NL8103979A

NL8103979A - Methode en inrichting voor het aanbrengen van een film vloeibaar medium op een substraat.

Info

Publication number: NL8103979A
Application number: NL8103979A
Authority: NL
Original assignee: Bok Edward
Priority date: 1981-08-26
Filing date: 1981-08-26
Publication date: 1983-03-16
Also published as: JPS58501447A; EP0088091A4; WO1983000774A1; US4495024A; EP0088091A1; JPH0338740B2

Description

» ' - ί »— — -*» f'lethode en inrichting υοοΓ het aanbrengen van een film vloeibaar t medium op een substraat,

De uitvinding heeft betrekking op^ een methode en inrichting voor het aanbrengen van een film van vloeibaar medium op een oppervlak..

5 Daarbij vindt de gebruikmaking van een submicro-gefilterde gasvormige omgeving voor het oppervlak tijdens het opbrengen erap van deze film plaats· De aldus van een film voorziene substraten kunnen bijvoorbeeld u/orden toegepast in de micro-electronica bfj het vermerken van silicon "wafers11 en dergelijke producten.

10 In de Nederlandse Octrooi-aanvrage no. 8 101 440 van de aanvrager is een inrichting voor het aanbrengen van een vloeibaar medium op een substraat aangegeven, waarbij onder andere gebruik wordt gemaakt van een geleidingsuand, waarlangs het te behandelen oppervlak van de substraat verpiaatsbaar is onder rechtstreeks contact making daarmede voordat in 15 een opbrenggedeelte medium naar deze substraat wordt gevoerd.

De substraat wordt daarbij onder vacuumkracht tegen deze geleidingsuand getrokken.

Door het laten uitstrekken van de uitmondingen van deze media tot nabij het vsrlengde van deze geleidingsuand is een microspleet tussen de 20 uitmondings-scheidingsuanden en de substraat verkregen, uaarin de media langs deze substraat kunnen stromen naar de uitmonding van een afvoer-kanaal.

Zulk een microspleet is gewenst, omdat anders te groie verschillen in stuwing van de media langs de substraat en de dikte van de opgebrachte 25 laag kunnen optreden.

De nadelen van deze inrichting met opvolgende geleidingswanden voor de substraten zijn de navolgende : 1. Tijdens het onder vacuumkracht verplaatsen van de substraat langs dit vlak kunnen submicro deeltjes van deze substraat loslaten en als ver- 30 ontreiniging de opgebrachte coating angunstig beinvloeden.

2. Via de in dit vlak opgenomen vacuumkanalen kan coating of ander medium uorden opgezogen met een mogelijke verstopping van deze kanalen* 3. Het gedeelte van de substraat, uelke het coating toevoerkanaal is ge-passeerd, kan wederam zijn oorspronkelijke, veelal gebogen positie in- 35 nemeOj zodat aanraking van delen ervan met de doorvoerwand van de ca- bi.ne onvermijdelijk is. Zulk een doorbuiging wordt vooral verkregen door ! benodigd veelvuldig behandelen van de substraat zoals drogen, harden van opgebrachte coatings, etsen, metaal-opbrenging enzovoort.

8103979 *· 2 — J* %* * s 1 t 4. De vacuumkracht in de geleidingsuand kan vooral tijdans het vastzuigen van het laatste gedeelte van een ronde substraat te gering zijn of zelfs zijn opgeheven, uaardoor onregelmatigheden in de toe* en afvoer van medium gaan plaats vinden.

5 5. Er kan geen toevoer onder hoge druk van medium naar de substraat plaats vinden. Zulks in verband met een te grote resulterende kracht op deze substraat, uaardoor de vacuumkracht in de geleidingsuand tenminste plaatselijk te gering uordt. Tevens moet dit geleidevlak schoon biijven, dus mag geen hoge druk opbrenging van reinigings— of spoelmedium op de 10 substraat plaats vinden.

6. Bij het met behulp van een in het transportsysteem opgenomen vacuumblok, u/aarop de substraat is aangezogen, drukken van deze substraat tegen deze geleidingsuand kunnen door varieties in dikte van de substraat en fabricage toleranties in de inrichting ontoelaatbaar hoge urijvings- 15 krachten optreden tussen deze uahd en de substraat met als gevolg een mogelijke beschadiging van deze substraat.

7. Na het opbrengen van de coating mag het gecoate substraat-oppervlak niet meer uorden aangeraakt, hetgeen de mogelijkheid om doeltreffend te drogen met een gasstroom met een noudzakelijke hoge druk onmogelijk maakt.

2D 8. Bij het doorlopen van de oven en droogsectie uordt de substraat aan £4n zijde veruarmd met tenminste tijdelijk zodanig grote vervormingen, dat veelal losraken van de vacuumblokken en het tegen de uand van de sectie drukken van substraat-delen onvermijdelijk is, hetgeen ontoelaatbaar is,.

Met de inrichting volgens de uitvinding mordt nu beoogd om deze 25 bezuaren op te heffen en is deze in hoofdzaak daardpor gekenmerkt, dat tussen meerdere opvolgende uitmondingen van toe- en afvoerkanalen voor media naar de substraat en deze substraat zodanig zelfstandige micro--kussens van media uorden beuerkstelligd en in stand gehouden, dat tenminste de middensectie van deze substraat niet de uanden van deze uit-30 mondingen kan raken.

De in de micro-electronica toegepaste substraten hebben een zeer geringe onvlakheid en dikte-verschil. Daardoor kan in de doorvoer voor de substraten de spleten opzij van deze substraten zeer nauu zijn met aldus een overeenkomstig zeer laag verbruik aan media voor het instand houden 35 van de medium kussens tussen deze substraten en de cabineuand.

Deze uiterst geringe hoogte van de medium kussens maakt een hoge stuukracht van de media naar de substraat mogelijk met een daarmede gbpaard gaande sterke uerveling in deze micro-spleten van de media stromen in de 8103979 . . * t.

- 3 - richti'ng van het afvoerkanaal ervoor.

Hierdoor is vooral in de reinigings— an spoelsectie de werking van de media zeer intensief, is tevens de lengte van zulk enn sectie in de bewegingsrichting van de substraat en daarmede corresponderende tijdsduur 5 van behandeling zeer beperkt en kan de doorvoer van substraten continue zijn.

Het verbruik aan vloeibaar medium kan daarblj per substraat slechts 3 enkele cm en die van het gasvormige medium slechts een fractie van een liter bedragen.

« 10 Gezien de hoge kostprijs van zulk een substraat en de mogelijk hoogst bereikbare graad van reiniging is dit verbruik aan medium volkomen ver-antuoord·

Verdere bijzonderheden betreffende de gebruikt uiordende media, behan-delingssystemen voor de substraat en mogelijke variaties daarin zijn am-15 schreven aan de hand van de navolgende Figuren:

Figuur 1 is een sterk vergroot perspectief detail van de cabins, waardoorheen apvolgende substraten met behulp van micro media kussens zonder contact met hun omgeving warden gestuwd.

Figuur 2 is een verticale langsdoorsnede van een inrichting, waarin 20 de cabine volgens Figuur 1 is toegepast.

Figuur 3 is een horizontale langsdoorsnede van de inrichting volgens Figuur 2.

Figuur 4 is een vergroot detail van de langsdoorsnede van het inlaat-gedeelte van de inrichting volgens Figuur 2« 25 Figuur 5 is een vergroot detail van de langsdoorsnede van het afvoer— gedeelte van de inrichting volgens Figuur 2.

Figuur 6 toont in een horizontale langsdoorsnede van de inrichting een stapelpakket met daarin opgenomen toe- en afvoerkanalen*

Figuur 7 is een gedeeltelijke dwarsdoorsnede van de inrichting volgens 30 Figuur 2, waarin over een tweetal stapelsegmenten toevoerkanalen voor een gasvormig medium zijn getoond.

Figuur 8 is een langsdoorsnede van het segment volgens de Figuur 7.

Figuur 9 zijn vergrootte details van het segment volgens de Figuiir 8.

Figuur 10 is een dwarsdoorsnede van de inrichting volgens de Figuur 2 35 met toe— en afvoerkanalen voor de verschillende media.

Figuur 10A is een detail van de zijwand van de inrichting volgens Figuur 10.

Figuur 11 is een zjjaanzicht van een stapelsegment, waarin afvoerkana- 8103979 *- *. * · - 4 - len zijn opgenomen.

Figuur 12 is een duarsdoorsnede over de lijn 12-12 van het segment volgens de Figuur 11.

Figuur 13 is een zijaanzicht van sen· stapelsegment, uaarin kanalen 5 voor vloeibaar medium zijn opgenomen.

Figuur 14 is een duarsdoorsnede over de lijn 14-14 van het segment volgens de Figuur 13.

Figuur 15 is een detail doorsnede van de inrichting volgens de Figuur 2, uaarbij aan δέη zijde de hoogte van het medium kussen groter is dan aan 10 de andere zijde,

Figuur 16 is een detail doorsnede van de inrichting volgens de Figuur 2, uaarbij een sterk doorgebogen substraat-seotie is aangegeven.

Figuur 17 is een verticals doorsnede van een inrichting met aan δδη zijde ean^ gladde geleidingsuand voor de door te voeren substraten.

15 Figuur 18 is een verticale langsdaorsnede van een inrichting, uelke aan Ιδη zijde geleidingsuand-sacties en micro mediumkussen-secties bevat.

Figuur 19 is een doorsnede van een geuijzigde inrichting, uelke aan δδη zijde van een draaitafel met vacuumhouders voor de substraten is voor-zien.

20 Figuur 20 is een doorsnede van een draaitafel-sectie met een geuijzigde uitvoering van een vacuumhouder.

Figuur 21 is een langsdoorsnede van een sectie voor het reinigen van substraten.

25 Figuur 22 is een vergrootte detaildoorsnede nabij de substraat van de sectie volgens de Figuur 21.

Figuur 23 is een sterk vergrootte doorsnede van een uitmonding van een afvoerkanaal van de sectie volgens de Figuur 21.

Figuur 24 is een langsdoorsnede van een sectie voor het spoelen en 30 vervolgens drogen van de substraat.

Figuur 25 is een vergrootte detaildoorsnede van een andere uitvoering van de sectie voor het reinigen van substraten,

Figuur 26 is een sterk vergrootte doorsnede van de uitmonding van een toe- en afvoerkanaal van de sectie volgens de Figuur 25.

35 Figuur 27 toont de uitmonding van een kanaal voor vloeibaar medium nabij het einde van een substraat.

Figuur 28 toont de uitmonding van een ander kanaal voor vloeibaar medium nabij het einde van een substraat.

8103979 έ * - 5 -

Figuur 29 toont een sterk vergrootte detaildoorsnede van nog sen andere sectie voor het reinigen van substraten*

Figuur 30 is een sterk vergroottte doorsnede van een serie uitmon-dingen van sen droogsectie.

5 Figuur 31 is een doorsnede van een stapelsegment van een ovensectie, uaarin een veruarmingsspiraal is opgenomen.

Figuur 32 is een sterk vergrootte doorsnede van een serie uitmon-dingen van een ovensectie, uaarin segmenten volgens de Figuur 31 zijn opgenomen# 10 Figuur 33 is een sterk vergrootte langsdoorsnede van een serie uit- mondingen van een sectie,voor het aanbrengen op een substraat van een vloeistof, uelke dient voor een verbeterde hechting van de coating op deze substraat.

Figuur 34 is een geuijzigde uitvoering van de sectie volgens Figuur 33# 15 Figuur 35 is de sectie volgens Figuur 33 met een ervoor geplaatst hoogvacuum kanaal#

Figuur 36 is een sterk vergrootte langsdoorsnede van een uitmonding van het toevoerkanaal voor coating van een coatingsectie.

Figuur 37 is een sterk vergrootte langsdoorsnede van een uitmonding 20 van het afvoerkanaal van de coatingsectie volgens Figuur 36.

Figuur 38 is een langsdoorsnede ,van een coatingsectie, uaarin een tueetal dunne lagen coating op de substraat uordt gebracht met aanvullende droogsecties.

