NL8403536A - Passieve weergeefinrichting. - Google Patents

Description

f ψ * ΡΗΝ 11.210 1 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

"Passieve weergeef inrichting".

De uitvinding heeft betrekking (¾) een passieve weergeef-inrichting bevattende een eerste en een tweede steunplaat waarvan tenminste één doorzichtig is, een aantal weergeef elementen voor het besturen van de reflektie of transmissie van licht met elk ten minste 5 één vaste elektrode en een ten opzichte van deze elektrode door elektrostatische krachten beweegbare elektrode, die door middel van ten minste één elektrisch isolerende, oxydische laag gescheiden wordt gehouden van de vaste elektrode.

Onder een passieve weergeef inrichting wordt verstaan een 10 beeldweergeefinrichting waarvan de weergeefelementen zelf geen licht produceren maar het omgevingslicht zodanig reflekteren of doorlaten dat een beeld wordt verkregen.

Een passieve weergeef inrichting van het bovenvermelde elektrostatische type is bekend uit bijvoorbeeld de op 1 maart 1977 gepubli-15 ceende Nederlandse octrooiaanvrage nr. 7510103 (PHN 8119) ten name van Aanvrager, de gepubliceerde Europese octrooiaanvrage nr. 85.459 eveneens op naam van Aanvrager en "SID International Symposium Digest of technical papers", april 1980, blz. 116-117. In elk beeldelement kan de beweegbare elektrode tussen twee stabiele posities verplaatst worden, 2o zodat voor op de weergeef inrichting vallend licht de transmissie of reflektie per beeldelement gestuurd kan worden. De beweegbare elektrode is door middel van een aantal verende elementen aan één der steunplaten bevestigd. De krachten welke de beweegbare elektrode van de ene naar de andere stabiele positie drijven bestaan uit elektrostatische krachten 25 al dan niet in kombinatie met de in de verende elementen opgewekte veerkrachten.

In een eerste uitvoeringsvorm van de weergeef inrichting wordt de beweegbare elektrode tussen twee op de eerste en de tweede steunplaat aangebrachte vaste elektroden verplaatst. De in de veerelementen optre-30 dende veerkrachten zijn meestal te verwaarlozen ten opzichte van de elektrostatische krachten.

In een tweede uitvoeringsvorm van de weergeef inrichting drijven de elektrostatische krachten de beweegbare elektrode van de ene 5403538 PHN 11.210 2 7 naar de andere stabiele positie en worden de veerkrachten in de veer-elementen benut om de elektrode naar de beginpositie terug te drijven.

In beide uitvoeringsvormen wordt kortsluiting tussen de beweegbare elektrode en een vaste elektrode voorkomen door een elektrisch isolerencfe 5 laag tussen deze elektroden.

In zijn meest algemene vorm omvat de eerste uitvoeringsvorm (ook wel aangeduid met de term "drie-elektrodensysteem") tevens de tweede uitvoeringsvorm. In deze meest algemene vorm kan namelijk de totaal op de beweegbare elektrode werkende kracht F^, geschreven warden 10 als = F.| +F2+F2 waarin F^ de elektrostatische kracht tussen de beweegbare elektrode en de ene vaste elektrode; F2 elektrostatische kracht tussen de beweegbare elektrode en de andere vaste elektrode en F^ de mechanische veerkracht opgewekt in de verende elementen voorstellen. Uit de gegeven formule voor Ft kunnen verschillende uitvoerings-15 vormen van de weergeef inrichting wordt afgeleid. In het geval dat F^ verwaarloosbaar klein is ten opzichte van de termen F^ of F2 wordt de beweegbare elektrode in hoofdzaak door middel van elektrostatische krachten verplaatst. In het geval dat F^ of F^ gelijk is aan nul verkrijgt men de hierboven aangeduide tweede uitvoeringsvorm.

