NL7713613A - Met corpusculaire stralen werkende optische inrichting voor het afbeelden van een masker op een preparaat. - Google Patents
Met corpusculaire stralen werkende optische inrichting voor het afbeelden van een masker op een preparaat.Info
- Publication number
- NL7713613A NL7713613A NL7713613A NL7713613A NL7713613A NL 7713613 A NL7713613 A NL 7713613A NL 7713613 A NL7713613 A NL 7713613A NL 7713613 A NL7713613 A NL 7713613A NL 7713613 A NL7713613 A NL 7713613A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- mask
- imaging
- preparation
- optical device
- operating optical
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/3002—Details
- H01J37/3007—Electron or ion-optical systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
- H01J37/3045—Object or beam position registration
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2702444A DE2702444C3 (de) | 1977-01-20 | 1977-01-20 | Korpuskularstrahloptisches Gerät zur Abbildung einer Maske auf ein Präparat |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL7713613A true NL7713613A (nl) | 1978-07-24 |
Family
ID=5999232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL7713613A NL7713613A (nl) | 1977-01-20 | 1977-12-08 | Met corpusculaire stralen werkende optische inrichting voor het afbeelden van een masker op een preparaat. |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4164658A (nl) |
JP (1) | JPS5498578A (nl) |
DE (1) | DE2702444C3 (nl) |
FR (1) | FR2378350A1 (nl) |
NL (1) | NL7713613A (nl) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4385238A (en) * | 1981-03-03 | 1983-05-24 | Veeco Instruments Incorporated | Reregistration system for a charged particle beam exposure system |
US4354111A (en) * | 1981-03-10 | 1982-10-12 | Veeco Instruments Incorporated | Screen lens array system |
US4417203A (en) * | 1981-05-26 | 1983-11-22 | International Business Machines Corporation | System for contactless electrical property testing of multi-layer ceramics |
US4415851A (en) * | 1981-05-26 | 1983-11-15 | International Business Machines Corporation | System for contactless testing of multi-layer ceramics |
DE3121666A1 (de) * | 1981-05-30 | 1982-12-16 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren und einrichtung zur gegenseitigen ausrichtung von objekten bei roentgenstrahl- und korpuskularstrahl-belichtungsvorgaengen |
US4434399A (en) * | 1982-05-14 | 1984-02-28 | The University Of Rochester | Electron-optical wide band signal measurement system |
DE3410885A1 (de) * | 1984-03-24 | 1985-10-03 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Fehlerkorrigierte korpuskularstrahllithographie |
AT393925B (de) * | 1987-06-02 | 1992-01-10 | Ims Ionen Mikrofab Syst | Anordnung zur durchfuehrung eines verfahrens zum positionieren der abbildung der auf einer maske befindlichen struktur auf ein substrat, und verfahren zum ausrichten von auf einer maske angeordneten markierungen auf markierungen, die auf einem traeger angeordnet sind |
US5029222A (en) * | 1987-09-02 | 1991-07-02 | Fujitsu Limited | Photoelectron image projection apparatus |
AT393334B (de) * | 1988-01-22 | 1991-09-25 | Ims Ionen Mikrofab Syst | Anordnung zur stabilisierung einer bestrahlten maske |
CN103238202B (zh) * | 2010-09-28 | 2016-11-09 | 以色列实用材料有限公司 | 粒子光学***及布置,以及用于这种***及布置的粒子光学组件 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3736425A (en) * | 1972-03-27 | 1973-05-29 | Implama Ag Z U G | Screen for ion implantation |
FR39852E (fr) * | 1972-06-30 | 1932-03-24 | Ig Farbenindustrie Ag | Procédé de production de colorants solides pour cuve |
-
1977
- 1977-01-20 DE DE2702444A patent/DE2702444C3/de not_active Expired
- 1977-12-08 NL NL7713613A patent/NL7713613A/nl unknown
-
1978
- 1978-01-04 FR FR7800138A patent/FR2378350A1/fr active Granted
- 1978-01-19 US US05/870,637 patent/US4164658A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-01-19 JP JP478478A patent/JPS5498578A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5498578A (en) | 1979-08-03 |
FR2378350A1 (fr) | 1978-08-18 |
FR2378350B1 (nl) | 1981-11-27 |
DE2702444A1 (de) | 1978-07-27 |
US4164658A (en) | 1979-08-14 |
DE2702444C3 (de) | 1980-10-09 |
DE2702444B2 (de) | 1980-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL7713743A (nl) | Corpusculairstraal-optische inrichting voor het verkleind afbeelden van een masker op een te bestralen preparaat. | |
NL7612028A (nl) | Inrichting voor het fotografisch aanbrengen van een masker. | |
IT7831013A0 (it) | Dispositivo per selezionare immagini fotografiche. | |
NL7801720A (nl) | Optische koppelinrichting. | |
NL7502803A (nl) | Optische focusseerinrichting voor het focusseren van een stralingsbundel. | |
NL7809574A (nl) | Beeldbeschouwingstoestel. | |
NL7807515A (nl) | Vastestofbeeldvorminrichting. | |
NL7807987A (nl) | Vaste-stof beeldinrichting. | |
NL7809571A (nl) | Houder voor foto-afdrukken. | |
NL7807118A (nl) | Inrichting voor de optische berichtenoverdracht. | |
NL185374B (nl) | Inrichting voor het opwekken van ultraviolette straling. | |
NL7713592A (nl) | Roentgenbronbewegingsmechanisme voor panoramische stralingsfotografie. | |
NL7809627A (nl) | Regelinrichting voor een optische schrijfregistratie-/ weergeefinrichting. | |
NL7809575A (nl) | Beeldbeschouwingstoestel. | |
NL7713613A (nl) | Met corpusculaire stralen werkende optische inrichting voor het afbeelden van een masker op een preparaat. | |
NL7811577A (nl) | Inrichting voor lithografie met behulp van een elek- tronenbundel. | |
NO146379C (no) | Apparat for fremkalling av en billedeksponert, straalingsfoelsom anordning. | |
NL7802098A (nl) | Roentgenfotografische inrichting. | |
NL172193C (nl) | Ingangsscherm voor een beeldversterkerbuis voor roentgenstralen. | |
JPS5398821A (en) | Photographic camera having device for measuring exposure through photographic lens | |
NL7809524A (nl) | Steuninrichting voor de patient bij panoramische roentgenfotografie. | |
NL7703123A (nl) | Inrichting voor het uitlezen van een optische stralingsreflekterende registratiedrager. | |
IT7829013A0 (it) | Dispositivo rivelatore di radiazione. | |
NL7812099A (nl) | Ontwikkelaar voor elektrostatische fotografie. | |
NL173789C (nl) | Verbindingsinrichting voor lichtgeleiders. |