Figuur 39 is een sterk vergrootte langsdoorsnede van een coating-25 sectie uaarbij nog uederom een combinatie van verdunning en gasvormig medium over de op de substraat aangebrachte laag uordt gevoerd*

Figuur 40 toont een aantal opvolgende coatingsecties met aanvullende droog- en ovensecties.

Figuur 41 toont het met behulp van een aantal opgebrachte coatings 30 opvullen van een "stepped" substraatoppervlak.

Figuur 42 is een langsdoorsnede van een gedeelte van de coating-sectie volgens Figuur 40 aangevuld met een coating/oven sectie voor het aanbrengen van een dunne toplaag op de dikke onderlaag,

Figuur 43 toont schematisch het aangebracht zijn van zulk een tueetal 35 lagen op de substraat.

Figuur 44 is een langsdoorsnede van een coatingsectie, uaarbij door een gasvormig medium als drager verdunning in dampvorm · naar de substraat uordt gevoerd# 8103979 bf * - 6 - f

Figuur 45 is sen sterk vergrootte doorsnede wan ds uitmonding van hat afvoerkanaal van ds sectie volgens Figuur 44.

Figuur 46 is sen langsdoorsneds van een coatingsectie, waarbij sen film water over de aangebrachte coating wordt gestuwd.

5 ' Figuur 47 is een sterk vergrootte doorsnede van de uitmonding van het afvoerkanaal van ds sectie volgens Figuur 46.

Figuur 48 is een langsdoorsneds van een sectie voor het leiden van ontwikkelingsvloeistof over de substraat,

Figuur 49 is een sterk vergrootte langsdoorsnede van de uitmonding 10 van de toevoerkanalen voor de ontwikkelingsvloeistof en het gasvormige medium.

Figuur 50 is sen sterk vergrootte langsdoorsnede van een gewijzigde uitmonding voor de ontwikkelingsvloeistof.

Figuur 51 toont de stuwing van ontuikkelingsvloeistof in verschillen-15 de posities van de substraat.

Figuur 52 is een sterk vergrootte doorsnede van een sectie voor het stuwen van ’’dopant" over een substraat.

Figuur 53 is een langsdoorsnede van een gewijzigde "dopant" sectie.

Figuur 54 is een inrichting volgens de uitvinding met draaitafel en 20 waarbij in een toevoersectie een gedeeltelijk reinigen.van de substraat plaats vindt.

In de Figuur 1 is een gedeelte van de inrichting 10 aangegeven. Oaarbij wordt met behulp van tussen opvolgende stapelsegmenten 12 gelegen uiterst nauwe toevoerkanalen 14 voor media en afvoerkanalen 16 voor deze media 25 aan weerszijde van de substraat 18 micromedium kussens 20 en 22 onder- houden, zodat geen mechanisch contact van tenminste de vlakke zijden 24 en 26 met het inwendige van de cabine kan plaats vinden.

In de Figuren 2 en 3 is deze inrichting uederom aangegeven. Oaarbij worden substraten 18 vanuit het toevoerstation 28 en via een overname-30 sectie 30 naar de cabine 32 gevoerd.

In de cabine 32 vindt dan het opbrengen van media op deze substraten plaats, waarbij de navolgende secties worden gepasseerds reinigingssectie 34, droogsectie 36, spoelsectie 38, droog/oven-sectie 40, hechtvloeistofsectie 42, droogsectie 44, eerste coatingsectie 46, droog-35 sectie 48, ovensectie 50, afkoelsectie 52, tweede coatingsectie 54, droogsectie 56, ovensectie 58, afkoelsectie 60, derde coatingsectie 62, droogsectie 64, ovensectie 66, afkoelsectie 68.

Vervolgens komt zulk een substraat via overnamesectie 70 terecht in 8103979 » X Λ - 7 - een afvoerstation 72.

In het toevoerstation uordt met behulp van het vacuumblok 74 van het transportmechanisme 76 opvolgend een substraat 18 uit de cassette 78 aan-gezogen, naar overnamesectie 3D getransporteerd en vervolgens door het 5 vacuumblok losgelaten. De substraat komt daarbij terecht op een transport-baan 82, uaarbij de substraat onder stuukracht van het daarop uierkende stuumedium 90 via de nauue doorgang 80 in het inlaatgedeelte 84 van de cabine terechtkomt, zie tevens Figuur 4.

In deze sectie zijn daarbij aan ueerszijde van de doorgang 80 een aantal 10 segmenten 120 opgenomen, uaarin zich de kanalen 86 voor toevoer van stuumedium 90 .bevinden , zie tevens Figuur 7, en segmenten 210, uaarin vacuumkanalen 88 zijn opgenomen, zie tevens Figuur 11.

Door mechanisme 92 uordt telkenmale de cassette 78 omhoog beuogen voor opvolgende afnames van substraten 18.

15 De behandelde substraat komt terecht in uitlaatgedeelte 94 van de cabine 32, uaarin uederom aan ueerszijde van de doorgang 96 een aantal segmenten 120 en 210 zijn opgenomen, uaarin zich uederom groeperingen van toevoerkanalen 86 voor stuumedium 90 en vacuumkanalen 88 bevinden.

De substraat uordt vervolgens naar transportsectie 98 gastuud, zie 20 tevens Figuur 5.

Het is uenselijk in verband net productiesnelheid en verbruik van medium, dat in de cabine 32 opvolgende substraten met vlakke zijden tegen elkaar liggen. De rangschikking van de stuukanalen en stuukracht van de stuumedia zijn dan ook zodanig gekozen, dat in de inlaatsectie de combina-25 tie van krachten op de substraat groter is dan in de uitlaatsectie.

l/erder is het van belang, dat de doorvoersnelheid van de substraten practisch gelijk blijft. Hiertoe bevindt zich in de transportsectie 98 een tueetal geleide-inrichtingen 100 en 102, uaarvan de aanslagnokken 104 opvolgend vodr de uit het uitlaatgedeelte 94 komende substraat uorden ver-30 plaatst, uaarna deze nokken, uaartegen deze substraat komt te rusten, met behulp van aandrijfmechanisme 106 over de transportbaan 108 in de richting van de overname-sectie 110 uorden verplaatst.

Na het veruijderen van de aanslagen beueegt de substraat met behulp van stuumedium 90 naar deze overname-sectie 110.

35 Vacuumblok 112 van transportmechanisme 114 transporteert vervolgens deze substraat naar een vrije ligplaats 116 van de cassette 118.

De lengte van zouel het inlaatgedeelte 84 als van het uitlaatgedeelte 94 van de cabine is daarbij groter dan de diameter van de substraat.

8103979 S I * - - 8 -

Verder be\/inden de toevoerkanalen zich in een gunstige opstelling ervan slechts in de middensectie van de segmenten. Ook wordt in deze inlaat- en uitlaatgedeeltes een overdruk aan gasvormig medium onderhouden.

Aldus funger8n de in deze in- en uitlaatsecties gebrachte substraten 5 als slot, welke verhindert, dat verontreinigde buitenlucht de cabine kan binnentreden, teruijl tevens wordt belet, dat een grate hoeveelheid gasvormig medium kan ontsnappen.

In de Figuur 6 is een langsdoorsnede over secties aangegeven, uaarin opvolgend spoelen, drogen,'. opbrengen van hechtmedium, drogen, opbrengen 10 van de eerste coating, drogen en harden, opbrengen van de tweede coating en drogen/harden plaats vindt.

In de Figuur 7 is een dwarsdoorsnede van deze cabine aangegeven met een zijaanzicht van een tweetal identieke stapelsegmenten 120, uaarin de kanalen 122 voor een gasvormig stuwmedium zijn opgenomen, zie tevens Figu-15 ren 8 en 9. Dit medium is bij voorkeur hoog voorgefilterde N2 met een fil-terfijnheid, welke minder dan 0.3 micrometer bedraagt, doch kan elk ander gasvormig medium zijn met meer of minder fijnfiltering.

In de cabine-bovenwand bevinden zich voor elk segment een tueetal toevoerkanalen 126 en 128 en uaarbij de plaatkanalen 130 en 132 daarmede 20 corresponderen. Deze kanalen staan in verbinding met het relatief ruime eerste spreidkanaal 134, uaarop een groot aantal uiterst nauuie aftakkana— len 136 uitmonden en uaardoorheen het medium gestuud wordt naar afzonder-lijke spreidkanalen 138.

Vanuit deze kanalen 138 kan het medium via het gemeenschappelijke 25 uiterst nauue kanaal 140 naar.de substraat 18 uorden gestuud.

De kanalen 136 hebben een aanzienlijk hogere dooxstroomueerstand voor het medium dan de spleten 142 en 144 tussen de opvolgende segmenten en de substraat bij een gemiddelde hoogte van deze spleet, zie tevens de Figuren 15 en 16.

30 Aldus wordt beuerkstelligd, dat elk afzonderlijk spreidkanaal 138 een nagenoeg constante hoeveelheid medium krijgt'toegevoerd en welke hoeveelheid nagenoeg onafhankelijk is van de hoogte van de spleten 142 en 144·

Indien nu tijdens de werking van de inrichting onder invloed van tem-peratuursveranderingen of andere oorzaak plaatselijk de spleet 142 groter 35 is dan spleet 144, zoals in de Figuren 15 en 16 is aangegeven, dan wordt automatisch in spleetsectie 148 een aanzienlijk hogere stuwdruk opgebouwd dan in spleetsectie 146 en zulks in toenemende mate bij toenemende spleet-vernauwing, waarbij tenslotte bij een uiterst geringe spleetbreedte de druk 8103979 £ * - 9 - in de spleetsectie 148 de hoge stuudruk in het eerste spreidkanaal 134 benadert.

In de andere, dan u/ijde spleetsectie 146 valt de druk door de zeer geringe doorstroomueerstand terug tot een zeer lage uaarde.

5 Aldus is een drukverschil van 2 ato of meer tussen de beide sec- ties 144 en 146 mogelijk met zodanig grote, op de substraat 18 uitgeoefen- de krachten, dat automatisch de substraat naar een positie wordt gebracht, waarbij de krachtu/erking door het verschil in stuu/druk overeenkomt met de plaatselijke eigen doordrukkracht van de substraat.

10 Alle media u/erken mede om de beide kussens 20 en 22 te onderhouden, terwijl verder de opbouu» van de stapelsegmenten aan ueerszijden van de sub_ straat 18 gelijk kan zijn. Tevens is de dikte van de stapelsegmenten gering 2 en u/el bij voorkeur 0.2-0.4 mm, zodat op elke cm substraat-oppervlak en op elke zijde van deze substraat 200 en meer afzonderlijke stuu/krachten van de 15 media uerkzaam kunnen zijn.

Door het onderhouden van minimale temperatuursverschillen aan meere— zijde van de substraat en het toepassen van substraten met een zeer geringe onvlakheid, u/elke kleiner is dan 1 micrometer, is het dan ook mogelijk om de gemiddelde u/ijdte van de beide spleten op minder dan 3 micrometer te 20 houden en zijn de beschikbare, van elkaar gescheiden krachten van de media op deze substraat ruim voldoende om een instelling van de spleten op deze gemiddelde uaarde te houden.

Treedt toch nog bij een toenemende temeratuur van de media een aan-merkelijk temperatuursverschil op, zoals in Figuur 16 is aangegeven, dan 25 vindt door een versterkte doarvoer in de u/ijde spleet van warms gassen en een verminderde doorvoer van zulke gassen door de nauue spleet automatisch aan zijde 150 van de substraat een grotere temperatuurstoename per tijdseen-heid plaats dan aan de andere zijde 152 met als gevolg, dat de doorgebogen substraat zich u/eer gaat strekken tot een evenu/ichtspositie is bereikt.

30 0m de uiterst nauu/e, bij voorkeur uitgeetste kanalen in de segmenten 118 en 120 tegen slijtage te behoeden, zijn deze bedekt met een laag slijtvast materiaal 154, welke daarop langs chemische ueg kan zijn neergeslagen, zie tevens Figuur 9. Daartoe kan gebruik gemaakt worden van elk daarvoor ge-schikt materiaal.

35 Tevens is daarbij van de aanliggende plaat 156 tenminste de gedeeltes, u/elke een zijuiand van deze kanalen vormen, eveneens voorzien van zulk een slijtvast materiaal en kan dit ook het geval zijn met de einden 158 en 160. van deze platen.

