at relasjonen mellom skannerenhetens
koordinatsystem Xs, Ys, Zs, og posisjonsmåleenhetens koordinatsystem Xc, Yc, Zc er kjent. Figur 5 illustrerer en metode for å bestemme denne relasjonen. Sensorenheten 1 posisjoneres slik at minst tre referansepunkter 9 er innnenfor dens måleområde. Ved å registrere posisjonen av referansepunktene relativt til skannenhetens koordinatsystem, samtidig som posisjonsmåleenheten registrerer sin posisjon relativt til referansepunktene, tilveiebringes informasjonen som er nødvendig for å beregne transformasjonen mellom de to koordinatsystemene.

Claims (1)

1. System for deteksjon av et objekts (6) overflategeometri, bestående av en sensorenhet (1) med utstyr (2) for lokal, punktvis deteksjon av overflategeometri, og en robotenhet (4) for å forflytte sensorenheten (1), karakterisert ved at sensorenheten (1) innbefatter en optisk skannerenhet (2) for kontaktfri avføling og deteksjon av objektets overflategeometri, og en posisjonsmåleenhet (3) bestående av en kamerabasert sensor (7) som er innrettet for å registrere en avbildning av et nettverk (8) bestående av referansepunkter (9) i kjente posisjoner, og for å bestemme posisjonen av sensorenheten (1) i et globalt koordinatsystem definert av nevnte nettverk (8) av referansepunkter (9), og at en regneenhet (5) er tilveiebragt og innrettet for innsamling av data fra skannerenheten (2) og fra posisjonsmåleenhet (3) og for transformasjon av dataene fra skannerenheten (2) slik at de relateres til det globale koordinatsystemet.
2. System som angitt i krav 1, karakterisert ved at robotenheten (4) er innrettet for trinnvis forflytning av sensorenheten (1).
3. System som angitt i krav 1, karakterisert ved at nettverket (8) av referansepunkter (9) er på objektet, og at posisjonen for de enkelte referansepunktene i nettverket er kjent relativt til et koordinatsystem som er relatert til objektet.
4. System som angitt i krav 1, karakterisert ved at robotenheten (4) er innrettet til skrittvis å bevege sensorenheten (1) over objektet (6).
5. System som angitt i ett eller flere av foregående krav, karakterisert ved at skannerenheten (2) er valgt fra gruppen bestående av: laserskanner, ett-punkts laser avstandsmåler, laserbasert trianguleringssensor kombinert med kamera, trianguleringssensor med to-akse skannende laser, trianguleringssensor med laser rasterprojeksjon i kombinasjon med kamera, sensor basert på mønsterprojeksjon kombinert med minst ett kamera.<6>S<.>ystem som angitt i ett eller flere av foregående krav, karakterisert ved at robotenheten (4) er valgt fra gruppen bestående av armbasert robot, kartesisk robot, robot med én, to eller flere frihetsgrader, programstyrt robot, sanntids posisjonsstyrt robot basert på registrert posisjon av sensorenheten (1) i forhold til objektet og instruksjon om forflytning i forhold til eksisterende posisjon.
7. System som angitt i 2tt eller flere av foregående krav, karakterisert ved at nevnte kamera i posisjonsmåleenheten (3) er et CCD kamera.
8. System som angitt i krav 3, karakterisert ved at referansepunktene (9) utgjøres av hull eller fordypninger i objektets (6) overflate.
9. System som angitt i krav 3 eller 8, karakterisert ved at referansepunktene (9) utgjøres av såkalte "target" plassert på objektet (6) eller i nevnte hull eller fordypninger i objektets (6) overflate.
10. Fremgangsmåte for deteksjon av et objekts (6) overflategeomtri, der det anvendes en sensorenhet (1) mai skannerenhet (2) for lokal, punktvis deteksjon av overflategeometrien, en posisjonsmåleenhet (3) for å bestemme sensorenhetens (1) posisjon i forhold til et nettverk (8) av referansepunkter (9) i forhold til et globalt koordinatsystem, og en robotenhet for å forflytte sensorenheten, der sensorenheten (1) posisjoneres slik at en del av objektets (6) overflate er innenfor skannerenhetens (2) måleområde, og der nevnte område skannes for lokal, punktvis deteksjon av overflategeometri, karakterisert ved følgende trinn: optisk å skanne nesvnte måleområde ved hjelp av nevnte skannerenhet (2), samtidig å bestemme ved hjelp av nevnte posisjonsmåleenhet (3) posisjonen av det optiske skannerutstyret (2) i forhold til nettverkets (8) koordinatsystem, og å overføre data fra skannenheten (2) til en regneenhet (5) der dataene transformeres til nettverkets (8) koordinatsystem og lagres.
11. Fremgangsmåte som angitt i krav 10, karakterisert ved at sensorenheten (1) forflyttes stegvis av robotenheten ( 4).
12. Fremgangsmåte for kalibrering av en sensorenhet (1) som inneholder en skannerenhet (2) for lokal, punktvis deteksjon av overflategeometri og en posisjonsmåleenhet (3) for å bestemme posisjonen av sensorenheten (1) i et globalt koordinatsystem i forhold til et nettverk (8) av referansepunkter (9) i kjente posisjoner, og der sensorenheten (1) er montert på en robotenhet (4) for forflytting i forhold til et objekt (6), karakterisert veda) å posisjonere sensorenheten (1) slik at minst ett av referansepunktene (9) er innenfor et målevolum av skannerenheten (2) som er egnet for optisk skanning b) å bestemme referansepunktets (9) posisjon relativt til det optiske skannerutstyret (2), c) samtidig å bestemme ved hjelp av posisjonsmåleenheten (3) sensorenhetens (1) posisjon i forhold til nettverkets (8) koordinatsystem, d) å gjenta trinnene a-c eller b,c inntil posisjonen av minst tre referansepunkter (9) er blitt bestemt i forhold til det optiske skannerutstyrets koordinatsystem, og e) å beregne en transformasjonsmatrise basert på data registrert av skanningsutstyret (2) og posisjonsmåleenheten (3) for å beskrive det innbyrdes forholdet.
NO19993446A 1999-07-13 1999-07-13 System for scanning av store objekters geometri NO313113B1 (no)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO19993446A NO313113B1 (no) 1999-07-13 1999-07-13 System for scanning av store objekters geometri
JP2001512250A JP2003505682A (ja) 1999-07-13 2000-07-10 大きな物体の幾何学的形状を走査するシステム
AU74599/00A AU7459900A (en) 1999-07-13 2000-07-10 System for scanning of the geometry of large objects
EP00963149A EP1200798A1 (en) 1999-07-13 2000-07-10 System for scanning of the geometry of large objects
PCT/NO2000/000235 WO2001007866A1 (en) 1999-07-13 2000-07-10 System for scanning of the geometry of large objects

