NL7801165A - Magnetische lensinrichting voor onder vacuum werkende deeltjes straalinrichtingen, in het bijzonder objectief lensinrichting voor hoog- spanningselektronenmicroscopen. - Google Patents
Magnetische lensinrichting voor onder vacuum werkende deeltjes straalinrichtingen, in het bijzonder objectief lensinrichting voor hoog- spanningselektronenmicroscopen.Info
- Publication number
- NL7801165A NL7801165A NL7801165A NL7801165A NL7801165A NL 7801165 A NL7801165 A NL 7801165A NL 7801165 A NL7801165 A NL 7801165A NL 7801165 A NL7801165 A NL 7801165A NL 7801165 A NL7801165 A NL 7801165A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- lens device
- particulate
- high voltage
- under vacuum
- electron microscopes
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
- H01J37/1416—Electromagnetic lenses with superconducting coils
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S505/00—Superconductor technology: apparatus, material, process
- Y10S505/825—Apparatus per se, device per se, or process of making or operating same
- Y10S505/871—Magnetic lens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2731458A DE2731458C3 (de) | 1977-07-12 | 1977-07-12 | Magnetische Objektivlinseneinrichtung für unter Vakuum arbeitende Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere Objektivlinseneinrichtung für Höchstspannungs-Elektronenmikroskope und Verwendung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL7801165A true NL7801165A (nl) | 1979-01-16 |
Family
ID=6013750
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL7801165A NL7801165A (nl) | 1977-07-12 | 1978-02-01 | Magnetische lensinrichting voor onder vacuum werkende deeltjes straalinrichtingen, in het bijzonder objectief lensinrichting voor hoog- spanningselektronenmicroscopen. |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4209701A (xx) |
JP (1) | JPS5951704B2 (xx) |
DE (1) | DE2731458C3 (xx) |
FR (1) | FR2397715A1 (xx) |
GB (1) | GB1597015A (xx) |
NL (1) | NL7801165A (xx) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1988004104A1 (en) * | 1986-11-28 | 1988-06-02 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Apparatus for observation using charged particle beams and method of surface observation using charged particle beams |
NL8800344A (nl) * | 1988-02-12 | 1989-09-01 | Philips Nv | Geladen deeltjes bundel apparaat. |
US5187327A (en) * | 1989-09-29 | 1993-02-16 | Mitsui Kinzoku Kogyo Kabushiki Kaisha | Superconducting magnetic shield |
JP3117950B2 (ja) * | 1998-05-21 | 2000-12-18 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 荷電粒子装置 |
DE602007011888D1 (de) * | 2007-03-14 | 2011-02-24 | Integrated Circuit Testing | Kühlung der Spule einer Magnetlinse |
DE102010012073B4 (de) * | 2010-03-19 | 2012-05-31 | Karlsruher Institut für Technologie | Vorrichtung zur Verringerung der Erwärmung einer Vakuumkammer |
WO2019137183A1 (zh) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 桂林狮达技术股份有限公司 | 一种多相绕組的偏转扫描装置及偏转扫描*** |
JP6964531B2 (ja) * | 2018-02-14 | 2021-11-10 | 株式会社荏原製作所 | ウィーンフィルタ、電子光学装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3008044A (en) * | 1960-02-25 | 1961-11-07 | Gen Electric | Application of superconductivity in guiding charged particles |
DE1209224B (de) * | 1963-08-16 | 1966-01-20 | Siemens Ag | Magnetische Linsenanordnung fuer an der Pumpe arbeitende Korpuskularstrahlgeraete |
US3821554A (en) * | 1966-09-21 | 1974-06-28 | Siemens Ag | Magnetic lens assemblies for corpuscular ray superconductive devices which operate under vacuum |
-
1977
- 1977-07-12 DE DE2731458A patent/DE2731458C3/de not_active Expired
-
1978
- 1978-02-01 NL NL7801165A patent/NL7801165A/xx not_active Application Discontinuation
- 1978-03-30 US US05/891,894 patent/US4209701A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-03-31 FR FR7809562A patent/FR2397715A1/fr active Granted
- 1978-04-27 JP JP53050696A patent/JPS5951704B2/ja not_active Expired
- 1978-05-18 GB GB20590/78A patent/GB1597015A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2731458B2 (de) | 1979-07-19 |
DE2731458A1 (de) | 1979-01-18 |
FR2397715B1 (xx) | 1981-12-04 |
FR2397715A1 (fr) | 1979-02-09 |
GB1597015A (en) | 1981-09-03 |
JPS5419644A (en) | 1979-02-14 |
US4209701A (en) | 1980-06-24 |
JPS5951704B2 (ja) | 1984-12-15 |
DE2731458C3 (de) | 1980-03-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL185118B (nl) | Halfgeleiderschakelinrichting voor het geleiden en versterken van straling. | |
NL7702869A (nl) | Inrichting voor neerslag in vacuum. | |
NL7604569A (nl) | Veldemitterinrichting en werkwijze tot het vormen daarvan. | |
NL7611571A (nl) | Elektrische verbindingsinrichting en werkwijze voor het vervaardigen hiervan. | |
NL7713436A (nl) | Elektrische vacuumschakelaar, voorzien van midde- len voor het opwekken van een axiaal magnetisch veld tussen de contactvlakken. | |
NL7811716A (nl) | Elektronenmicroscoop. | |
NL7600738A (nl) | Inrichting voor het plasma-spuiten. | |
NL7812122A (nl) | Vastklemeenheid voor elektrische klemmen. | |
NL7612452A (nl) | Inrichting voor het tillen van invaliden. | |
NL7606621A (nl) | Inrichting voor het absorberen van energie. | |
NL7810693A (nl) | Inrichting voor het opto-elektrisch aftasten van een origineel. | |
NL7801165A (nl) | Magnetische lensinrichting voor onder vacuum werkende deeltjes straalinrichtingen, in het bijzonder objectief lensinrichting voor hoog- spanningselektronenmicroscopen. | |
NL7811208A (nl) | Inrichting voor het verwisselen van stapels. | |
DE69111681D1 (de) | Elektronenoptische Messeinrichtung. | |
NL7611117A (nl) | Inrichting voor het om houders heen doen krim- pen van thermoplastische hulzen. | |
NO146964C (no) | Anordning ved persienne. | |
NL188192C (nl) | Elektronenmicroscoop. | |
NL7708154A (nl) | Inrichting voor het vormen van een elektronen- bundel met een ionenval. | |
GB2000901A (en) | Specimen anticontamination device for use in an electron microscope | |
NL7714387A (nl) | Inrichting voor het verwerken van zeldzame aarden. | |
NL172121B (nl) | Inrichting voor het opwekken van elektrische impulsen aan elektroden. | |
NL7503241A (nl) | Inrichting voor het plasma-mig lassen. | |
NL183860C (nl) | Laterale halfgeleiderinrichting. | |
NL7700826A (nl) | Inrichting voor het bereiden van brij van bieten. | |
NO142543C (no) | Anordning ved fyrsted. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BA | A request for search or an international-type search has been filed | ||
BB | A search report has been drawn up | ||
BC | A request for examination has been filed | ||
A85 | Still pending on 85-01-01 | ||
BV | The patent application has lapsed |