8103979 _ » - 10 - •De pakketten 162 en 164 zijn ingesloten in het cabine-bovenstuk 166 en hst cabine-onderstuk 168, zie tevens Figuur TO. De segmenten hebben geslepen en gepolijste zijkanten met een zeer grote vlakheid, nauukeurige evsnuijdigheid en haaksheid met uiterst nauue toleranties in hoogte en 5 breedte ervan.

In de zijujanden 170 en 172 van deze cabinedelen bevinden zich de ka— nalen 178, 180, 182 en 184, teruijl in de andere uandsectie naastde kanalen 126 en 128 nog een kanaal 136 kan zijn opgenomen.

Deze kanalen strekken zich over een bepaalde lengte van de cabine 10 uit en kunnen elk apart op een toevoer van medium of afvoer voor dit medium zijn aangesloten.

- Tegen de boven- en onderuanden van de cabine zijn opzij van deze kanalen de afdichtstrippen 188 aangebracht en u/aarbij in gemonteerde toestand van elk segment zulk een segment onder veerkracht tegen deze afdichtstrip-15 pen liggen.

In de zijuanden bevinden zich rondom de kanalen de groeven 174, waarin

bij voorkeur cirkelvormige afdichtstrippen 176 zijn opgenomsn, zie tevens A

Figuur 10 .

l/erder zijn op elk segment de pasvlakken 190 en 192 aangebracht en 20 uaarbij deze in gemonteerde toestand van de cabine tegen passtukken 194 en en 196 drukken en de hoogte van deze passtukken de spleet 198 tussen de .pakketten bepaalt.

Opzij van deze passtukken zijn de afdichtstrippen 200 en 202 aangebracht, zodat na het met behulp van de boutverbindingen 204 vastgezet zijn 25 van de cabinedelen de benodigde lekdichtheid van de cabine 32 verzekerd is.

In een andere uitvoering is het ook mogelijk am deze afdichtstrippen ueg te laten en verschaffen de passtukken- reeds een voldoende afdichting,

Binnen het kader van de uitvinding kunnen deze passtukken een aan-zienlijke omvang hebben en zich over de gehele lengte van de cabine uitstrek-30 ken, Verder kan daarbij elk van deze tuee cabinederen 166 en 168 uit samen-gestelde secties bestaan. Tevens kan ook het cabinebovenstuk 166 langs al dan niet hydraulische ueg en rechtgeleleidingen vanuit geopende stand voor inspectie van het inwendige van de cabine naar gesloten positie uorden ge-bracht, uaarbij dit bovenstuk onder grote kracht op het onderstuk 168 drukt. 35 Het is daarbij ook fflogelijk, dat de passtukken gedeeld zijn met een boven— en onderhelft en uaarbij in aangebrachte toestand van de tuee cabine-helften de pasvlakken op elkaar drukken, Tevens kan een gedeelte van elk van de cabinestukken 166 en 168 fungeren als passtuk.

8103979 +- * - 11 -

In de Figuur 11 is een segment 210 aangegeven, uiaarin een ruim vacuumkanaal 212 is opgenomen, zie tevens Figuur 12. De einden van dit kanaal corresponderen met de kanalen 178 en 182, uelke zich in de cabine-delen 166 en 168 bevinden. Dit kanaal 212 is via een groot aantal uitge-5 etste verbindingskanalen 214 verbonden met een ondiepe, uitgeetste uit-monding 216. Opstaande uandsecties zorgen daarbij voor een op een constants breedte houden van de kanalen 214 en 216.

In deze kanalen is uederom een vernauuing 218 aangebracht om een te gemakkelijk afvoeren van medium via zulk een kanaal te voorkomen. De door 10 deze vernauuing beuerkstelligde doorstroomueerstand is van groot belang voor de in de inrichting opgenomen hoogvacuumkanalen 334, zie Figuur 35 en 338, zie Figuur 38. Daarbij kan in de spleet tussen de substraat en het segmentengebied random de uitmonding van dit vacuumkanaal 214 een hoog vacuum uorden beuerkstelligd en onderhouden, teruiijl toch bij andere uitmondin— 15 gen van deze groep van kanalen zich geen substraatsectie behoeft te bevinden, zoals periodiek het geval is bij nagenoeg cirkelvormige substraten.

Zulks, omdat de doorstroombfeerstand in de vernauiuing 218 zo groot is, dat de toch al door de in de medium-toevoer opgenomen doorstroomtueerstanden beperkte medium-toevoer naar zulk een relatief open ruimte moeilijk door 20 zulk een vacuumkanaal 214 uordt ueggetrokken.

Aldus uiordt mede beuerkstelligd, dat in de gebieden met substraat-gedeeltes boven de uitmondingen zelfs een hoger vacuum uordt getrokken dan in de cabineruimte, uaarin zich geen substraatsectie bevindt.

In de Figuur 13 is het segment 220 aangegeven,*uaarin toevoer van 25 vloeibaar medium plaats vindt. Het daarin opgenomen hoofdkanaal 222 is daarbij met zijn uiteinde 224 verbonden met het kanaal 180 van de cabine— delen 166 en 168. Dit kahaal is via een aantal zaer nauwe kanalen 226 verbonden met afzonderlijke spreidkanalen 228, uelke op hun beurt verbonden zijn met het uiterst nauue gemeenschappelijke kanaal 230, zie tevens de 30 Figuur 14.

Daarbij zorgen een groot aantal kleine uandsecties 232 voor het op een constante breedte houden van dit kanaal 230, indien een naastliggende segment tegen dit segment drukt.

Ook deze kanalen zijn voorzien van een slijtvaste laag 234, hetgeen 35 eveneens het geval is met de daarmede corresponderende gedeeltes van het naastliggende segment.

Binnen het kader van de uitvinding kan het aantal kanalen 228 aan-merkelijk groter zijn en in opvolgende secties versprngen zijn opgesteld.

8103979 *1 * * - 12 -

In de Figuur 17 is een cabine 32’ aangegeven, u/aarbij slechts in hat ondergedeelte 168' ervan stapelsegmenten zijn aangebracht onder de vorming van diverse secties voor reinigen, drogen, spoelen, oven drogen en coating.

Het bovengedeelte 166’ van de cabine bestaat daarbij uit een geleide-5 plaat 236, uaarlangs de substraten 18 verplaatsbaar zijn,

Deze uitvoering is geschikt voor minder nauukeurige behandeling van de substraten of andere objecten.

In de Figuur 18 is de cabine volgens Figuur 17 tueer aangegeven, uaar-bij in het bovengedeelte 166' echter ook de droog, oven— en afkoelsecties 10 zijn opgenomen. Hierdoor uordt een kromtrekken van de substraten 18 als gevolg van te grote temperatuursverschillen vermeden.

Binnen het kader van de uitvinding kunnen de cabinedelen omgedraaid zijn en zijn soortgelijke uitvoeringen mogelijk.

In de Figuur 19 uordt het bovengedeelte van de cabine 321’* gevormd 15 door de draaitafel 238, uaarop een aantal vacuumhouders 240 zijn gemonteerd voor het erop vastzuigen van de substraten 18. In het ondergedeelte bevin-den zich dan uederom de sectie 242 voor de behandeling van de substraten.

Met behulp van έέη of meerdere hoogtestel-inrichtingen 244 per va-cuumhouder uordt daarbij de geuenste afstand van de substraat ten opzichte 20 van de in de secties opgenomen segmenten verkregen en onderhouden.

In de Figuur 20 is daarbij de vacuumhouder 240' onder krachtuerking van de drukveer 246 tegen de aanslagen 248 van de draaitafel 238' gedrukt.

De uit de secties 242’ stromende secties drukken de substraat nu over enige afstand tegen de uerking van de veer 246 in naar boven met het onder-25 houden van de geuenst uordende nauue spleet tussen de secties en de substraat 18,

In de Figuur 21 is sen langsdoorsnede van een gedeelte van de ingang 80 en een reinigingssectie 34 aangegeven. De doorgang uordt gevormd door de tuee eindpakketten 256, uaarin meerdere toevoerkanalen 86 voor gasvormig 30 medium 90 en afvoerkanalen 88 zijn opgenomen. De door spleten 42 en 44 stromende gassen onderhouden daarbij gaskussens 258 en 260 en dragen tevens bij aan de stuukracht, uelke op de substraat 18 in de beuegingsrichting ervan uordt uitgeoefend.

\/ervolgens is tussen opvolgende segmenten 12 sen groot aantal combi-35 naties van toevoerkanalen 262 voor al dan niet uarm vloeibaar reinigings-medium 264, toevoerkanalen 266 voor gasvormig medium 268 en tussenliggende afvoerkanalen 270 opgenomen, zie tevens Figuren 22 en 23.

Het via kanaal 262 onder hoge stuudruk toegevoerde reinigingsmedium 8103979 % - 13 - 264 korot al wervelend stromend in spleetsectie 272 naar hat vacuumkanaal 270 in heftige beroering met het substraat-opparvlak 274, waardoor zich daarop bevindende verontrexnigingen warden losgslaten en in de stroom. worden medegenomen.

5 De via kanaal 268 toegavoarde gassen stroman in tegengestelda rich- ting via splaatsactie 276 eveneens naar hat vacuumkanaal 270 en drijven daarbij hat rainigingsmedium van'de substraat af en naar dit afvoerkanaal.

Na hat passeren van aen groot aantal combinatias zijn alle verontrei-nigingen van het substraat-oppervlak 274 verwijderd.

10 In Figuur 24 is aangageven, hoa da substraat 18 vervolgens in aen droogsactie 36 terecht komt, uelke sectie bestaat uit aen stapelpakket 286, waarbij aen aantal combinatias. van tussen opvolgende segmenten opgenomen toavoarkanalan 278 voor het gasvormige medium 280 an vacuumkanaal 282 zijn opgenomen· 15 Droging»van de substraat 18 vindt plaats met behulp van de in spleet— sectie 284 erlangs strijkende, bij voorkeur warme stroom gas 280, welke in hat toevoerkanaal op circa 100° C wordt gehouden.

Het stapelpakket 286 kan ook deel uitmaken van de spoelsectie 38, waarbij via da kanalen 262 een stroom spoelmedium 288, zoals geda-ionisaard 20 water, alcohol of verdunning. wordt gestuwd.

In de Figuren 25 en 26 is ean andere groapering van in de reinigings-sactie 34 of spoelsectie 36 opgenomen kanalen 262', 266’ an 270’ aangege-ven. Daarbij stroman da ingebrachte gassen 268 via spleet 290 naar het af— voarkanaal 270'en het via toevoerkanaal 262' onder lags druk tosgevoerd 25 reinigingsmedium 264 of spoelmedium 288 in de gasstroom wordt gestuwd.

De in deze spleet 290 langs het substraat-oppervlak 274 wervelende, al dan niet warme gasstroom met verstovan, al dan niet verwarmde reinigings— vloeistof zargen daarbij voor een goede verwijdering van verontrexnigingen van dit oppervlak· 30 Binnen het kader van de uitvinding zijn andere rangschikkingen van da kanalen mogelijk, zoals de combinaties van uitsluitend toevoerkanaal voor vloeibaar medium en vacuumkanalen. Daarbij mogelijk slechts in het laatste gedeelte van deze sectie dan de toepassing van toevoerkanalen voor gas-vormig stuwmedium.

35 In de Figuur 27 is aangegeven, hoe het einde 292 van de substraat 18 zojuist de tegenover elkaar liggende afvoerkanalen 262 is gepasseerd en hoe het reinigings- of spoelmedium 264/288 slechts in zeer beperkte mate op de zijkant 294 van deze substraat terecht kan komen.

8103979 * t » * - 14 - in Figuur 28 is het sinde 292 van ds substraat voorbij de tegenover elkaar liggande toevoerkanalen 266 voor gasvormig medium 268 gekomen en uaarbij dezs gasstromen terecht komen in de cabineruimte 296, uaarin een onderdruk heerst om daaruit uederom via vrij gekomen vacuumkanalen te uor-5 den afgevoerd.