20 De weergeef inrichting is geschikt voor het werken in de reflektie-mode als in de transmissie-mode. Bij het werken in de reflek-tie-mcde is de weergeef inrichting gevuld met een vloeistof waarvan de kleur kontrasteert met de kleur van het oppervlak van de beweegbare elektrode, dat naar het op de weergeef inrichting vallende licht is 25 gekeerd. Afhankelijk Van in welke stabiele positie de beweegbare elektrode zich bevindt zal voor de waarnemer het betreffende beeldelement de kleur van het oppervlak van de beweegbare elektrode of de kleur van de kontrasterende vloeistof aannemen. Aldus kan met de beeldelementen een beeld worden opgebouwd.

30 Bij het werken in de transmissie-mode vormt elk weergeef- element een bestuurbare lichtsluiter. De konstruktie is daarbij bijvoorbeeld zodanig dat de beweegbare elektrode van een patroon van lichtdoor-latende gebieden is voorzien en dat de vaste elektrode op één van de steunplaten is voorzien van een patroon van lichtdoorlatende gebieden 35 dat het negatief is van dat van de beweegbare elektrode. Geen licht wordt doorgelaten als beide elektroden nagenoeg in één vlak liggen.

In elke uitvoeringsvorm is tussen de beweegbare elektrode en de vaste elektrode(n) een elektrisch isolerende, oxydische laag aange- 8403536 «. i PHN 11.210 3 bracht waarmede kortsluiting tussen de elektroden wordt voorkomen. De elektrisch isolerende laag kan bijvoorbeeld op het oppervlak van de vaste elektrode(n) zijn aahgebracht. De isolerende laag kan ook op één of beide oppervlakken van de beweegbare elektrode zijn aangebracht 5 of qp zowel de vaste als de beweegbare elektroden. De elektrisch isolerende, oxydische laag is bijvoorbeeld een laag van een metaaloxyde zoals Tit^· Een zeer geschikte en veelvuldig toegepaste laag is een door middel van een plasma CVD (Chemical Vapour Deposition) proces aangebrachte laag van SiO^· 10 Bij gebruik van de weergeef inrichting, bij voorbeeld een weer geef inrichting met een drie-elektroden systeem, worden aan de vaste elektroden dwz. de vaste boven-elektrode en de vaste beneden-elektrode spanningspulsen van respektievelijk +V en -V toegevoerd, terwijl aan de beweegbare elektrode gelijktijdig een variabele spanningspuls Vg wordt toegevoerd. Indien de spanning op de beweegbare elektrode omstreeks -V bedraagt zal de beweegbare elektrode door de vaste beneden-elektrode worden af gestoten en worden aangetrokken door de vaste boven-elektrode.

De beweegbare elektrode zal dan aanliggen tegen de vaste boven-elektrode. Vfordt aan de beweegbare elektrode een spanning in de buurt van +V toege-20 voerd, dan zal de beweegbare elektrode zich verplaatsen van de vaste boven-elektroden naar de vaste beneden-elektrode.

Aanvrager heeft uit eigen proefnemingen geconstateerd dat somtijds bij het aansturen van weergeefelementen zodanig dat de beweegbare elektrode zich van de ene stabiele positie naar de andere 25 stabiele positie zou moeten verplaatsen, een zodanige verplaatsing niet optreedt of pas optreedt bij een aan de beweegbare elektrode toegevoerde spanning die aanmerkelijk groter is dan de theoretisch benodigde spanning.

In de niet-voorgepubliceerde, eerder ingediende Nederlandse 3{J octrooiaanvrage nr. 8402201 (PHN 11.103) ten name van Aanvrager wordt erop gewezen dat de weerstand die de beweegbare elektrode ondervindt bij het loslaten van of het naderen tot een aanligoppervlak, een belangrijke factor is. Meer in het bijzonder is vermeld dat bij het loslaten en naderen van de beweegbare elektroden, de vrije ruimte tussen deze 35 elektrode en het aanligoppervlak in belangrijke mate de grootte van de aërodynamische of hydrodynamische veerstand bepaalt. In voomoemde Nederlandse octrooiaanvrage wordt voorgesteld om de beweegbare elektrode en de vaste elektrode (n) een verschillende oppervlakte structuur te geven.

