JP2001511265A - 光ガイドを具えた表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明表示装置は光ガイドと可動素子を具える。選択手段により可動素子に局部的に力を及ぼすことによって、可動素子と光ガイドとの間に光学的接触をもたらすことができる。光は光学的接触が生起する位置において表示装置から出る。選択手段により及ぼされる力をできるだけ効率よく利用する手段を講ずる。これは、力を光学的接触が生起する位置に作用させることにより及び、又は（特に圧力差、静電帯電、表面応力、ファンデルワールス力及び、又は化学的力により生ずる）付着力を低減又は除去することにより達成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】 光ガイドを具えた表示装置 本発明は、光ガイドと、可動素子と、前記可動素子を光ガイドと局部的に接触 させる選択手段とを具える表示装置に関するものである。 頭書に記載したタイプの表示装置は米国特許出願ＵＳ４，１１３，３６０号か ら既知である。 前記出願には、動作状態において光を発生するとともにトラップする蛍光体材 料の第１プレート（従って、このプレートは光ガイドを構成する）と、第１プレ ートから若干離れて位置する第２プレートと、前記２つのプレート間に位置する 薄膜の形態の可動素子とを具える表示装置が開示されている。第１及び第２プレ ート上のアドレス指定可能な電極に電圧を供給することにより、可動素子を局部 的に第１プレートと接触させる、または接触を中断させることができる。透明接 点液が接点表面に存在する。可動素子が第１プレートと接触する位置では、光が 前記第１プレートから減結合される。これにより画像を表示することができる。 可動素子が光ガイドと接触しない場合には、可動素子は第２プレートと接触する 。 表示装置の適正動作のためには、光ガイドと可動素子との間の接触を正確にも たらすことができるとともに正確に中断することができることが重要である。接 触を中断し得ない場合には、画素は（どちらの接触が中断し得ないかに依存して ）常に発光するか、決して発光しないかの何れかとなる。これは画質に大きな悪 影響を与えること明かである。 本発明の目的は、画質の向上を示す頭書に記載したタイプの表示装置を提供す ることにある。 本発明は、この目的を達成するために、頭書に記載したタイプの表示装置にお いて、当該表示装置は可動素子と光ガイドとの間の付着力 を低減する手段を具えていることを特徴とする。 可動素子を光ガイド及び、又は第２プレートと接触させる力は変化を受け得る 問題があり、これは例えば可動素子が光ガイド又は第２プレートに付着（粘着） するためである。その結果として、光ガイドと可動素子との間の接触を生起又は 中断するのに必要な力を予め決定することはできない。すべての接触を中断し得 る場合でも、必要な力の変化は画質の低下を生ずる。その理由は、接触が中断さ れる瞬時は接触を中断するのに必要な力により共通に決まり、従って必要な力の 変化が画素の発光期間又は非発光期間の変化を生ずるためである。 このような変化は表示画像の画質に悪影響を与える。 可動素子と光ガイドとの間の付着力の低減は可動素子と光ガイドとの間の接触 を生起又は中断するのに必要な力を小さくし、変化を受けにくくするとともに良 好に制御可能にする。その結果として、画質を向上させることができる。本発明 の範囲内において、付着力なる語は選択手段（の設定）によりもたらされない力 を意味する。 本発明表示装置の一実施例では、可動素子を排気空間内に配置することを特徴 とする。排気空間とは、本願明細書では、1/１０気圧以下、好ましくは１０トル 以下の圧力の空間を意味する。 本発明のこの実施例は、可動素子の下面と光ガイドとの間に、可動素子の上側 の(大気)圧力に対し低圧を発生し得るという洞察に基づくものである。可動素子 の両側のこの圧力差は可動素子を光ガイドに押圧する力を可動素子に及ぼす。こ の力の大きさは圧力差により決まり、大気圧状態及び可動素子と光ガイドとの間 の接触に従って変化し、従って制御不可能である。この実施例では、光ガイドと 可動素子を排気空間内に配置するため、発生し得る圧力差が減少し、従って前記 力が減少する。この実施例では、付着力を低減する手段が排気空間により構成さ れている。 