Doordat het uiterst nauue oabine-gedeelte ter plaatse van deze rei-niging- en spoelsectie verder geen zich verplaatsend deel bevat en de media zelfs plaatselijk de cabine-zijuand mogen bedekken, kunnen het rei-nigingsmedium 264 en spoelmedium 288 ook onder zeer hoge druk naar de 10 substraat 18 uorden gestuud, zoals in Figuur 29 is aangegevsn. Deze me- thode is zeer doeltreffend om de in de substraat 18 aangebrachte kuilen 298 te reinigen of schoon te spoelen.

In Figuur 30 is een gedeelte van de ovensectie 50 aangegeven, uaarbij via tegenover elkaar liggende toevoerkanalen 300 uarm tot zeer warm gas-· 15 vormig medium 302 naar de substraat 18 uordt gestuud, in de spleten 304 en 306 door uarmte-overdracht opuarming van de substraat via het erlangs stromende gas plaats vindt en vervolgens via afvoerkanalan 308 afvoer van deze gassen plaats heeft. Oe ovensectie bestaat daarbij uit een groot aantal van deze toe- en afvoerkanalen.

20 . De opuarming van de substraat geschiedt zeer geleidelijk en aan tuee zijden tegelijk met minimale temperatuursverschillen. Daarbij de gebruikma-king van de In Figuur 7 aangegeven segmenten 118 en 120 voor het verkrijgen van een zeer groot aantal van nagenoeg van elkaar gescheiden gasstromen naar de substraat om mede de in de Figuren 15 en 16‘ aangegeven spleetver-25 anderingen te miniceren,

De gassen zijn reeds buiten de cabins op de hoge temperatuur gebracht, Het is echter ook mogelijk, dat een gehele of gedeeltelijke opuarming van gassen in de cabine plaats vindt.

In de Figuren 31 en 32 is daartoe in segment 310 van isolatiemateri-30 aal een veruarmingsspiraal 312 opgenomen en uaarbij aan ueerszijde van dit segment de segmentdelen 314 en 316 zijn gelijmd. Ook kan zulk een spiraal rechtstreeks in een uitsparing van een metalen segment geisoleerd zijn opgenomen.

De uarmte-overdracht naar de substraat is zeer efficient en vindt 35 zeer snel plaats, doordat het volume van de substraat veelal zeer gering is door zijn minimale dikte. Verder treffen de uarme gassen door de uerve?· lingen ervan rechtstreeks al het achtergebleven vocht op de substraat,

Aldus kan zelfs in een fractie van een seconde zulk een plaatselijke 810397» - 15 - opuarming van de substraat plaats vinden.

Ooordat de temperatuurstoename van de substraat aan tu/ee zijden plaats vindt met geen of toelaatbaar geringe vervormingen van. deze substraat kar» het voorgedeelte van de substraat reeds deze ovensectis hebben gepassserd, 5 het middengedeelte zich in deze ovensectie bevinden, teruijl het achterge-deelte zich nog in de spoelsectie ophoudt, zoals in de Figuur 2 is aange-geven.

Aldus zijn de afmetingen van de inrichting 10 in ds beuegingsrichting van de substraten zeer beperkt, mede omdat de secties veelal geen grotere 10 lengte dan 2-5 cm hebben.

Oe afkoelsectie 52, zie Figuur 32, bestaat uit hetzelfde pakket als die, ii/elke in de droogsectie 36 volgens Figuur 24 is opgenomen en uaarbij de langs de substraat stromende gassen voor een geleidelijke, doch zeer snelle plaatselijke afkoeling van de substraat zorg dragen.

15 In de Figuur 33 is een gedeelte van de hechtvloeistofsectie 42 aange— geven. Via kanaal 318 vindt toevoer van zulk een hechtvloeistof 320 plaats en stroomt deze in spleetsectie 322 langs de substraat naar het afvoerka-naal 324.

Ook hier uordt het van de substraat veruijderen van het teveel aan 20 hechtvloeistof verkregen met behulp van de via kanaal 326 en spleetsectie 328 naar het afvoerkanaal 324 gestuude gasvormige medium 330.

De hechtvloeistof dient om een goede hechting van de vervolgens aan te brengen coating op het substraat-oppervlak te verkrijgen. Deze hechtvloeistof als adhesie-promoter kan eventueel een verdunning voor deze coa-25 ting zijn. Verder bestaat deze sectie al dan niet uit een aantal van deze combinatie van kanalen.

In de Figuur 34 zijn de kanalen anders gegroepeerd met achtereenvol— gens toevoerkanaal 318* voor de promoter, toevoerkanaal 326' voor het gas-vormig medium en het afvoerkanaal 324’. Daarbij een zich in de richting van 30 het afvoerkanaal veruijdende spleetsectie 332.

0m een doeltreffende opbrenging van deze vloeistof op een geprofi-leerd oppervlak van de substraat te bewerkstelligen zonder insluiting van gasdelen, is het mogelijk om de in Figuur 35 aangegeven sectie 42" toe te passen. Daarbij uordt telkenmale voor het via kanaal 318" opbrengen van 35 vloeistof 320 op de substraat 18 met behulp van het hoogvacuumkanaal 334 • een zeer hoog vacuum in de spleetsectie 336 getrokken.

De vloeistof is nu in staat om alle kuilen in het substraat-oppervlak op te vullen en uaarbij met behulp van een via kanaal 326" bij voorkeur uarm e 8103979 ·** - 16 - stroom. gas 328 uitdrijven van verwijderbaar vloeibaar mrdium an opdrogen van de nog op de substraat achtergableven film van daze vloeistof.geschiedh Hat is daarbij mogelijk, dat zulk een extra kanaal 334 zich tevens als hoogvacuumkanaal- na kanaal 326 of 326” bevindt voor het verder onttrekkan 5 van verdunning, uelke dan door da hoge onderdruk in dampvormige toestand is gebracht.

In de Figuren 36, 37 en 38 is de eerste coatingsectia 46 aangegeveh.

De combinatie van kanalen bestaat hierbij opvolgend uit: hoogvacuumkanaal 338, kanaal 340 voor toevoer van coating 342, afvoerka— 10 naal 344 en kanaal 346 voor toevoer van al dan niet warm gasvormig medium 348. Vervolgens al dan niet ueer een hoogvacuumkanaal 338.

In de spleetsectie 350 uordt door het hoogvacuumkanaal 338 een hoog vacuum getrokken, uaardoor in de kuilen 352 van de substraat 18 geen of nagenoeg geen gasvormig medium meer is achtergebleven* 15 De via kanaal 340 toegevoerde coating 342 vult nu deze kuilen zonder insluiting van een of ander medium, hetgeen van het grootste belang is voor een uiteindelijk regelmatige film van coating. De coating vult tevens de gshele spleetsectie 354 tot aan het vacuumkanaal 344·

Het via kanaal 346 toegevoerde gasvormige medium 348 stroomt in tegen-20 gestelde richting via spleetsectie 356 naar dit afvoerkanaal onder afstro— ping vanaf het substraat-oppervlak 358 van het teveel aan coating. Deze afstroping van coating uerkt samen met het micro-meniscus effect van de coating 342, uelke als kolom zich langs de u/andsectie 360 van het afvoerkanaal 344 verplaatst en door het vacuum in dit kanaal van de substraat en 25 uit spleetsectie 354 uordt getrokken. Daarbij uordt door seze kolom coating een trekkende cohesie-krachtuerking uitgeoefend op de dunne coating laag, uelke op de substraat is achtergebleven·

Afhankelijk van de viscositeit van de coating blijft daarna een meer of minder dikke laag coating op de substraat achter. Zo zal bij een hoog va-30 cuum in kanaal 344 en een zeer lage viscositeit van de coating ook in de

A

kuilen slechts een zeer dunne film coating achterblijven, zie Figuur 37 ·

Deze coatingsectie 46 is gecombineerd aangegeven met de daarop volgen-de droog-, oven- en afkoelsecties 48,50 en 52. De aantallen combinaties van kanalen kunnen daarbij varieren naar gelang de behoefte aan droging en har-35 ding van de op de substraat gebrachte laag coating. Door ook hierbij warm gasvormig medium toe te passen, uaardoor vooral een zeer dunne film coating zeer snel uordt veruarmd en een hoog vacuum toe te passen in de afvoerkana-len met door sterke verlaging van het kookpunt van de verdunning in de 8103979 - 17 - coating uordt dezs verdunning zeer versneld uit da film coating verdampt. an afgezogen* Aldus uordt sen uiterst snelle droging van da film coating verkregen.

In de daarop volgende tueede coatingsectie 54 met identieke vacuum-, 5 toe— en afvoerkanalen vindt de opbrenging van een tueede laag coating plaats, uaarna uederom in de daaropvolgende secties' 56, 58 en 60 met be— hulp van toegevoerd gasvormig medium droging, harding en afkoeling van de opgebrachte tueede laag coating geschiedt·

In Figuur 39 is nog uederom een andere uitvoering 46* van de coating-10 sectie aangegeven, uaarbij via kanaal 362 een verdunning 364 voor de coating 342 in al dan niet dampvormige of vernevelde toestand naar de stroom gasvormig medium 348 uordt geleid, uelke door spleetsectie 356* naar bet af-voerkanaal 344’ stroomt. Oeze verdunning, uaarvan een voldoende hoeveelheid in gecondenseerde vorm al dan niet als film op de coating kan inuerken, 15 helpt daarbij mede om van de toplaag van de op de substraat aangebrachte coating dan sterk verdunde coating af te stropen*

In Figuur 40 zijn opvolgende coatingsecties 46, 54, 62 en 366 aangegeven met telkenmale daarop volgende droog-, oven en afkoelsecties. Daarbij de al dan niet toepassing van extra verdunning in de stroom bij voorkeur uarme 20 gasvormig medium.

Het is mogelijk om met behulp van coating met een hoge viscositeit een volledige vulling van de in de substraat aanuezige kuilen te beuerkstelli— , , . . λ.Α, B, C, D, E .

gen, hetgeen xn de Fxguren 41 9 9 7 9 xs aangegeven.

A

In de Figuur 41 is de kuil 368 voorbehandeld en is deze in een va-25 cuumgebied terecht gekomen.

In sectie 46 heeft de opbrenging van de eerste laag coating 370 plaats

B C

gevonden, zie Figuur 41 , in sectie 54 de tueede laag 372, zie Figuur 41 , in sectie 64 de derde laag 374 bovenop de tueede laag, zie Figuur 41^ en in sectie 366 de vierde laag 376 op de derde laag, zie Figuur 41^.

30 Hierdoor is zulk een kuil uiteindelijk geheel gevuld geraakt met de coating en is een nagenoeg glad oppervlak van de coatingfilm op de substraat 18 verkregen.

De uiterst dunne filmen coating uorden vooral ook bereikt door een zeer lage snelheid van het gasvormig medium in de spleet, een zeerlage vis-35 cositait van de coating en de toevoer van verdunning 364, uelke medehelpt om coating van de toppen van het substraat-oppervlak te veruijderen. Het aantal lagen kan daarbij zelfs nog aanziehlijk grater zijn met de dan uiterst korte droogtijden per laag, uelke minder dan een seconde kunnen bedragen.

8103979

», * I

- 18

Ook kan door toepassing van coating met een zeer lage viscositeit , hoogvacuumkanalen en al dan niet aparte toevoer van verdunning in zulk een kuil de uiteindelijke film coating zeer gelfjkmatig op de wanden van deze kuil zijn aangebracht.

5 In de Figuur 42 is de inrichting 10 nog voorzien van een op deze coatingsecties volgende coatingsectie 378, waarbij op de vierde laag 376,

A

zie Figuur 43 , een uiterst dunne coatinglaag 380 is aangebracht, zie Figuur 43®.

Aldus is het mogelijk om over een trajectlengte van slechts 20-40 cm 10 op de substraat een groot aantal opvolgende coatings aan te brengen.