84 OS 53 § c * PHN 11.210 4

De huidige uitvinding beoogt een weergeef inrichting te verschaffen waarbij de voomoende problemen inzake de verplaatsing van de beweegbare elektrode sterk worden verminderd.

Dit doel wordt volgens de uitvinding bereikt met een passieve 5 weergeef inrichting van het in de aanhef genoemde type die hierdoor is gekenmerkt, dat de isolerende, oxydische laag is voorzien van een laag van een verbinding die een polaire en een apolaire groep bevat waarvan de polaire groep geadsorbeerd of verbonden is aan het oppervlak van de isolerende oxydische laag.

10 De uitvinding is gebaseerd op het inzicht dat het oppervlak van de elektrisch isolerende, oxydische laag actieve plaatsen aanwezig zijn of gegenereerd worden waarop elektrische lading wordt geadsorbeerd. Als gevolg van deze lading ontstaan extra hechtkrachten waardoor met name het verwijderen of liever gezegd het loslaten van de beweegbare 15 elektrode van het aanligoppervlak sterk wordt bemoeilijkt of zelfs in de praktijk wordt belemmerd.

De maatregel volgens de uitvinding is erop gericht deze actieve plaatsen op het oppervlak van de elektrisch isolerende laag te desacti-veren of te maskeren.

20 De actieve plaatsen op het oppervlak van de isolerende laag zijn voornamelijk hydroxyl groepen. De polaire groep van de in de weergeef inrichting volgens de uitvinding toegepaste verbinding vertoont een interactie, zoals een physische adsorptie of chemische reactie, met de hydroxylgroepen van de isolerende laag.

25 Hierdoor wordt de hydroxylgroep afgeschermd zodat de isolerende laag geen elektrische lading meer kan opnemen.

Een voorbeeld van een geschikte verbinding is een oppervlakte aktieve stof zoals een alkylsulfonaat of een alkylammoniumzout.

Een zodanige stof wordt physisch geadsorbeerd aan de isolerende laag.

2Q De physische adsorptie van een oppervlakte aktieve stof is altijd een evenwichtsverschijnsel waarbij een eindige (zij het geringe) concentratie van de stof in het display medium aanwezig is. Het verdient aanbeveling dat het display medium zo veel mogelijk vrij is van vreemde bestanddelen. Daarom wordt de voorkeur gegeven aan verbindingen die chemisch reageren 35 net de hydroxylgroepen van de elektrisch isolerende laag. Een voorbeeld van een chemische koppeling is de omzetting van de hydroxylgroepen van de isolerende laag in chlooratomen door middel van een chloreringsproces en vervolgens reactie met een alkyllithium verbinding waarbij in geval 8403536 EHN 11.210 5 van een SiC^-isolerende laag. Het Si-atoom direkt gekoppeld wordt aan een koolstofatoom. van de alkylgroep.

Een ander voorbeeld is de reactie van de hydroxylgroepen van de isolerende laag net alkyl- of arylgroepen bevattende stoffen 5 waarvan de alkyl- of arylgroep is gesubstitueerd met chloor. Hierbij wordt een Si-atocm van de isolerende laag, via een zuurstof atoom gekoppeld aan de alkyl- of arylgroep van de toegepaste stof.

In een voorkeursvorm van de weergeef inrichting is de isolerende oxydische laag voorzien van een chemisch aan het oppervlak gebonden 10 alcohol of een silaanverbinding.