本発明表示装置の一実施例では、可動素子は当該素子から静電荷を除去する手 段を具えることを特徴とする。 本発明のこの実施例は、静電荷が可動素子上に局部的に発生し得るという洞察 に基づくものである。この電荷の結果として、可動素子は制御不可能な静電力を 局部的に又は全体的に受ける。静電荷の形成を除去することにより、この力が減 少又は除去される。 可動素子は導電性にするとともに、一定の電位にするのが好ましい。 本発明表示装置の一実施例では、可動素子の光ガイドに面する面上に付着防止 層を設けること及び，又は光ガイドの可動素子に面する面上に付着防止層を設け ることを特徴とする。 この実施例は、化学的付着が可動素子と光ガイドとの間に局部的に発生し得る という洞察に基づくものである。これらの力の結果として、可動素子は制御不可 能な力を局部的に又は全体的に受ける。可動素子上及び，又は光ガイド上の付着 防止層を使用することにより、これらの力が減少又は除去される。付着防止層は 、例えばテフロン層又はパリレン（ポリ−ｐ−キシレン）層とすることができる 。 本発明表示装置の一実施例では、光ガイドに面する可動素子の表面及び，又は 可動素子に面する光ガイドの表面が５ｎｍ以上の平均荒さ（Ｒ_a）を有し、且つ 両表面の何れも０．１μｍを超える荒さを有しないことを特徴とする。前記両表 面の粗さは２０〜１００ｎｍの範囲にするのが好ましい。両表面の粗さが５ｎｍ 以下の場合には、ファンデルワールス力が前記表面間に発生する。このようなフ ァンデルワールス力は大きい。両表面の少なくとも一方が５ｎｍ以上の荒さを示 す場合には、ファンデルワールス力は著しく小さくなるか、除去される。両表面 の一方が０．１μｍ以上の荒さを示す場合には、可動素子と光ガイドとの間の光 学的接触が低下する。 可動素子と光ガイドとの間に液体を存在させないのが好ましい。液体は可動素 子と光ガイドとの間の光学的接触を改善するが、可動素子と光ガイドとの間に（ 表面応力の結果として）付着力ももたらす。この付着力は、可動素子と光ガイド との接触のし方及び液体の特性並びに圧力及び温度のような他の条件に依存する 。従って、上述の付着力 は変化を受ける。 一実施例では、選択手段は透明電極を具え、可動素子が光ガイドと接触すると き電極の位置で光ガイドと接触し、光を透明電極を経て放射せしめることを特徴 とする。 この実施例では、可動素子と光ガイドが電極の位置で互いに接触する。この実 施例は、接触が電極の隣で起る表示装置に比較して、光放射が生ずる位置に接触 を生起させる力が大きくなるとともに一層良好に制御可能になる利点を有する。 上述の各実施例において、可動素子は光ガイドと他の素子との間に配置し、選 択手段は可動素子を光ガイドの方向に動かす力及び可動素子を他の素子の方向に 動かす力を局部的に発生する手段を具えるものとするのが好ましい。この実施例 は、反発力（可動素子を光ガイドから押し戻す力）が可動素子の弾性力により形 成される実施例と比較して、弾性力が可動素子の弾性特性に依存し、これらの弾 性特性が、例えば厚さ、材料、温度等の差の結果として変化を示し得る利点を有 する。 本発明の表示装置は上述の種々の実施例の１つ、好ましくは２つ以上の特徴を 具えることができる。 本発明のこれらの特徴及び他の特徴は以下に図面を参照して記載する実施例を 参照すると明らかになる。図面において、 図１は本発明表示装置の断面図であり、 図２は図１に示す表示装置の細部を示し、 図３Ａ及び図３Ｂは図１に示す表示装置の実施例の他の細部を示し、 図４は図１に示す表示装置の平面図であり、 図５は付着防止層を用いる本発明表示装置の一実施例を示し、 図６Ａ及び図６Ｂは本発明表示装置の一実施例を示す。 これらの図は略図であって、一定の寸法比で描いてない。また、総じて、同様 の部分は同一の参照番号で示す。 図１は本発明による表示装置１を略図示したものである。この表示 装置は光ガイド２と、可動素子３と、第２プレート４とを具える。電極系５及び ６が光ガイド２及び第２プレート４の可動素子３に面する面上にそれぞれ配置さ れている。動作中に電極５、６と可動素子３に電圧差を供給することにより電極 ５、６と可動素子３との間に電位差を局部的に発生させることによって、可動素 子を光ガイドに押圧する又は光ガイドから離れた位置に保持する力が可動素子に 局部的に及ぼされる。