Door het daarbij de dikte van elke apart opgebrachte film coating uiterst dun te houden en wel mogelijk slechts 0.2 micrometer of minder en vervol-gens droging en harding te bewerkstelligen, kan een perfects eindfilm wor-den oerkregen, waarvan de kwaliteit en homogeniteit veel hoger is dan bij • 15 de bestaande installaties, omdat: 1. geen verontreinigingen meer in de coating aanuezig zijn; 2. geen massale ontsnappingen van in de coating ingesloten lucht- of gas— delen mogelijk zijn? en 3. de ontsnappingsweg voor het tijdens het drogen en harden uit de coating 20 verdampte verdunningsmedium .veel korter is,

Tevens is de prijs van de installatie en van het aanbrengen van de coating slechts een fractie van die bij de bestaande installaties. Ook heb-ben de uiterst critische substraten voor de micro-electronica vooral in de micrometer dikte voor de aan te brengen coating een veel geringere uitval.

25 In de Figuur 44 is een coatingsectie 46'’ aangegeven, uiaarbij de ver dunning reeds voordien in vernevelde of dampvormige toestand in het gasvor-mige medium 348 is gebracht. Tijdens het strijken van dit met verdunning ver-zadigde medium over da opgebrachte coating, zie tevens Figuur 45, wordt de toplaag van deze coating verdund en kan deze nabij de uitmonding van het 30 afvoerkanaal 344" worden verwijderd.

In de Figuur 46 is een coatingsectie 46,M aangegeven, uiaarbij via ka-naal 382 water of andere niet verdunnende vloeistof voor de coating wordt gestuwd naar spleetsectie 356" 1 en deze vloeistof als uiterst dunne film 384 op de reeds aangebrachte coatinglaag 342- neerslaat en mede met behulp 35 van het gasvormige medium 348 naar het afvoerkanaal 34411’ wordt gestuwd en gezogen, zie tevens Figuur 47. Deze film helpt daarbij om bewBgend als mas-sieve laag over de opgebrachte coatinglaag 386 coating van deze laag te verwijderen.

8103979 - 19 -

Sinner) het kader van de uitvinding zijn nog andere varieties in de kanalen van de coatingsectie magelijk.

In de Figuur 48 is in de inrichting een sectie 388 opgenomen, uaarbij een ontuikkelingsvloeistof naar en over da substraat 18 uordt geleid* In 5 deze sectie uordt gebruik gemaakt van een aantal opvolgende gelijke of na-genoeg gelijke combinaties van kanalen. Zulk een combinatie bestaat daarbij opvolgend uit een hoogvacuumkanaal 338, kanaal 390 voor de toevoer van ont— uikkelingsvloeistof 392, een tueetal kanalen 394 en 396 voor het toevoeren van gasvormig medium 398 en afvoerkanaal 400. Aan de bovenzijde van de ca- * 10 bine zijn soortgelijke combinaties opgenomen met het stuuen van ontuikke-lingsvloeistof of ander medium naar de substraat 18*

De combinatie van gasvormig medium en ontu/ikkelingsvloeistof stroomt in de spleetsectie 402 al u/ervelend langs het substraat-oppervlak# Door het getrokksn vacuum vullen de kuilen 404 van deze substraat geheel met deze 15 vloeistof en uervelt daarin mede door de erop uitgeoefende stuukracht*

Verder draagt het onder hoge druk in de spleetsectie 406 gestuu/de gasvormige medium zorg voor een verdere zeer sterke uerveling van deze vloeistof en vooral in de kuilen 404#

Door het opvolgend telkenmale herhalen van de cyclus uordt tenslotte 20 een volkemen veruijdering van veruijderbare coating van de substraat verkre— gen* Hierdoor is een bijzonder doeltreffende veruijdering van ueg te uassen, .oplosbaar positief of negatief photo gevoelige coating materiaal mogelijk geuorden, uelke met geen bestaande installatie op zo'n grondige uijze kan geschieden* 25 In de Figuur 50 is nog uederom een detail van de uitmonding 408 van het kanaal 388 voor de ontuikkelingsvloeistof 390 aangegeven, uaarbij deze ontuikkelaar in vloeibare of vernevelde toestand onder zeer hoge druk en hoge snelheid naar de substraat uordt gestuud. Ook kan een stroom gasvormig medium als drager fungeren voor deze ontuikkelingsvloeistof in al dan niet 30 vernevelde toestand*

In deze uitmonding is een vernauuing 410 aangebracht met vervolgens een veruijding 412. Als gevolg daarvan vindt zelfs een nog snellere en doeltref-fender uituassen van veruijderbare coating uit de kuilen 404 plaats*

Qmdat ook hier de uiterst nauue cabinesectie geen enkel beuegend deel 35 bevat mag de van tuee zijden op de substraat gestuude media deze cabinesectie als uolk geheel vullen. Een volgende sectiegedeelte 414, zie tevens Figuur 48, bevat dan uederom een aantal combinaties van toevoerkanalen 416 van gasvormig medium 418 en vacuumkanalen 420 voor het veruijderen van deze uolk* 8103979 -20-.

A

Γη de Figuur 51 is zulk sen uolk van ontwikkelingsvloeistof 390 sn gasvormig medium 398 in de cabinesectie 422 aangegeven, na het passeren van het toevoerkanaal 390 door de substraat 18 en is deze molk bezig zich te verplaatsen naar reeds vrij gekomen afvoerkanalen.

B

5 In de Figuur 51 is getoond, hoe deze molk verder met bahulp van toegevoerd gasvormig medium 418 naar het hoogvacuumkanaal 420 uiordt ge-stumd·

Na het doorlopen van deze sectie komt da substraat terecht in een spoelsectie, maarin mederom έέη of meerdere combinaties van kanalen voor 10 toe- en afvoer van dit spoelmedium zijn opgenomen*

In Figuur 52 is een sectie 424 van de inrichting aangegeven, uiaarin een dopant als vloeistof of als gasvormig medium onder zeer hogs druk naar de substraat uordt gestumd en zulks uederom aan tuiee zijden van de sub— straat 18. Via kanaal 426 wordt dopant 428 naar deze substraat gestumet’en 15 merkt daarbij in de spleetsectie 430 in op het oppervlak van de substraat gedurende de ueg ervan naar het afvoerkanaal 432.

Ook hier mederom bij voorkeur eerst het met bahulp van een niet aangege— ven hoogvacuumkanaal megzuigen van gas of lucht. Verder vindt via kanaal 434 toevoer van een gasvormig medium 436 plaats voor het in spleetsectie 438 20 zoveel als nodig vermijderen van residue dopant 440 van het substraat-opper— vlak en zulks vooral uit de kuilen 442. Dit gasvormig medium helpt daarbij mede om in de uitmonding van het afvoerkanaal 432 de afvoer van dopant naar dit kanaal te doen plaats vinden.

Deze combinatie kan zich in de sectie opvolgend herhalen. Tevens kan 25 na kanaal 434 wederom een hoogvacuumkanaal zijn opgenomen.

In de Figuur 53 is nog uederom een alternative uitvoering 424’ van deze sectie aangegeven. Daarbij in de boven- en onderhelft van de cabine de her— haalde combinatie van hoogvacuumkanaal 444, kanaal 426* voor toevoer van dopant 428, een 4-tal kanalen 446, 448, 450 en 452 voor gasvormig medium 30 436 en een hoogvacuum afvoerkanaal 454.

In de zich in de richting van het afvoerkanaal veru/ijdende spleetsectie 456 uordt dopant in heftige beroering gehouden en uerkt aldus in zeer ster— ke mate in op het substraat-oppervlak. Zulks in het bijzonder boven de uit-mondingen van de kanalen van het gasvormige medium.

35 Indien uitsluitend aan ύέη zijde van de substraat dopant in aanraking met de substraat mag komen, dan kan aan de andere zijde can de substraat media uorden toegepast, uelke een nagenoeg gelijk stuui-effect hebben, zodat aldus aan ueerszijden van de substraat een mediakussen uiordt onderhouden.

8103979 - 21 -

Ds dopantsectie kan onder andere zijn opgenomen in een inrichting met tenminste de opvolgende sectias : toevoer· ,ontwikkelingsvloeistof, spoelmedium, droger, dopant, oven en afvoer.

5 Als dopant kan onder meer arsenicum en fosfor warden toegepast mat de toevoer van nauukeurige volumes per tijdseenheid onder al dan niet hoge druk.

Een van de voren omschreven medium-opbrengsystemen is ook te ge— bruiken voor plasma etsen, magnetron sputtering $n het opbrengen op de 10 substraten van silicon nitride. Tavens kan in de inrichting tenminste Μn sectie zijn opgenomeb, uaarin belichting van de substraten via een masker plaats kan vinden.

In Figuur 54 is nog een cabins 460 met draaitafel 462 aangegeven, en uaarbij op deze tafel de opvolgende vacuumhouders 464 zijn opgenomen voor het 15 erop vastzuigen van substraten 18, 0m een zo goed mogelijk vastzuigen te verzekeren, is het noodzakelijk om de substraten aan de zijde van vastzuiging zo grondig mogelijk te reinigen.

Dit geschiedt nu in het toevoerstation 466, uelke eveneens een ca— bine 468 en draaitafel 470 bevat en uaarbij in een reinigingsectie 472 het 20 reinigen van dit oppervlak plaats vindt met het reinigingssysteem volgens de uitvinding en in sectie 474 uederom droging van de substraat plaatsvindt.