Een geschikte alcohol is een alifatische alcohol, is het bijzonder een alkylalcohol (alkanol) waarvan de alkylgroep minimaal 8 koolstofatcmen bevat. De alkylgroep bevat meestal niet neer dan 19 koolstof atomen. Voorbeelden van geschikte alcoholen zijn decanol, 15 dodecylalcohol, hexadecylalcohol en octadecylalcohol. Een op het oppervlak van een SiC^-isolatielaag aanwezige Si-OH groep reageert met de hydroxyl groep van de alcohol waarbij een Si-O-C groep wordt gevormd. Op de isolatielaag wordt een monolaag van de alifatische alcohol gevormd. In de verkregen afschermlaag zijn geen polaire of 20 andere reaktieve bestanddelen aanwezig zodat op de eerste laag van de aan het oppervlak gebonden alcohol, geen tweede laag hechtend aangebracht kan worden. Er is dus sprake van een echte monolaag met een geheel inert oppervlak. De laag wordt aangebracht door bijvoorbeeld de weergeef-inrichting te dorrpelen in de alcohol. De reaktie wordt bij voorkeur 25 bij verhoogde temperatuur zoals 50-200°C uitgevoerd. Ook kan een geringe hoeveelheid van een zuur zoals 1% zwavelzuur worden toegevoegd. Het zuur fungeert als katalysator waardoor de veresteringsreaktie tussen de SiOH-groepen van de isolerende laag en de CH-groepen van de alcohol wordt versneld. In plaats van een alifatische alcohol kan ook een met fluor 3P gesubstitueerde alifatische alcohol met 2-12 koolstofatcmen worden toegepast zoals hexafluorethanol.

Zeer goede resultaten worden bereikt indien in de weèrgeef-inrichting volgens de uitvinding een silaanverbinding wordt toegepast. Bruikbare silaanverbindingen zijn bi- of trifunctionele silanen die per 35 molecuul twee of drie actieve atomen, in het bijzonder chlooratamen of actieve groepen, in het bijzonder alkoxygroepen, bevatten die met de hydraxylgroepen van de isolerende laag kunnen reageren en zodoende een hechting geven. Naast deze actieve atorren of groepen bevat het silaan 3403536 4 φ ΡΗΝ 11.210 6 één of twee alkylgroepen of een fenylgroep. Voorbeelden hiervan zijn methyltrichloors ilaan, methyltriethoxysilaan, dimethyldiethoxys ilaan eri dime thyldichloors ilaan. De chlooratomen van het silaan zijn bijzonder reactief en reageren met de hydraxylgroepen van de isolatielaag onder 5 vorming van een -0-Si- brug en afsplitsing van HC1. De alkoxy groepen zijn minder reactief. Een alkoxysilaan moet in een waterig milieu worden opgenoiren waarbij de alkoxygroep wordt verzeept tot een hydroxyl groep die dan reageert met een hydroxyl groep van de isolerende laag onder vorming van een -0-Si- brug.

10 De silaanverbinding kan vanuit een oplossing op de isolerende laag worden aangebracht. Hiertoe wordt, in geval van een silaanverbinding die een halogeenatoom zoals chlooratoom bevat, de stof opgelost in een apolair organisch oplosmiddel zoals tolueen, hexaan of benzeen. De concentratie bedraagt bijvoorbeeld van 0,1 - 1 vol.%. Aan de oplossing 15 wordt een basische katalysator zoals een amine toegevoegd. Een voorbeeld van een geschikte katalysator is pyridine in een concentratie van 0,1 vol.%. De oplossing kan op de isolerende laag worden aangebracht door een giet- of sproeiproces. Ook kan de weergeef inrichting in de oplossing worden gedompeld. Na deze behandeling wordt gespoeld, eerst met bijvoor-20 beeld tolueen en vervolgens met een polair oplosmiddel zoals een alcohol teneinde de polaire reactieproducten en met name het gevormde pyridine-HCL zout te verwijderen.

Ook een silaanverbinding met een alkoxygroep kan vanuit een Oplossing aangebracht worden. Het oplosmiddel moet water zijn of water 25 bevatten. Hierdoor wordt de alkoxysilaanverbinding gehydrolyseerd tot een hydroxysilaanverbinding die een voldoende reactiviteit heeft ten opzichte van de hydroxylgroepen van het substraat.