この表示装置はカバー素子７を具え、このカバー素子は光 ガイド２と気密に連結され、排気空間８を形成する。この表示装置は更に光源９ を具える。図２は可動素子３がどのように光ガイド２と接触するかを示す。この 状態では、光の一部分が可動素子に入射する。この可動素子は光を拡散させるた め、光は表示装置から出て行く。光は両側から又は片側から出ることができる。 光を可動素子から射出させるために、可動素子は散乱中心が混合された材料(例 えばポリマ)の層、以後「マトリクス層」ともいう、を具えるものとするのが好ま しい。このような散乱中心はマトリクス層の材料と異なる材料の粒子により形成 することができ。またマトリクス層内の泡（気泡）により形成することができる 。可動素子に入射する光は散乱中心により散乱される。図２では、これが矢印で 示されている。マトリクス層の厚さは０．５−５μｍが好適であり、１−３μｍ が最も好適である。マトリクス材料の質量は１−５gr/ccの範囲内にするのが好 ましい。散乱粒子は例えばTiO₂、BN、ZrO₂、SiO₂、Si₃N₄、Al₂O₃、ITO(インジウ ム−酸化錫)又はダイアモンド粉末からなるものとすることができる。これらの 粒子の平均粒度は０．０５−１μｍが好ましい。０．０５μｍより小さい粒子及 び１μｍより大きい粒子は光を効率よく散乱しない。散乱粒子の濃度は１−５０ ％の範囲内にするのが好ましい。マトリクス層と散乱粒子との間の屈折率の差は ０．１より大きくするのが好ましい。これより小さい屈折率の差では散乱粒子の 散乱効率が極めて低くなる。散乱粒子の屈折率は０．５より大きくするのが好ま しい。散乱粒子の好適な材料は実際上無色透であるTiO₂、BN及びAl₂O₃であ る。特にTi₂O₃が好適であり、その理由はその屈折率が高く、従ってマトリクス 材料と散乱中心との間に大きな屈折率の差が得られるためである。マトリクス材 料の屈折率は光ガイドの材料の屈折率に近似させる(約０．２以下の差にする)の が好ましい。この場合、光ガイドと可動素子との間の接触表面における反射が小 さくなる。散乱中心の密度及び散乱中心の材料とマトリクス材料との間の屈折率 の差は、可動素子内における光の拡散長が画素間の間隔より小さくなるようにす る。光の拡散長（＝光が散乱される前に可動素子内を走行し得る平均長）を画素 間の間隔より小さくすると、可動素子に入射した光が隣接画素から射出し得なく なる。拡散長は可動素子の厚さの２倍以下にするのが好ましい。光の拡散長ｄ₀ は、厚さｄを有する可動素子から散乱されることなく出る光Ｉ_unscatteredの光 量を測定することにより測定することができる。この光量はＩ₀ｅ^-d/d0に等しく 、ここでＩ₀は入力光の強度及びｄは可動素子の厚さである。可動素子自体は光 を案内する必要はない。その理由は、可動素子は光を可視領域外に拡散させ、従 って強度の損失を与えるものであるためである。平均拡散長を画素(即ち可動素 子を光ガイドと接触させることができる隣接領域)の間隔より小さくすることに よって、１つの画素から他の画素への光の拡散が阻止される。平均拡散長を可動 素子の厚さの２倍より小さくすることによって、画素の周囲に「ハロー」が形成さ れるのが阻止される。散乱長は（(ｎ₁−ｎ₂)/(ｎ₁＋ｎ₂)）²×散乱粒子の密度に ほぼ比例する。ｎ₂＝１．５を有するマトリクス材料内に約５０−１００ｎｍのT iO₂(ｎ₁＝２．８)粒子を１０−４０％の体積濃度で含む実施例では、良好な散乱 光率が達成された。マトリクス材料及び散乱中心単独又はそれらの組み合わせの 上述の好適な特徴は光ガイドと可動素子との間の接触を改善する手段が存在する か否かと無関係である。実施例では、表示装置は色決定素子２０を具える。これ らの素子は、例えば特定の色(赤、緑、青等)の光を透過し得るカラーフィルタ素 子とすることができる。好適実施例では、ＵＶ光を光ガイドから蛍光体素子に入 射させる。Ｕ Ｖ光により励起された蛍光体素子は有色光を放射する．ＵＶ光及び蛍光体素子の 使用は表示装置の効率を増大する。この利点自体も光ガイドと可動素子との間の 接触を改善する上述の手段と無関係である。 図３Ａは図１に示す表示装置の他の詳細を示す。可動素子３はスペーサ１２及 び１３によって光ガイドと２と第２プレート４との間に配置されている。