NL2004992A - Spectral purity filter. - Google Patents
Spectral purity filter. Download PDFInfo
- Publication number
- NL2004992A NL2004992A NL2004992A NL2004992A NL2004992A NL 2004992 A NL2004992 A NL 2004992A NL 2004992 A NL2004992 A NL 2004992A NL 2004992 A NL2004992 A NL 2004992A NL 2004992 A NL2004992 A NL 2004992A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- radiation
- wavelength
- spectral purity
- purity filter
- apertures
- Prior art date
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Claims (1)
1. Een lithografïcinrichting omvattende: een belichtinginrichting ingericht voor het leveren van een stralingsbundel; een drager geconstrueerd voor het dragen van een patroneerinrichting, welke patroneerinrichting in staat is een patroon aan te brengen in een doorsnede van de stralingsbundel ter vorming van een gepatroneerde stralingsbundel; een substraattafel geconstrueerd om een substraat te dragen; en een projectieinrichting ingericht voor het projecteren van de gepatroneerde stralingsbundel op een doelgebied van het substraat, met het kenmerk, dat de substraattafel is ingericht voor het positioneren van het doelgebied van het substraat in een brandpuntsvlak van de projectieinrichting.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL2004992A NL2004992A (en) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | Spectral purity filter. |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL2004992 | 2010-06-29 | ||
NL2004992A NL2004992A (en) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | Spectral purity filter. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL2004992A true NL2004992A (en) | 2010-08-09 |
Family
ID=43269102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL2004992A NL2004992A (en) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | Spectral purity filter. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
NL (1) | NL2004992A (nl) |
-
2010
- 2010-06-29 NL NL2004992A patent/NL2004992A/en unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9726989B2 (en) | Spectral purity filter | |
EP2729844B1 (en) | Lithographic patterning process and resists to use therein | |
EP2678743B1 (en) | Grazing incidence reflector, lithographic apparatus, method for manufacturing a grazing incidence reflector and method for manufacturing a device | |
WO2013152921A1 (en) | Pellicle, reticle assembly and lithographic apparatus | |
NL2008391A (en) | Radiation source-collector and lithographic apparatus. | |
JP6144874B2 (ja) | リソグラフィ装置用の反射型光コンポーネントおよびデバイス製造方法 | |
EP2534537B1 (en) | Spectral purity filter | |
WO2013113537A2 (en) | Optical element, lithographic apparatus incorporating such an element, method of manufacturing an optical element | |
NL2005166A (en) | Spectral purity filter, lithographic apparatus, method for manufacturing a spectral purity filter and method of manufacturing a device using lithographic apparatus. | |
EP2283396B1 (en) | Multilayer mirror and lithographic apparatus | |
JP2010045355A (ja) | 放射源、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 | |
NL2004992A (en) | Spectral purity filter. | |
NL2004984A (en) | Spectral purity filter. | |
NL2006647A (en) | Grazing incidence reflectors, lithographic apparatus, methods for manufacturing a grazing incidence reflector and methods for manufacturing a device. | |
NL2010626A (en) | Radiation source-collector and method for refurbishment. | |
NL2006627A (en) | Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method. | |
NL2005763A (en) | Lithographic apparatus. | |
NL2007852A (en) | Multilayer mirror and lithographic apparatus |