Bij voorkeur wordt de isolerende laag in de weergeef inrichting volgens de uitvinding voorzien van een monofunctionele silaanverbinding 30 die beantwoordt aan de fonnule I van het formuleblad waarin een alkylgroep of cyclo-alkylgroep is met tenminste 4 koolstof atomen, die met fluor kan zijn gesubstitueerd, R2 een alkylgroep of cyclo-alkylgroep is met 1-3 koolstof atomen, die met fluor kan zijn gesubstitueerd, 35 X een halogeen atoom is of een alkoxygroep met 1-2 koolstof- atomen, m de waarde 1-3 heeft, n de waarde 0-2, en 8403536

F

PHN 11.210 7 ittf-n = 3.

De toepassing van een zodanige monofunctionele stof .levert een nauwkeurig gedefinieerde monolaag qp met een uitstekende afschennende werking.

5 In een voorkeursvorm van de uitvinding beantwoordt de silaan- verbinding aan de formule II van het formuleblad,- in welke formule een alkylgrcep of cyclo-alkylgroep is met tenminste 8 koolstofatomen.

Voorbeelden van uitstekend werkende silaanverbindingen zijn octyldimethylchloorsilaan, dodecyldimethylchloorsilaan en decyldimethyl-10 ethoxysilaan.

Bij toepassing van een silaanverbinding die één lange alkyl-groep bevat met vier of meer koolstofatomen en twee korte alkylgroepen, bijvoorbeeld methylgroepen, wordt een relatief hoge bezettingsgraad bereikt. Afhankelijk van de lengte van de lange alkylgroep wordt een 15 bezettingsgraad van 30-70%, zoals bijvoorbeeld 40% bereikt. Dit betekent, dat van de vijf hydroxylgroepen per 100 Sr van een SiO^ substraat, twee hydroxylgroepen gereageerd hebben met de silaanverbinding.

De reactie van de volgens de uitvinding boegepaste silaanverbinding met de hydroxylgroepen van een Si02 isolatielaag zijn 20 weergegeven in formule III van het formuleblad..

Zoals uit formule III blijkt, wordt volgens de uitvinding een monomoleculaire laag verkregen die geen actieve groepen meer bevat, afgezien van de resterende hydroxylgroepen van de isolerende laag.

In een verdere voorkeursvorm van de uitvinding wordt na de 25 toepassing van een verbinding van de formule I of II, de isolerende laag nabehandeld met trimethylchloorsilaan.

Laastgenoemde stof heeft geringe afmetingen. Hierdoor kan de stof tussen de lange alkylketen van een verbinding van de formule I of II doordringen, het oppervlak van de isolerende laag bereiken en reageren 30 met de nog aanwezige hydroxylgroepen zoals in formule III is weergegeven. De uniformiteit van het oppervlak wordt hiermede vergroot en als gevolg hiervan wordt de kwaliteit van de afschermende werking bevorderd.

De uitvinding wordt toegelicht met behulp van de tekening, waarbij 35 figuur 1 een dwarsdoorsnede is van een passieve weergeef- inrichting volgens de uitvinding en figuur 2 een perspectivisch aanzicht is in gedeeltelijk opengewerkte toestand van de inrichting volgens figuur 1.

3 4 u v C 3 0 PHN 11.210 8

De inrichting bevat twee evenwijdige steunplaten 1 en 2, waarvan tenminste de steunplaat 1 transparant is. De steunplaten 1 en 2 zijn bijvoorbeeld van glas of van een ander materiaal. Op de steunplaat 1 is een transparante elektrode 3 aangebracht. Op de steunplaat 2 zijn 5 stripvormige elektroden 4 aangebracht. De elektroden 3 en 4 hebben een dikte van ongeveer 0,2^um en zijn vervaardigd van bijvoorbeeld indium-en/of tinoxide. Op de elektroden 3 en 4 zijn 1 a 2^um dikke elektrisch isolerende lagen 5 en 6 van kwarts aangebracht. De kwarts(Si02)lagen 5 en 6 zijn voorzien van uiterst dunne monolagen 7 en 8 van een silaan-10 verbinding met een dikte van bijvoorbeeld 3 nm. Hiertoe zijn steunplaat 1 met elektrode 3 en Si02~laag 5 alsmede steunplaat 2 met elektrode 4 en Si02*-laag 6 gedompeld in een 0,5 %-ige oplossing van n-dodecyldimethyl-chloorsilaan in tolueen. Aan de oplossing was 0.1 vol.% pyridine toegevoegd. De oplossing werd gedurende 45 minuten onder terugvloeikoeling 15 gekookt. De steunplaten werden verwijderd en gespoeld in tolueen.