電極５ 及び６は可動素子３と電極とが直接電気的に接触するのを阻止するために絶縁層 １０及び１１で覆われている。電圧をこれらの電極と可動素子に供給することに より、可動素子を光ガイド２上の電極５に押圧する電気的力Ｆが発生する。電極 ５は透明である。可動素子と光ガイドとの接触により光は接触位置で光ガイドか ら出て可動素子に入る。可動素子内で、光は拡散され、透明電極５及び光ガイド ２を経て表示装置から出る。力Ｆは接触が行われる位置に及ぼされる。不透明電 極を使用する場合（図３Ｂ参照）には、これらの電極は光ガイド２と可動素子３ との間の光学的接触がもたらされる位置の隣に設ける必要がある。図３Ｂには２ つの電極を具える実施例が示されている。この実施例は、一層多数の電極を製造 する必要があり、従ってコストの増大及び画像エラーの危険性の増大を生ずる欠 点を有する。図示の電極の一つのみの使用は、これらの電極の各々が大きな力を 発生する必要があり、高電圧を必要とするとともに、力が非対称に及ぼされる欠 点を有する。可動素子は電荷を除去する手段を具える。この手段は、例えば可動 素子を導電性ポリマで形成することにより、又は可動素子に導電性ポリマを添加 することにより、又は可動素子に導電層、例えば光ガイドに面する面上に設けら れたインジウム−酸化錫層又は第２プレート４に面する面上に設けられた不透明 導電層、を設けることにより達成することができる。 図４は図１に示す表示装置の一実施例の平面図である。 電極５及び６はマトリクスを構成する。制御ユニット１７から、信号(電圧)が 接続線１５及び１６を経て電極５及び６に供給される。電極５及び６に適切な電 位差を供給することにより、可動素子は動作中 電極５及び６の交差位置において電極５から６及び電極６から５へ移動する。 電極と可動素子との間の電位差により可動素子に局部的に及ぼされる力は電位 差、電極と可動素子との間の距離及び電極の表面積の大きさにより決まる。これ らの力によって可動素子は往復運動する。２つの電極の間(又は１つの電極と可 動素子との間)に発生する力Ｆはほぼ、 Ｆ=1/2ε₀(V/d)²・Ｓ であり、ここでＦは前記力、Ｖは電位差、ｄは電極間の距離及びＳは電極の表面 積である。他の力がない場合には、１０−１００Ｖ程度の大きさのスイッチング 電圧を用いて可動素子をスイッチさせる、即ち可動素子を光ガイドと局部的に接 触させる又は光ガイドとの接触を中断させることができる。 必要な力が小さくなればなるほど、必要な電位差及びエネルギー消費が低くな るとともに、表示装置のスイッチング速度が高くなる。図２、図３Ａ及び図３Ｂ には、必要な力又は必要な電圧を低減するいくつかの手段が示されている。可動 素子を排気空間内に配置することにより、可動素子の両側、即ち光ガイド側とそ の反対側との間の圧力の差が除去される。 このような圧力の差はかなり大きな付着力になり、可動素子は移動時にこれに 打ち勝たなければならない。最大可能な低圧は可動素子及び光ガイドの周囲の空 間内の圧力に等しい。１気圧の低圧では、付着力が大きいため、５００Ｖ程度の 電位差が可動素子の引き離しのために必要とされる。排気空間内の圧力は１０mb ar以下にするのが好ましい。１０mbarの低圧の場合には、必要な電位差は５０Ｖ に減少する。更に好適な実施例では、圧力を０．１mbar以下にする。 可動素子から電荷を除去することにより、静電帯電により生ずる力が除去され る。静電荷は可動素子の片面又は両面に導電層を設けることにより除去すること ができる。このような導電層は半透明アルミニウム層のような半導体透明金属層 又はＩＴＯ（インジウムー酸化錫） 層ような透明導電層とするることができる。導電層を片面上にのみ使用する場合 には、可動素子の材料はある程度のバルクコンダクタンス（ρ≦１０⁶−１０⁷Ω /ｃｍ）を有するものとするのが好ましい。或いは又、可動素子自身が比較的高 いバルクコンダクタンス（ρ≦１０Ω/ｃｍ）を有するものとする。 接触位置に透明電極を使用することにより、力を発生するために使用し得る電 極の表面積が大きくなるため、小さな電位差で十分となる。可動素子及び、又は 光ガイド及び、又は第２プレート上に付着防止層を使用することにより化学的力 の発生が除去される。図５は付着防止層５１及び５２が設けられた可動素子を示 す。 可動素子と光ガイドの相互接触表面間のファンデルワールス力も大きな力をも たらす。