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO19993446A NO313113B1 (no) 1999-07-13 1999-07-13 System for scanning av store objekters geometri

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NO993446D0 NO993446D0 (no) 1999-07-13
NO993446L NO993446L (no) 2001-01-15
NO313113B1 true NO313113B1 (no) 2002-08-12

Family

ID=19903575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO19993446A NO313113B1 (no) 1999-07-13 1999-07-13 System for scanning av store objekters geometri

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP1200798A1 (no)
JP (1) JP2003505682A (no)
AU (1) AU7459900A (no)
NO (1) NO313113B1 (no)
WO (1) WO2001007866A1 (no)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10156431B4 (de) * 2001-11-16 2005-12-22 Dantec Ettemeyer Gmbh Verfahren zur Lagebestimmung von Meßpunkten auf einem Objekt
BE1014484A3 (nl) * 2001-11-22 2003-11-04 Krypton Electronic Eng Nv Werkwijze en inrichting voor het vergroten van het meetvolume van een optisch meetsysteem.
US6925722B2 (en) * 2002-02-14 2005-08-09 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with improved surface features
EP1361414B1 (en) * 2002-05-08 2011-01-26 3D Scanners Ltd Method for the calibration and qualification simultaneously of a non-contact probe
US6944564B2 (en) 2002-05-08 2005-09-13 Metris N.V. Method for the automatic calibration-only, or calibration and qualification simultaneously of a non-contact probe
US7009717B2 (en) 2002-08-14 2006-03-07 Metris N.V. Optical probe for scanning the features of an object and methods therefor
JP3817530B2 (ja) 2003-06-30 2006-09-06 本田技研工業株式会社 3次元形状測定方法及びその測定装置
DE10341042A1 (de) * 2003-09-03 2005-03-31 Claas Fertigungstechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung von Bauteilen
DE102004017172A1 (de) * 2004-04-02 2005-10-20 Jan Bernd Lugtenburg Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung eines Messobjekts
WO2006114216A1 (en) * 2005-04-25 2006-11-02 Metris N.V. Method and device for scanning an object using robot manipulated non-contact scannering means and separate position and orientation detection means
DE102005043912B4 (de) * 2005-05-18 2011-08-18 Steinbichler Optotechnik GmbH, 83115 Verfahren zum Bestimmen der 3D-Koordinaten der Oberfläche eines Objekts
JP2006349547A (ja) * 2005-06-17 2006-12-28 Kanto Auto Works Ltd 非接触式三次元形状計測方法及び計測機
EP1754951B1 (en) 2005-08-16 2011-01-05 3D Scanners Ltd Method for the simultaneous calibration, qualification and synchronization of a non-contact probe
US7299145B2 (en) 2005-08-16 2007-11-20 Metris N.V. Method for the automatic simultaneous synchronization, calibration and qualification of a non-contact probe
DE102006003569A1 (de) 2006-01-25 2007-07-26 Axios 3D Services Gmbh Positionsbestimmungssystem
JP4657275B2 (ja) * 2007-10-29 2011-03-23 パナソニック株式会社 光学的測定装置
DE102008022338B4 (de) * 2008-04-09 2015-02-19 Waldemar Knittel Glasbearbeitungs Gmbh Verfahren zum Erfassen eines Kantenverlaufs einer Kante einer Platte
DE102011011360A1 (de) * 2011-02-16 2012-08-16 Steinbichler Optotechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der 3-D-Koordinaten eines Objekts und zum Kalibrieren eines Industrieroboters
CN103033183B (zh) * 2012-12-14 2015-07-01 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 工业机器人室内精确定位***及方法
DE102014105456B4 (de) * 2014-04-16 2020-01-30 Minikomp Bogner GmbH Verfahren zur Vermessung der Außenkontur von dreidimensionalen Messobjekten und zugehöriges Messsystem
DE202016106062U1 (de) 2016-10-27 2016-11-07 LPKF SolarQuipment GmbH Druckmaschine mit einer Vorrichtung zur Erfassung zumindest einer Glaskante einer Glasplatte
JP7003219B2 (ja) * 2018-03-16 2022-01-20 三菱電機株式会社 重畳表示システム
CN110849267B (zh) * 2019-12-02 2021-02-26 南京航空航天大学 一种基于局部基准孔的移动式自动化***在产品上定位和坐标系转换的方法
DE102021105176A1 (de) 2021-03-04 2022-09-08 Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zur Ermittlung und Darstellung einer Relativorientierung eines Gegenstandes