8103979

Claims

2. Inrichting, uiaarin de uerkuijze volgens Conclusie 1 is opgenomen, met het kenmerk, dat deze een nauue doorvoer voor substraten bevat en uiaarbij aan tenminste 66n zijde van deze doorvoer in de richting ervan op-volgende mon’itukken voor toe- en afvoer van medium in een pakket van sta- 15 pelsegmenten zijn opgenomen,
3, Inrichting volgens Conclusie 2, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat de substraten zich er rechtlijnig doorheen kunnen beuegen, in de middensectie zich een over de gehele lengte ervan uitstrek-kende doorvoer voor deze substraat bevindt en tenminste I6n zijde van deze 20 doorvoer gevormd wordt door de eindvlakken van een aantal,in de richting van deze doorvoer naast elkaar gelegen stapelsegmenten, 4* Inrichting volgens Conclusie 3, met het kenmerk, dat van een aan-tal segmenten in tenminste 66n zijuand ervan uitsparingen zijn opgenomen odder de vorming van tenminste eln toe- of afvoerkanaal voor medium,
5. Inrichting volgens Conclusie 4, met het kenmerk, dat daarbij ten minste een deel van de zijuand van deze kanalen gevormd uordt door een ter-plaatse op de segmenten opgebrachte laag hard materiaal.
6, Inrichting volgens Conclusie 5, met het kenmerk, dat daarbij de gehele segment bedekt is met sen opgebrachte laag hard materiaal. 30 7, liJerkuijze volgens de Conclusie 1,. met het kenmerk, dat daarbij, ge- zien in de beuegingsrichting van de substraat, via opvolgende mondstukken voor combinaties van toe- en afvoer van media mediumkussens uorden onderhouden tussen tenminste een deel van deze mondstukken en de substraat,
8, Inrichting, uaarin de uerkuijza volgens Conclusie 7 uordt toegepast, 35 met het kenmerk, dat mondstukken van opvolgende combinaties van toe- en afvoer van media zijn opgenomen in een stapelpakket, uelke in de richting van de doorvoer voor de substraten gestapeld is,
9, Inrichting volgens Conclusie 8, met het kenmerk, dat daarbij het 8103979 - 23 - stapelpakket zich uitstrekt van da toevoersectie voor da substraten tot de afuoersectie voor daze substraten· 10. li/erkwijze volgans Conclusie 7, met het kenmerk, dat daarbij de mediumkussens zodanig zijn geformeerd en blijven gehandhaafd, dat tanminsta 5 aan Sin vlakke zijde van deza substraten de middensactie ervan vrijblijft van aanraking met de segmentsecties rondom deze mondstukken*
11· Inrichting, waarin de uerkwijze volgens Conclusie 10 wordt toege-past, met het kenmerk, dat daarbij in meerdere van deze segmenten alle daarin opgenomen mondstukken via een aantal van elkaar gescheiden kanalen 10 in zulk een segment verbonden zijn met een gemeenschappelijk kanaal, welke eveneens in zulk een segment is opgenomen.
12. Uerkwijze volgens Conclusie 10, met het kenmerk, dat daarbij de toevoer van media naar deze mondstukken zodanig sterk is, dat deze toevoer niet door een passerend substraatgedeelte kan warden onderbroken· 15 13· Inrichting, waarin de uerkwijze volgens Conclusie 12 wordt toege- past, met het kenmerk, dat tenminste voor media, welke tenminste dienst doet voor het onderhouden van de mediumkussens, in tenminste elk toevoer-kanaal ervoor een vernauwing is opgenomen.
14. Inrichting volgens Conclusie 13, met het kenmerk, dat daarbij van 20 deze vernauwing de doorstroomweerstand groter is dan die van de g'pleet- ruimte opzij van de substraat tussen de opvolgende mondstukken van toe- en afvoerkanalen by een gemiddelde hoogte van deze spleetruimte.
15. Uerkwijze volgens Conclusie 10, met het kenmerk, dat daarbij verder de mediumkussens zodanig zijn geformeerd en blijven gehandhaafd, dat aan 25 deze zijde over de gehele lengte van de doorvoer tussen toe- en afvoersec-tie het gehele vlakke substraat-oppervlak vrijblijft van aanraking ervan met de uanden van de opvolgende segmenten·
16. Uerkwijze volgens Conclusie 15, met het kenmerk, dat daartoe in tenminste iin segment via een aantal naast elkaar gegroepeerde en van el- 30 kaar gescheiden kanalen toegevoerd medium zorg draagt voor een aantal in dwarsrichting van de toevoer aan elkaar grenzende mediumkussens·
17. Inrichting, waarin de uerkwijze volgens Conclusie 16 wordt toege-past, met het kenmerk, dat in tenminste Sen stapelsegment naast elkaar ge-legen, van elkaar gescheiden aftakkanalen zijn opgenomen, welke aan de ene 35 zijde ervan verbonden zijn met een eveneens in dit segment opgenomen gemeenschappelijk toevoerkanaal en aan de andere zijde ervan verbonden zijn met tenminste Sen mondstuk.
18. Uerkwijze van de inrichting volgens Conclusie 17, met het kenmerk, 8103979 - 24 - dat daarbij in zulk een segment op de toevoerzijde van elk van dezs aftak-kanalen een tenminste nagenoeg gelijke stuwdruk staat*
19· Inrichting volgens Conclusie 17, met het kenmerk, dat in elk van deze aftakkanalen een doorstroomueerstand is opgenomen, uelke tenminste 5 nagenoeg gelijk is aan die van de af te leggen ueg voor het medium langs de substraat tussen de opvolgende mondstukken van toe- en afvoer bij e^n gemiddelde spleetuijdte voor deze ueg.
20. Inrichting volgens Conclusie 19, met het kenmerk, dat daarbij deze doorstroomueerstand zodanig groot is, dat bij een nagenoeg door een sub-10 straat versperde uitmonding van zulk een toevoer de stuudruk in dit mond-stuk groter is dan 0«5 ato·
21· Inrichting volgens Conclusie 19, met het kenmerk, dat de seg-ment-opbouu verder zodanig is, dat deze mondstukken in het segment zelf reeds in open verbinding met elkaar zijn, 15 22, liJerkuijze volgens Ιέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij over tenminste een gedeelte van de doorvoer voor de substraten aan ueerszijde van deze substraten mediumkussens uorden onderhouden tussen opvolgende mondstukken van toevoerkanalen en deze substraten· 23« liJerkuijze volgens Conclusie 22, met het kenmerk, dat daarbij de 20 resulterende krachtuerking van de media op de substraat ter plaatse van deze kussens zodanig is, dat gezien in de beuegingsrichting van deze substraat tenminste de middensecties van de beide vlakke zijden van de substraat vrij blijven van aanraking ervan met segmentuanden rondom deze mond— stukken· 24. liJerkuijze volgens Conclusie 23, met het kenmerk, dat aan ueerszijde van de substraat de mediumkussens zodanig zijn geformeerd en uorden instand gehouden, dat ter plaatse beide vlakke substraatzijden vrij blijven van aanraking ervan met de segmentuanden rondom deze mondstukken,
25, Werkuijze volgens Conclusie 24, met het kenmerk, dat daartoe de 30 krachtuerking van zulk een mediumkussen op een substraat—zijkantsectie zodanig toeneemt bij een verminderde afstand tussen deze substraat en het mondstuk van het corresponderende stuukanaal voor dit medium, dat tenminste een minimum kussen-hoogte gehandhaafd blijft,
26, Inrichting, uaarin de uerkuijze volgens 66n der voorgaande Conclu-35 sies uordt toegepast, met het kenmerk, dat daarbij aan ueerszijde van de doorvoer voor de substraten in de richting van deze doorvoer opvolgende mondstukken voor toe- en afvoer van media zijn opgenomen·
27, Inrichting volgens Conclusie 26, met het kenmerk, dat daartoe 8103979 - 25 - aan weerszijde van de doorvoer de opstelling van mondstukken tenminste na-genoeg galijk is, 28, liierkwijze voor de inrichting volgans Conclusie 26, met het kenmerk, dat daarbij verder voor daze opstellingan van mondstukken tenminste 5 voor het grootste gedeelte ervan dezelfde of nagenoeg dezelfde gasvormige media worden toegepast,
29, Werkwijze volgens Conclusie 28, met het kenmerk, dat de inrichting * verder zodanig is uitgevoerd, dat een dichter bij de mondstukken terecht- gekomen substraatsectie een geringere afvoer van de media veroorzaakt met 10 toenemende druk op zulk een substraatsectie, terurijl de tegenoverliggende, dan verder van mondstukken veruiijderd geraakte substraatsectie een grotere afvoer van media veroorzaakt met een afnemende druk op zulk een sectie,
30, Uerkuijze volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij de temperatuur van zulk een medium, gestuu/d naar έέη zijde van * 15 de substraat, tenminste nagenoeg gelijk is aan die van het medium, u/elke tegen de tegenover gestelde zijde van de substraat tiiordt gestuuid,
31, Werkwijze volgens έέη der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat daarbij de tempsratuur van het gasvormige medium aan de zijde van de substraat, waarop de coating wordt aangebracht, in geringe mate hoger is dan 20 die van het gasvormige medium, welke naar de andere zijde van de substraat uiardt gestuwd, 32, li/erkujijze volgens Conclusie 28, met het kenmerk, dat daarbij dezelfde soort kussens van gasvormig medium tegenover elkaar liggen,
33, Werkwijze volgens Conclusie 28, met het kenmerk, dat bij het via 25 έέη of meerdere mondstukken opbrengen op έέη vlakke zijde van de substraat van vloeibare coating, aan de andere zijde van de doorvoer via identiske mondstukken de verdunning voor deze coating of ander vloeibaar medium naar de andere substraatzijde wordt gestuwd.
34, Werkwijze volgens de Conclusie 22, met het. kenmerk, dat zoals daar-30 bij aan έέη zijde van de substraat medi'umkussens met een microhoogte ervan warden onderhouden, aan de andere zijde van de substraat kussens van gas— vormig medium worden onderhouden met een aanzienlijk grotere hoogte ervan,
35, Werkwijze volgens de Conclusie 1, met het kenmerk, dat zoals daarbij aan έέη zijde van de substraat mediumkussens worden onderhouden, deze sub- 35 straat aan de andere zijde ervan over tenminste een gedeelte van de in de inrichting af teleggen weg langs een gladde geleidingswand beweegt,
36, Inrichting, waarin de uterkwijze volgens Conclusie 35 is opgenomen, met het kenmerk, dat daarbij έέη zijde van de doorvoer bestaat uit een pakket 8103979 - 26 - segmenten voor het onderhouden van mediumkussens en da andere zijda van deze doorvoer voor tenminste een gedeelte ervan gevormd wordt door een gladde geleidingswand·
37. Uerkwijze volgens Conclusie 1, met het kenmerk, dat zoals daarbjj 5 aan l£n zijde van de substraat mediumkussens worden onderhouden, de sub- straat onder veerwerking op deze kussens wordt gedrukt,
38. Inrichting, waarin de werkwijze volgens Conclusie 37 wordt toege-past, met het kenmerk, dat deze zodanig is uitgevoerd, dat in de doorvoer aan de ene zijde van de substraten mediumbuffers uorden onderhouden en aan 10 de andere zijde van de doorvoer een zich verplaatsende wand is opgenomen, waarin opvolgende vacuumblokken voor het erop vastzuigen van substraten zijn opgenomen en op deze blokken een veerkracht in de richting van de mediumkussens wordt uitgeoefend.
39, Inrichting volgens 66n der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, 15 dat deze opbouw ervan verder zodanig is, dat in de doorvoer tenminste ter plaatse van de mondstukken van de toevoerkanalen voor gasvormig medium sen overdruk aan gasvormig medium instand wordt gehouden*
40, Inrichting volgens Conclusie 39, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat tijdens de doorvoer erdoorheen van substraten 20 opvolgende substraten tenminste tijdelijk tegen elkaar liggen,
41. Inrichting volgens Conclusie 40, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat zulk een tegen elkaar liggen tenminste plaats vindt in het eindgedeelte van deze inrichting \i66v de afvoersectie.
42, Inrichting volgens Conclusie 40, met het kenmerk, dat het trans-25 portsysteem voor de substraten zodanig is, dat daarbij in de toevoersectie voor de substraten de snelheid van deze substraten hoger is dan die van de zich in de doorvoer bevindende substraten·
43· Inrichting volgens Conclusie 41, met het kenmerk, dat in de afvoersectie transportmiddelen zijn opgenomen, die een continue transport 30 van opvolgende substraten naar een opvanginrichting bewerkstelligen·
44· Inrichting volgens Conclusie 43, met het kenmerk, dat deze transportmiddelen verder zodanig zijn uitgevoerd, dat de verplaatsingssnelheid van de substraten in deze sectie tenminste nagenoeg dezelfde blijft. 45« Inrichting volgens Conclusie 44, met het kenmerk, dat deze verder 35 zodanig is uitgevoerd, dat na het passeren van de toevoersectie deze sub— straten over de gehele lengte van de doorvoer ervan tegen elkaar liggen.
46. Werkwijze van de inrichting volgens 66n der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij tenminste έέη van de media in deze inrichting 8103979 - 27 - esn stuukracht op de substraten uitoefent in de richting van de afvoer-sectie,