De platen werden vervolgens gedompeld in een 0,5 %-ige oplossing van trimethylchloorsilaan in tolueen waaraan 0,1 vol.% pyridine was toegevoegd. De oplossing werd 30 minuten gekookt en vervolgens af gekoeld.

De platen werden verwijderd, gespoeld in tolueen en ethanol en vervolgens 20 gedroogd. De toegepaste silaanverbindingen reageerden met de op het Si02 oppervlak aanwezige hydroxyl groepen zoals is oergegeven in de formule III. De actieve plaatsen op het Si02 oppervlak zijn hierdoor gedes-activeerd waardoor geen lading aan dit oppervlak wordt geadsorbeerd.

Ook lagen van andere mono-, di- en trifunctionele silaanverbindingen 25 zoals in de beschrijvingsinleiding zijn genoemd alsmede lagen van de eerder vermelde alcoholen en oppervlakte aktieve stoffen desactiveren de hydroxyl groepen van de isolatielaag zodat geen ladingsadsorptie meer plaatsvindt.

De weergeef inrichting bevat verder een aantal beweegbare 30 elektroden 9 voorzien van gaten 13, die door middel van een aantal verende elementen 10 (fig. 2) met de isolerende laag 6 zijn verbonden.

De elektroden 9 zijn door middel van hun verende elementen 10 in één richting doorverbonden en vormen stripvormige elektroden, die de elektroden 4 nagenoeg loodrecht kruisen. De elektroden 9 zijn aan beide 35 hoofdvlakken voorzien van een niet weergegeven zeer dunne Si02-laag met een dikte van 5-10 nm. Deze laag is voorzien van een silaanverbinding op precies dezelfde wijze als bovenstaand is beschreven ten aanzien van de Si02-lagen 5 en 6, De dunne monolaag van de silaanverbinding is niet 8405536 ΡΗΝ 11.210 9 η weergegeven in de figuren. Het naar de transparante steunplaat T toegekeerde oppervlak van de elektroden 9 is reflekterend. De inrichting wordt af gedicht door een rand afdichtingsmiddel 11. De ruimte tussen de steunplaten 1 en 2 is gevuld met een ondoorzichtige, niet geleidende 5 vloeistof 12 waarvan de kleur kontras teert met de diffuus reflekterende kleur van de elektroden 9. De vloeistof 12 wordt bijvoorbeeld gevormd door een oplossing van sudan-zwart in tolueen. Door het aanleggen van spanningen qp de elektroden 3, 4 en 9 kunnen de elektroden 9 van de ene in de andere stabiele toestand worden gestuurd. Bevinden de elektroden 9 10 zich tegen de isolerende laag 5 met silaan laag 7 dan wordt door de elektroden 9 het omgevingslicht gereflekteerd. Bevinden de elektroden 9 zich tegen de isolerende laag 6 met silaan laag 8, dan zijn de elektroden 9 aan de waarnemingszijde via de transparante steunplaat niet zichtbaar en wordt het omgevingslicht door de vloeistof 12 geabsorbeerd 15 of althans alleen in de kleur van de vloeistof 12 gereflekteerd. De inrichting vormt een zogenaamde matrixweergeef inrichting, waarbij de stripvormige elektroden 4 bijvoorbeeld de rijeléktroden en de stripvormige elektroden 9 de kolomelektroden van de inrichting vormen.