これらの力を除去又は低減するには、可動素子の光ガイド側の面又は光 ガイドの可動素子側の面を５ｎｍ以上の荒さを有するものとするのが好ましい。 通常、所望の荒さを得るために上述の表面の一方又は両方をプラズマエッチング する。 図６Ａ及び図６Ｂは本発明の他の実施例を示し、本例では可動素子３がプレー ト４に固着された比較的厚い弾性体からなる。電極５及び６間に電位差を供給す ることにより、可動素子が局部的に伸長され、光ガイド２と接触せしめられるた め(図６Ａ参照)、光が放射される。この実施例では、可動素子により達成される 運動は伸長である。この実施例の利点は、必要とされるスペーサを少数にするこ とができるとともに、電極間の距離（従って可動素子に及ぼされる力）を精密に 調整することができる点にある。可動素子は散乱中心が存在するシリコンゴム又 は可撓性ポリウレタン（ＰＵＲ）フォームにより（主として）形成することがで きる。 可動素子と光ガイドとの間の力を減少させる他の手段は次の通りである。 可動素子として小さな表面張力（即ち３０ダイン／ｃｍ以下）を有する材料を 使用する。 可動素子と光ガイドの接触表面が同一の材料からなるようにする。これは、例 えば電極５と可動素子３を同一の材料で被覆することにより、又は可動素子を被 覆しない場合には電極を可動素子の材料の層で被覆することにより達成すること ができる。 以上要約すると、本発明は以下のように記すことができる。 本発明表示装置は光ガイドと可動素子を具える。選択手段により可動素子に局 部的に力を及ぼすことによって、可動素子と光ガイドとの間の光学的接触をもた らすことができる。選択手段により及ぼされる力をできるだけ効率よく利用する 手段を講ずる。この手段は、力を光学的接触が生ずる位置に作用させることによ り及び、又は特に圧力差、静電帯電、表面応力、ファンデルワールス力及び、又 は化学的力により生ずる付着力を低減又は除去することにより達成することがで きる。その結果として、表示装置の信頼性が向上し、また電極を選択的力の発生 に使用する場合には、必要とされる電位差が小さくなる。 本発明の範囲内において、種々の変更が可能であること明かである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＫＲ，Ｕ Ｓ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 光ガイドと、可動素子と、前記可動素子を光ガイドと局部的に接触させる 選択手段とを具える表示装置において、当該表示装置は可動素子と光ガイドとの 間の付着力を低減させる手段を具えていることを特徴とする該表示装置。 ２． 光ガイドと、可動素子と、前記可動素子を光ガイドと局部的に接触させる 選択手段とを具える表示装置において、前記選択手段が透明電極を具え、且つ動 作中に、前記可動素子が光ガイドと接触するとき電極の位置で光ガイドと接触し 、その結果として光が透明電極を経て放射せしめられることを特徴とする表示装 置。 ３． 前記可動素子は該素子から静電荷を除去する手段を具えていることを特徴 とする請求項１記載の表示装置。 ４． 前記可動素子は導電性であるとともに、一定の電位にあることを特徴とす る請求項２記載の表示装置。 ５． 前記可動素子の光ガイドに面する面上に付着防止層が設けられていること および、または光ガイドの可動素子に面する面上に付着防止層が設けられている ことを特徴とする請求項１記載の表示装置。 ６． 前記可動素子の光ガイドに面する表面および、または前記光ガイドの可動 素子に面する表面は５ｎｍ以上の平均荒さ（Ｒ_a）を有し、且つ両表面の何れも ０．１μｍを超える荒さを有しないことを特徴とする請求項１記載の表示装置。 ７． 前記両表面の粗さは５０〜２００ｎｍの範囲であることを特徴とする請求 項６記載の表示装置。 ８． 前記可動素子と前記光ガイドとの間に液体が存在しないことを特徴とする 請求項１記載の表示装置。 ９． 前記可動素子は排気空間内に配置されていることを特徴とする請求項１記 載の表示装置。 10． 前記可動素子が前記光ガイドと他の素子との間に配置され、前 記選択手段が、前記可動素子を前記光ガイドの方向に動かす力及び前記可動素子 を前記他の素子の方向に動かす力を局部的に発生する手段を具えるていることを 特徴とする請求項１記載の表示装置。