47. Substraat voor toepassing ervan in de inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de zijuand, uelke de twee vlak-5 ke substraat-oppervlakken met elkaar verbindt, een tueetal drukvlakkenjbe-vat, uelke parallel met elkaar zijn. 48# Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat dedoorvoer ervan, gezien in 10 dinars rich ting ervan, tenminste plaatselijk een grotere breedte heeft dan die van de substraten.
49. Inrichting volgens Conclusie 48, met het kenmerk, dat in de doorvoer in elk van de tuee smalle zijuanden in het midden ervan een uitstekende, smalle geleidingsuand is opgenomen, waarlangs de substra— 15 ten verplaatsbaar zijn#
50. Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat aan tenminste έέη zijde van de doorvoer voor de substraten zodanig tenminste έέη combinatie van kanalen is opgenomen, dat daarmede een dunne laag vloeibaar medium op de passerende substraat uordt aangebracht en ten- 20 minste een gedeelte van dit medium uederom uordt veruijderd,
51. Inrichting volgens Conclusie 50, met het kenmerk, dat deze combinatie tenminste een toevoerkanaal van dit medium en een afvoerkanaal voor dit medium omvat.
52, Inrichting volgens Conclusie 51, met het kenmerk, dat deze combi-25 natie tBvens een toevoerkanaal voor gasvormig medium en een afvoerkanaal voor dit medium omvat ten behoeve van het daarmede beuerkstelligen en on-derhouden van tenminste een kussen van gasvormig medium in de spleet tus-sen de passerende substraat en het mondstuk ervan,
53, Inrichting volgens Conclusie 52, met het kenmerk, dat daarbij het 30 afvoerkanaal voor het vloeibarB medium samenvalt met het afvoerkanaal voor het gasvormige medium.
54, Inrichting volgens Conclusie 52, met het kenmerk, dat daarin te-vens tenminste έέη hoogvacuumkanaal is opgenomen. 55. lilerkunjze van de inrichting volgens Conclusie 54, met het kenmerk, 35 dat daarbij via dit hoogvacuumkanaal opzij van de substraatsectie plaatselijk een hoog vacuum uordt bewerkstelligd en onderhouden en vervolgens vloeibaar medium op deze substraatsectie uordt gebracht.
56, Werkuijze van de inrichting volgens Conclusie 51, met het kenmerk, 8103979 - 28 - dat zoals daarbij op een substraatsectie via een toevoerkanaal vloeibaar medium uordt gabracht, varvolgens naganoeg alia vloeibaarmedium, dat nog uagzuigbaar is,via hat hoogvacuumkanaal van daze combinatie u/ordt afgezo-gen. t
57. Werkwijze van de inrichting volgans Conclusie 52, mat hat kenmerk, dat zoals daarbij op een substraatsectie via een toevoerkanaal vloeibaar medium u^rdt gebracht, galijktijdig tegen een andere sectie via een ander toevoarkanaal gasvormig medium u»ordt gestuu/d en het uiegzuigbare gedeelte van daze media via een gecombineerd hoogvacuumkanaal uordt afgezogen.
58. Inrichting volgens Conclusie 54, mat het kenmerk, dat daarbij, ge- zien in de richting van de toevoersectie naar de afvoersectie de rangschik-king van de kanalen de volgende is: hoogvacuumkanaal, toevoerkanaal voor vloeibaar medium, afvoerkanaal voor vloeibaar- en gasvormig medium, en toevoerkanaal voor gasvormig medium.
59. Inrichting volgens Conclusie 54, met het kenmerk, dat daarbij, ge- zien in de richting van de toevoersectie naar de afvoersectie de rangschik-king van de kanalen de volgende is: toevoerkanaal voor vloeibaar medium, afvoerkanaal voor vloeibaar- en gasvormig medium en toevoerkanaal voor gasvormig medium.
60. Inrichting volgens Conclusie 59, met het kenmerk, dat deze combi natie na het toevoerkanaal voor gasvormig medium een hoogvacuumkanaal omvat.
61. Inrichting volgens Conclusie 54, met het kenmerk, dat daarbij, ge— zien in de richting van de toevoersectie naar de afvoersectie de rangschik-king van de kanalen de volgende is: 25 hoogvacuumkanaal, toevoerkanaal voor vloeibaar medium, toevoerkanaal voor gasvormig medium en afvoerkanaal voor vloeibaar- en gasvormig medium.
62. Inrichting volgens Conclusie 54, met het kenmerk, dat daarbij, ge-zien in de richting van de toevoersectie naar de afvoersectie de rangschik-king van de kanalen de volgende is: 30 hoogvacuumkanaal, toevoerkanaal voor gasvormig medium, toevoerkanaal voor vloeibaar medium en afvoerkanaal voor vloeibaar- en gasvormig medium.
63. Inrichting volgens Conclusie 54, met het kenmerk, dat daarbij, ge-zien in de richting van de toevoersectie naar de afvoersectie de rangschik-king van de kanalen zodanig is, dat het afvoerkanaal voor vloeibaar-en gas- 35 vormig medium een hoogvacuumkanaal is.
64. Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze zodanig is uitgevoerd, dat bij toepassing van meerdare opvolgende combinaties van kanalen in de lengterichting van de doorvoer, tussen elk 8103979 - 29 - van dezs opvolgende combinaties van kanalen zich sen segment bevindt, u/elke zich verder in de doorvoer uitstrekt dan de andere segmenten.
65. Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat aan tenminste έέη zijde van de doorvoer voor de substraten zodanig ten— 5 minste 6in combinatie van kanalen is opgenomen, dat daarmede ter plaatse zoii/el een gasvormig kussen tussen de corresponderende segmentsectie ert de substraatsectie wordt onderhouden als tenminste droging van deze substraat-sectie plaats vindt.
66. Inrichting volgens Conclusie 65, met het kenmerk, dat zulk een 10 combinatie van kanalen tenminste bestaat uit een toevoerkanaal voor gas— vormig medium en een afvoerkanaal voor dit medium.
67. Uerkmijze van de inrichting volgens Conclusie 66, met het kenmerk, dat indien een substraatsectie de uitmonding van het afvoerkanaal passert, in de corresponderende spleetzone door dit afvoerkanaal een hoogvacuum 15 uordt getrokken.
68. Inrichting, uaarin tenminste έέη sectie voor het tenminste bren— gen van vloeistof op substraten is opgenomen, met het kenmerk, dat daarin meerdere combinaties van kanalen volgens έέη der Conclusies 50 tot en met 64 zijn opgenomen.
69. Inrichting volgens Conclusie 68, met het kenmerk, dat daarin ten minste voor de toevoer van media segmenten volgens Conclusie 19 zijn opge— nomen.
70. Inrichting volgens Conclusie 68, met het kenmerk, dat daarin tenminste έέη segment met een electrisch veruarmingselement is opgenomen voor 25 veruiarming van naar de inrichting toegevoerd medium en zulks nabij het einde van dit segement, hetiuelk een uandsectie van de doorvoer vormt.
71. Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat elk segment een eindvlak heeft voor de vorming van de doorvoerspleet en aan ueerszijdevan dit vlak een pasvlak is aangebracht met een nauu/keurig 30 vastgestelde afstand van zulk een pasvlak tot zulk een eindvlak in afhanke-lijkheid van het doel van de betreffende segment.
72. Inrichting volgens Conclusie 71, met het kenmerk, dat deze daarbij verder bestaat uit tenminste έέη houder, uiaarin de segmenten in de richting van de doorvoer opvolgend gestapeld tegen elkaar liggen en de constructie 35 verder zodanig is, dat met behulp van de met elkaar corresponderende pas-vlakken van de segmenten de naume doorvoer kan u/orden geformeerd.
73. Inrichting volgens Conclusie 72, met het kenmerk, dat daarbij in de boven— en ondervlakken van de houder een aantal . .'kanalen zijn opgeno— 8103979 - 30 - men, die enerzijds verbonden zijn met de toe- of afvoer van de verschillende media en anderzijds uitmonden in groeven, uelke zich in deze houder in de lengterichting ervan uitstrekken en corresponderen met uiteinden van kana-len, uelke in de segmentpakketten zijn geformeerd.
74. Xnrichting volgens Conclusie 73, met het kenmerk, dat in de bin- nenzijuianden van deze houder eveneens groeven zijn opgenomen, die verbonden zijn met een aantal kanalen in deze houder voor verschillende media en eveneens corresponderen met uiteinden van kanalen, uelke in de segmentpakketten zijn geformeerd.
75. Inrichting volgens Conclusie 74, met het kenmerk, dat daarbij in de houder rondom deze groeven afdichtmateriaal is opgenomen.
76. Inrichting volgens Conclusie 72, met het kenmerk, dat daarbij in de houder tevens een tuieetal passtrippen zodanig zijn opgenomen, dat in ge-monteerde toestand elk van de segmenten met tuee pasvlakksn drukt tegen 15 deze passtrippen.
77. Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij een kleeflaag is aangebracht op tenminste een deel van de segmenten voor tenminste hechting ervan tegen elkaar onder de vorming van stapelpakketten.
78. Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de dikte van de segmenten kleiner is dan 0.5 mm.
79. Inrichting volgens Conclusie 70, met het kenmerk, dat daarbij in het metalen segment tenminste έέη groef is opgenomen, dit element geisoleerd in deze groef is gelegen met tenminste een electrische aansluiting, uelke 25 correspondeert met die, uelke in de houder voor het segment is opgenomen en uaarbij in gemonteerde toestand van zulk een segment aan έέη zijde van de— ze segment zich een toevoerkanaal voor medium bevindt. .
80. Inrichting volgens Conclusie 70, met het kenmerk, dat daarbij het veruarmingselement is opgenomen in een plaat van isolatiemateriaal en aan 30 ueerszijde van deze plaat metalen platen zijn gehecht onder de vorming van een stapelsegment.
81. Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de toevoersectie ervan eveneens voor een groot gedeelte ervan bestaat uit een uiterst nauue spleet voor doorvoer van de substraten met aan tuee 35 zijden ervan een serie segmenten, gestapeld in de richting van deze doorvoer en bevattende in opvolging in deze richting meerdere toevoerkanalen voor gasvormig stuumedium en afvoerkanalen naar een vacuuminrichting.
82. Inrichting volgens Conclusie 81, met het kenmerk, dat de eindvlak— 8103979 - 31 - ken van de segmenten, die de doorgang vormen, zodanig op laterale afstand van elkaar z!jn geplaatst, dat bij doorvaer van een substraat gasvormig medium voor het grootste gedeelte ervan langs de substraat in de richting van de afvoersectie stroomt. 5 83«Inrichting volgens Conclusie 82, met het kenmerk, dat tenminste het eerste kanaal een vacuumkanaal is·
84, Inrichting volgens Conclusie 81, met het kenmerk, dat de lengte van de in de doorvoerrichting gestapelde segmenten als pakket groter is dan de lengte van de door te voeren substraat in de beuegingsrichting ervan* 10 85« Inrichting volgens de Conclusie 84, met het kenmerk, dat deze ver- der zodanig is uitgevoerd, dat de eerste kanalen slechts uitmonden in de middensectie van de nauuie doorvoer. 86« Werkuiijze van de inrichting volgens 44n der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de resulterende krachtu/erking van het gasvormige me- 15 dium in het toevoerstation op de doorvoerende substraten zo groot is, dat zulk een substraat, indien deze zich geheel in de doorvoer bevindt, in de richting van de afvoersectie mordt verplaatst·
87, Inrichting volgens Conclusie 81, met het kenmerk, dat deze toevoer— sectie grenst aan een zodanige toevoerinrichting voor substraten, dat daar- 20 made substraten van een afvoerstation u/orden afgevoerd en u/orden getrans-porteerd naar deze toevoersectie.
88, Inrichting volgens lln der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de afvoersectie ervan voor een groot gedeelte bestaat uit een uiterst Θ nauu/e spleet voor doorvoer van de substraten met aah u/erszijde ervan een 25 serie segmenten, gestapeld in de richting van de doorvoer en bevattende In opvolging in deze richting meerdere toevoerkanalen voor gasvormig medium en afvoerkanalen naar een vacuuminrichting,
89, Inrichting volgens Conclusie 88, met het kenmerk, dat tenminste het laatste kanaal een vacuumkanaal is.
90. Inrichting volgens de Conclusie 88, met het kenmerk, dat de lengte van de in de doorvoerrichting gestapelde segmenten als pakket groter is dan de lengte van de door te voeren substraat in de beuegingsrichting ervan.
91. Inrichting volgens Conclusie 90, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat de laatse kanalen slechts uitmonden in de midden- 35 sectie van de nauuie doorvoer.
92. Inrichting volgens de Conclusie 88, met het kenmerk, dat aan deze afvoersectie een zodanige afvoerinrichting grenst, dat daarin de substraten een tenminste nagenoeg constante snelheid van beueging hebben* 8103979 - 32 -
93. Inrichting volgens de Conclusie 92, met het kenmerk, dat daze daartoe een tueetal overneem-inrichtingen bevat en uel zodanig, dat daar-mede telkenmale opvolgende, uit de afvoersectie komende substraten uorden overgenomen en uorden getransporteerd in de richting van een opvangstation 5 voor deze behandelde substraten.
94. Inrichting volgens de Conclusie 93, met het kenmerk, dat deze overname-inrichtingen zodanig zijn uitgevoerd, dat deze na het transporte-ren van een substraat en overdragen ervan uederom terugkeren voor het ont-vangen van een volgende substraat en deze cyclus zich kan herhalen.