Bij het inschrijven van het beeld wordt uitgegaan van de 20 toestand dat alle elektroden 9 zich aan de zijde van de tweede steunplaat 2 bevinden. De rijelektroden 4 en de gemeenschappelijke elektrode 3 worden respektievelijk op een spanning +V en -V volt gehouden. De informatie voor een aangestuurde rijelektrode 4 wordt gelijktijdig op alle kolomelektroden aangeboden. Aan de kolomelektroden waarvan de 25 elektrode 9 qp het kruispunt met de aangestuurde rijelektrode 4 naar de eerste steunplaat 1 moet omklappen, worden spanningspulsen Vg van +V Volt toegevoerd terwijl aan de overige kolomelektroden spanningseisen van 0 Volt worden toegevoerd. Na het inschrijven kunnen alle elektroden 9 veer naar de tweede steunplaat 2 gebracht worden door 30 gelijktijdig alle kolomelektroden kortstondig qp -V Volt te brengen.

De funktie van de isolerende lagen is drieledig. Ten eerste voorkomen zij elektrisch kontakt tussen de beweegbare elektroden 9 en de vaste elektroden 3 en 4. De tweede funktie heeft betrekking op het energieverbruik van de weergeef inrichting. Wanneer de elektrode 9 tegen één 35 van deze lagen gedrukt is dan zal bij elke wisselspamingspuls een energie evenredig met yd worden toegevoerd waarin d de dikte van de dielektrische laag voor stelt. De derde funktie van de isolerende lagen heeft te maken met de schakeleigenschappen van de weergeef inrichting. Bij een uiterst 8403538

F

PHN 11.210 10 geringe laagdikte van de diëlektrische laag (d = 0) moet exact bij de punten +V volt en -V volt geschakeld worden ctn de beweegbare elektrode van de ene naar de andere positie te laten overgaan. Dit is cm praktische redenen welhaast ónmogelijk. Enige dikte van de dielektrische laag biedt 5 hier uitkomst, omdat daarmee het gebied waarbinnen geschakeld kan worden wordt vergroot.

10 15 20 25 30 35 8403536

Claims (5)

1. Passieve weergeef inrichting bevattende een eerste en een tweede steunplaat waarvan tenminste één doorzichtig is, een aantal weergeef elementen voor het besturen van de reflektie of transmissie van licht met elk tenminste één vaste elektrode en een ten opzichte 5 van deze elektrode door elektrostatische krachten beweegbare elektrode, die door middel van tenminste één elektrisch isolerende, oxydische laag gescheiden wordt gehouden van de vaste elektrode, met het kenmerk, dat de isolerende, oxydische laag is voorzien van een laag van een verbinding die een polaire en een .apolaire groep bevat waarvan de polaire 10 groep geadsorbeerd of verbonden is aan het oppervlak van de isolerende oxydische laag.

2. Passieve weergeefinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de isolerende oxydische laag is voorzien van een chemisch aan het oppervlak gebonden alkohol of silaanverbinding.

3. Passieve weergeefinrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de isolerende oxydische laag voorzien is van een monolaag van een verbindinding die beantwoordt aan de formule I van het formuleblad, waarin een alkylgroep of cyclo-alkylgroep is met tenminste 4 kool-20 stofatcmen, die met fluor kan zijn gesubstitueerd, R2 een alkylgroep of cyclo-alkylgroep is met 1-3 koolstof atomen, die met fluor kan zijn gesubstitueerd, X een halogeenatocm is of een alkoxygroep met 1-2 koolstof atomen, m de waarde 1-3 heeft, 25. de waarde 0-2, en nri-n = 3.

4. Passieve weergeefinrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de verbinding beantwoordt aan de formule II van het formuleblad waarin een alkylgroep of cyclo-alkylgroep met tenminste 30. koolstofatomen is.

5. Passieve weergeefinrichting volgens conclusie 3 of 4, met het kenmerk, dat na toepassing van een verbinding van de forrnile I of II, nabehandeld wordt met de stof trimethylchloorsilaan. 8403535 35