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE464322B (sv) * 1989-11-09 1991-04-08 Johansson Ab C E Beroeringsfri maetprob
US5198877A (en) * 1990-10-15 1993-03-30 Pixsys, Inc. Method and apparatus for three-dimensional non-contact shape sensing
JPH05312521A (ja) * 1992-05-13 1993-11-22 Nec Corp ターゲットマーク
DE4325269A1 (de) * 1993-07-28 1995-02-02 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur koordinatenmäßigen Ermittlung der Form und Lage von Strukturen, Kanten und Formelementen
GB2292605B (en) * 1994-08-24 1998-04-08 Guy Richard John Fowler Scanning arrangement and method
US5969822A (en) * 1994-09-28 1999-10-19 Applied Research Associates Nz Ltd. Arbitrary-geometry laser surface scanner
JPH09166410A (ja) * 1995-12-14 1997-06-24 Toshiba Corp 位置計測装置
NO303595B1 (no) * 1996-07-22 1998-08-03 Metronor Asa System og fremgangsmÕte for bestemmelse av romlige koordinater
JP3373367B2 (ja) * 1996-08-09 2003-02-04 松下電器産業株式会社 3次元計測装置及び3次元計測方法
FR2770317B1 (fr) * 1997-10-24 2000-12-08 Commissariat Energie Atomique Procede d'etalonnage de la position et de l'orientation d'origine d'une ou plusieurs cameras mobiles et son application a la mesure de position tridimentionnelle d'objets fixes

Also Published As

Publication number Publication date
NO993446L (no) 2001-01-15
NO993446D0 (no) 1999-07-13
AU7459900A (en) 2001-02-13
JP2003505682A (ja) 2003-02-12
EP1200798A1 (en) 2002-05-02
WO2001007866A1 (en) 2001-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO313113B1 (no) System for scanning av store objekters geometri
US11408728B2 (en) Registration of three-dimensional coordinates measured on interior and exterior portions of an object
US9967545B2 (en) System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurment devices
US11022692B2 (en) Triangulation scanner having flat geometry and projecting uncoded spots
US10267619B2 (en) Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US9612331B2 (en) Laser tracker with functionality for graphical target preparation
US9188430B2 (en) Compensation of a structured light scanner that is tracked in six degrees-of-freedom
EP1076221B1 (en) A robot with gauging system for determining three-dimensional measurement data
JP4553573B2 (ja) 測定系の較正のための方法と装置
US20060145703A1 (en) Automatic component testing
CN105190232A (zh) 三维坐标扫描器和操作方法
EP1447644A1 (en) Measurement of spatial coordinates
JPWO2018043524A1 (ja) ロボットシステム、ロボットシステム制御装置、およびロボットシステム制御方法
JP7475163B2 (ja) 測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Lapsed by not paying the annual fees