95. Inrichting volgens ύέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin een reinigingssectie is opgenomen, uaarin reinigingsmedium naar de passerende substraat uordt gestuud.
96. Inrichting volgens de Conclusie 95, met het kenmerk, dat daarin aan ueerszijde van de doorvoer voor de substraat een reinigingssectie is 15 opgenomen.
97. Inrichting volgens Conclusie 96, met het kenmerk, dat daarbij in zulk een sectie combinaties van kanalen volgens Conclusie 68 zijn opgenomen. 98. lilerkuijze van de inrichting volgens Conclusie 97, met het kenmerk, dat via de mondstukken voor het reinigingsmedium dit medium onder hoge 20 druk naar de passerende substraat uordt gestuud.
99. Inrichting volgens de Conclusie 97, met het kenmerk, dat daarin, gezien in de richting van de doorvoer, tenminste een drietal opvolgende combinaties van kanalen voor reiniging zijn opgenomen. 100. lilerkuijze volgens Conclusie 98, met het kenmerk, dat daarbij aan 25 ueerszijde van de substraat uarm reinigingsmedium naar en langs deze pas- sersnde substraat uordt gestuud.
101. Inrichting volgens een der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin een spoelsectie is opgenomen, uaarin spoelvloeistof naar de pas— serende substraat uordt gestuud.
102. Inrichting volgens de Conclusie 101, met het kenmerk, dat daarbij zulk een spoelsectie aan ueerszijde van de doorvoer voor de substraten is opgenomen.
103. Inrichting volgens Conclusie 102, met het kenmerk, dat in zulk een sectie combinaties van kanalen volgens Conclusie 68 zijn opgenomen. 104. lilerkuijze van de inrichting volgens Conclusie 103, met het kenmerk, dat via de mondstukken voor het spoelmedium dit medium onder hoge druk naar de substraat uordt gestuud, 105. lilerkuijze .volgens Conclusie 104, met het kenmerk, dat daarbij aan 8103979 -33- ueerszijde van de substraafc warm reinigingsmedium naar an langs da passe— rende substraat uordt gevoerd.
106, Inrichting volgens Sin dar voorgaande Conclusies, met hat kenmerk, dat daarin aan tenminste Sin zijde van de doorvoer een hechtvloaistofsectia 5 is opgenomen, uraarin een dunna laag hechtvloeistof op da passerende substraat wordt aangebracht* i
107. Inrichting volgans de Conclusie 106, mat hat kanmerk, dat daarbij in zulk een sactie combinaties van kanalen volgans Conclusie 68 zijn opge-nomen. 10 108. ϋ/erkurijze van de inrichting volgens Conclusie 107, met hat kenmerk, dat daarbij sen stroom van hechtvloeistof met een uiterst lage viscositeit naar de substraat uordt gestuud en met behulp van de zuigende urerking van hat afvoerkanaal door middel van een mini-meniscus sffact an al dan niat met behulp van gasvormig medium slechts een uiterst dunna laag hechtvloei— 15 op de substraat achterblijft.
109. Uerkurijze volgens Conclusie 108, met het kenmerk, dat daarbij aan de andere zijde van de substraat een stroom van verdunning voor hechtvloeistof naar de substraat uordt gestuud en met behulp van de zuigende working van het afvoerkanaal en het gasvormige medium deze vloeistof tenminste na- ' 20 genoeg geheel van deze substraat wordt verwijderd.
110. Inrichting volgens Sin der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin in de richting van de doorvoer va de hechtvloeistofsectie een droogsectie en vervolgens tenminste uiederom een combinatie van hechtvloeistofsectie en droogsectie is opgenomen. 25 111* Uerkwijze van de inrichting volgens Sin der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij met behulp van een hoogvacuumkanaal in de spleet van de doorvoer opzij van de substraat ter plaatse ervan en in de richting van de afvoersectie tot op het toevoerkanaal voor hechtvloeistof een zodanig hoog vacuum wordt bewerkstelligd en onderhouden, dat tenminste 30 practisch geen gasvormig medium achterblijft in dalen van het substraat-oppervlak, 112* Inrichting volgens Sin der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin aan tenminste Sin zijde van de doorvoer een coatingsectie is op— genomen, uaarin een dunne laag coating op de passerende substraat urordt 35 aangebracht. 113* Inrichting volgens Conclusie 112, met het kenmerk, dat daarbij in zulk een sectie combinaties van kanalen volgens Conclusie 68 zijn opgenomen* 114. 'u/erkwijze van de inrichting volgens Conclusie 113, met het kenmerk, 8103979 — 34 - dat daarbij een stroom van coating met een zeer lage viscositait naar da substraat uiordt gestuud an met behulp van da zuigende marking van hat af— voerkanaal gacombineerd met afvoer via een mini-meniscus effect en al dan niet met behulp van gasvormig medium slechts een uiterst dunne laag coa— 5 ting op de substraat achterblijft.
106· Werkuiijze volgens Conclusie 3, met het kenmerk, dat daarbij aan* de andere zijde van de substraat een stroom van verdunning voor de coating naar de substraat uordt gestuuid en met behulp van de zuigende marking van het afvoerkanaal en het gasvormige medium deze vloeistof tenminste nage-10 noeg geheel van de substraat uiordt yermijderd,
107· Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin in de rich ting van de doorvoer na deze coatingsectie een droogsectie en vervolgens mederom tenminste έέη combinatie van coatingsectie en droogsectie is opgenomen· 15 108· Werkuiijze van de inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij met behulp van het hoogvacuumkanaal in de spleet van de doorgang opzij van de substraatsectie terplaatse ervan en in de richting van de afvoersectie tot op hettedvoerkanaal voor coating een zodanig hoog vacuum uiordt bemerkstelligd en onderhouden, dat tenminste * 20 practisch geen gasvormig medium achterblijft in dalen van het substraat— oppervlak.
109· Werkuiijze van da inrichting volgens Conclusie 108, met het kenmerk, dat daarbij in opvolgende secties op da passerende substraat uiterst dunne lagen coating materiaal uiorden aangebracht met in tussengelegen 25 droogsecties het drogen van de opgebrachte coatinglaag· 110» li/erkuiijze volgens Conclusie 109* met het kenmerk, dat daarbij de toe- en afvoer van de media en het aantal coatingsecties zodanig is, dat • bij een micro-geprofileerd oppervlak van de substraat na de laatste opgebrachte laag van deze coating dit oppervlak tenminste nagenoeg vlak is· 30 111* Werkuiijze volgens Conclusie 110, met het kenmerk, dat vervolgens na het opbrengen van dit eerste type coating een eindlaag van een ander type coating op deze gestapelde lagen van coating uiordt aangebracht.
112. Werkuiijze van de inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij een gasvormig medium als drager fungeert voor 35 het transporteren van nauuikeurig afgepaste hoeveelheden coating per tijds-eenheid naar het substraat-oppervlak·
113. Inrichting, uiaarin de u/erkuijze volgens Conclusie 112 uiordt toege— past, met het kenmerk, dat daarbij tussen tuiee aangrenzende segmenten zo— 8103979 - 35 - uiel 88n toevoerkanaal voor gasvormig medium als een toevoerkanaal voor coating is opgenomen,
114. Inrichting v/olgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarbij in deze ssctie tussen opvolgende segmenten tevens een toevoer-5 kanaal voor verdampte coating-verdunning is opgenomen en u/elk kanaal zich bevindt tussen het gecombineerde afvoerkanaal en het toevoerkanaal voofc gasvormig medium· 115* Uerkuijze van de inrichting volgens Conclusie 114, met het kenmerk, dat verdampte of vernevelde verdunning naar de substraat uordt ge-10 stuud, deze op de laag coating voor een gedeelte ervan condenseert, aldus een uiterst dunne toplaag van deze opgebrachte coating uordt verdund en met behulp van bet gasvormige medium als dunne film over deze laag coating naar het gecombineerde afvoerkanaal uordt gestuud.
116· Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, 15 dat daarbij in deze sectie tussen opvolgende segmenten tevens een toevoerkanaal voor uater in al dan niet dampvormige toestand is opgenomen en uelk kanaal zich bevindt tussen het gecombineerde afvoerkanaal en het toe— voerkanaal voor gasvormig medium·
117. Uerkuijze van de inrichting volgens Conclusie 116, met het kenmerk, Λ 20 dat uater in dampvorm naar de substraat uordt gestuud, op de laag coating voor een gedeelte ervan condenseert en met behulp van het gasvormige medium als dunne film over deze laag coating naar het gecombineerde afvoerkanaal uordt gestuud onder vereffening van de reeds aangebrachte laag coating#
118· Inrichting volgens Sin der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, 25 dat daarin voor veruijdering vanaf de substraat van media een droogsectie is opgenomen en daarvoor een aantal combinaties van kanalen volgene Conclusie 66 uordt toegepast·
119· Inrichting volgens Conclusie 118, met het kenmerk, dat daarbij zulk een combinatie van kanalen aan ueerszijde van de doorvoer voor de sub-30 straten is opgenomen, 120# Inrichting volgens Conclusie 119, met het kenmerk, dat in de richting van de doorvoer tenminste een drietal opvolgende combinaties van kanalen voor droging zijn opgenomen#
121. Inrichting volgens Conclusie 120, met het kenmerk, dat daarin de 35 uerkuijze volgens Conclusie 67 uordt toegepast,
122, Uerkuijze van de inrichting volgens Conclusie 120, met het kenmerk, dat daarbij aan ueerszijde van de substraat via de combinaties van toe- en afvoerkanalen uarm gasvormig medium naar en langs de passerende substraat , 8103979 fcr It.. I i - 36 - wordt gestuwd.
123. Inrichting volgens len der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daarin ean oven is opgenomen voor harding van de op de substraat aangebrachta coating en daarvoor een aantal combinaties van kanalen vol- 5 gens Conclusie 66 wordt toegepast.
124. Inrichting volgens Conclusie 123, met het kenme.rk, dat daarbij zulk een combinaties van kanalen aan weerszijde van de doorvoer voor de sub-straten zijn opgenomen.
125. Inrichting volgens Conclusie 124, met het kenmerk, dat daarbij 10 de werkwijze volgens Conclusie 67 wordt toegepast,
126. Uerkwijze van de inrichting volgens Conclusie 124, met het kenmerk, dat daarbij aan weerszijde van de substraat via de combinatie van toe- en afvoerkanalen zeer warm gasvormig medium naar en langs de passerende substraat wordt gestuwd.
127. Inrichting volgens i£n der voorgaande Conclusies, met het ken— merk, dat daarin tenminste na de ovensectie een afkoelsectie is opgenomen, en daarvoor een aantal combinaties van kanalen aan weerszijde van de doorvoer en volgens Conclusie 66 warden tgegepast.
128. Uerkwijze van de inrichting volgens Conclusie 127, met het ken- 20 merk, dat daarbij via de combinaties van toe- en afvoerkanalen gasvormig medium naar en langs de passerende substraat wordt gestuwd.
129. Inrichting volgens έέη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat daari een sectie voor het naar de substraat brengen van ontwik-kelingsmedium en afvoer ervan is opgenomen.
130. Inrichting volgens Conclusie 129, met het kenmerk, dat daarbij in zulk een sectie combinaties van kanalen volgens Conclusie 101. of 66 zijn opgenomen.'
131. Uerkwijze voor de inrichting volgens Conclusie 130, met het kenmerk, dat daarbij het ontwikkelingsmedium onder hoge druk naar de substraat 30 wordt gestuwd met een stroomrichting tenminste nagenoeg loodrecht op het te behandelen oppervlak van de substraat en dit medium via het afvoer-kanaal wordt afgevoerd.
132. Uerkwijze volgens Conclusie 131, met het kenmerk, dat daarbij aan de andere zijde van de substraat via combinaties van kanalen uitsluitend 35 gasvormig medium naar de substraat wordt gestuwd voor het bewerkstelligen en onderhouden van gasvarmige kussens en vervolgens wordt afgevoerd.
133. Inrichting volgens de Conclusie 129, met het kenmerk, dat daze sectie een plasma- etssectie is, waarin buiten de cabins gevormde plasma in gasvormige toestand via de toevoerkanalen naar de substraat wordt gestuwd. 8103979 - 37 -
134. Inrichting volgens een der voorgaande Conclusies, met het ken-merk, dat deze zodanig is uitgevoerd, dat daarin in sen sectie coating materiaal in damp- of gasvormige tosstand naar de substraat uordt gestuwd.
135. Inrichting volgens Conclusie 134, met het kenmerk, dat daarbij 5 tussen tenminste een tuieetal segmenten een kamer is opgenomen met een breedte, uelke tenminste nagenoeg gelijk is aan die van de te behandelen substraat.
136. Inrichting volgens έύη der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze tenminste mede omvat: 10 systemen voor fijn-filtering van de media, fijndrukregelaars, temperatuur regelaars, sensors voor regeling, aflees-instrumenten, en systemen voor het uiederom geschikt maken van medium voor hergebruik. 8103979