NL158026B - Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling. - Google Patents

Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling.

Info

Publication number
NL158026B
NL158026B NL7314156.A NL7314156A NL158026B NL 158026 B NL158026 B NL 158026B NL 7314156 A NL7314156 A NL 7314156A NL 158026 B NL158026 B NL 158026B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
manufacturing
semiconductor circuit
integrated semiconductor
integrated
circuit
Prior art date
Application number
NL7314156.A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Other versions
NL7314156A (de
Original Assignee
Matsushita Electric Ind Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Ind Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Ind Co Ltd
Publication of NL7314156A publication Critical patent/NL7314156A/xx
Publication of NL158026B publication Critical patent/NL158026B/xx

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/29Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
    • H01L23/293Organic, e.g. plastic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
    • H01L21/0272Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers for lift-off processes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/522Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
NL7314156.A 1972-10-16 1973-10-15 Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling. NL158026B (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP47104283A JPS4960870A (de) 1972-10-16 1972-10-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL7314156A NL7314156A (de) 1974-04-18
NL158026B true NL158026B (nl) 1978-09-15

Family

ID=14376586

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7314156.A NL158026B (nl) 1972-10-16 1973-10-15 Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3945347A (de)
JP (1) JPS4960870A (de)
CA (1) CA989076A (de)
DE (1) DE2351943B2 (de)
FR (1) FR2203175B1 (de)
GB (1) GB1418969A (de)
NL (1) NL158026B (de)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4096623A (en) * 1974-07-01 1978-06-27 Siemens Aktiengesellschaft Thyristor and method of producing the same
FR2284981A1 (fr) * 1974-09-10 1976-04-09 Radiotechnique Compelec Procede d'obtention d'un circuit integre semiconducteur
US3985597A (en) * 1975-05-01 1976-10-12 International Business Machines Corporation Process for forming passivated metal interconnection system with a planar surface
US4045594A (en) * 1975-12-31 1977-08-30 Ibm Corporation Planar insulation of conductive patterns by chemical vapor deposition and sputtering
FR2340620A1 (fr) * 1976-02-06 1977-09-02 Ibm Procede de fabrication d'un dispositif integre a grande echelle ayant une surface plane
US4035276A (en) * 1976-04-29 1977-07-12 Ibm Corporation Making coplanar layers of thin films
JPS57176746A (en) * 1981-04-21 1982-10-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Semiconductor integrated circuit and manufacture thereof
US4564997A (en) * 1981-04-21 1986-01-21 Nippon-Telegraph And Telephone Public Corporation Semiconductor device and manufacturing process thereof
US4392298A (en) * 1981-07-27 1983-07-12 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Integrated circuit device connection process
US4440804A (en) * 1982-08-02 1984-04-03 Fairchild Camera & Instrument Corporation Lift-off process for fabricating self-aligned contacts
JPS5982746A (ja) * 1982-11-04 1984-05-12 Toshiba Corp 半導体装置の電極配線方法
US4631806A (en) * 1985-05-22 1986-12-30 Gte Laboratories Incorporated Method of producing integrated circuit structures
JPH02125422A (ja) * 1988-11-02 1990-05-14 Nec Corp 半導体装置の製造方法
KR0121106B1 (ko) * 1994-02-15 1997-11-10 김주용 반도체 소자의 금속배선 형성방법
US5854128A (en) 1996-04-29 1998-12-29 Micron Technology, Inc. Method for reducing capacitive coupling between conductive lines
TW350099B (en) * 1998-01-26 1999-01-11 United Microelectronics Corp IC microfilm process
DE10208728B4 (de) * 2002-02-28 2009-05-07 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterelements mit unterschiedlichen Metallsilizidbereichen

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE590576A (de) * 1959-05-06
US3160534A (en) * 1960-10-03 1964-12-08 Gen Telephone & Elect Method of making tunnel diodes
US3266127A (en) * 1964-01-27 1966-08-16 Ibm Method of forming contacts on semiconductors
NL132313C (de) * 1964-12-17 1900-01-01
US3498833A (en) * 1966-07-08 1970-03-03 Fairchild Camera Instr Co Double masking technique for integrated circuit
US3840982A (en) * 1966-12-28 1974-10-15 Westinghouse Electric Corp Contacts for semiconductor devices, particularly integrated circuits, and methods of making the same
GB1286737A (en) * 1969-10-15 1972-08-23 Itt Multilevel conductive systems
GB1363815A (en) * 1971-12-06 1974-08-21 Tektronix Inc Semiconductor device and method of producing same
US3747200A (en) * 1972-03-31 1973-07-24 Motorola Inc Integrated circuit fabrication method

Also Published As

Publication number Publication date
JPS4960870A (de) 1974-06-13
FR2203175B1 (de) 1977-09-23
CA989076A (en) 1976-05-11
DE2351943B2 (de) 1980-08-07
FR2203175A1 (de) 1974-05-10
GB1418969A (en) 1975-12-24
NL7314156A (de) 1974-04-18
DE2351943A1 (de) 1974-05-02
US3945347A (en) 1976-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL161620C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde schakeling.
NL7412121A (nl) Geheugenhalfgeleiderinrichting van het draad- vormige type alsmede werkwijze voor het ver- vaardigen van deze inrichting.
NL161302B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderin- richting.
NL161305B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderin- richting.
NL159534B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met van een geisoleerde stuurelektrode voorziene veldeffecttransistoren.
NL172710C (nl) Halfgeleiderlaser en werkwijze voor het vervaardigen van deze laser.
NL186608C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderinjectie-logicainrichting.
NL158026B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling.
NL7608923A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL162789C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleider- inrichting.
NL162511C (nl) Geintegreerde halfgeleiderschakeling met een laterale transistor en werkwijze voor het vervaardigen van de geintegreerde halfgeleiderschakeling.
NL158022B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL161619C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting.
NL169120C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een elektrisch element en element verkregen volgens deze werkwijze.
NL161301C (nl) Halfgeleiderinrichting en werkwijze voor de vervaar- diging daarvan.
NL186933C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleidergeheugenschakeling van het ladinggekoppelde type.
NL164157C (nl) Geintegreerde halfgeleiderschakeling van het ladings- gekoppelde type en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke halfgeleiderschakeling.
NL154062B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, alsmede geintegreerde halfgeleiderschakeling, vervaardigd met deze werkwijze.
NL159536B (nl) Halfgeleiderlaser en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL7410215A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde schakeling.
NL140365B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een elektronische microstructuur.
NL169802C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een door dielektrisch materiaal geisoleerde, geintegreerde halfgeleiderschakeling.
NL7604708A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geinte- greerde schakeling.
NL179248C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met complementaire transistoren.
NL7510427A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee
NL80 Information provided on patent owner name for an already discontinued patent

Owner name: MATSUS ELEC