NL1002876C2 - Device for manufacturing disc-shaped information carriers. - Google Patents

Description

Korte aanduiding: Inrichting voor het vervaardigen van schijfvormige informatiedragers.Short designation: Device for manufacturing disc-shaped information carriers.

De uitvinding heeft betrekking op een inrichting van de soort als omschreven in de kop van conclusie 1.The invention relates to a device of the type as defined in the preamble of claim 1.

Een dergelijke inrichting is bekend uit EP-0594255 (= US 5403397).Such a device is known from EP-0594255 (= US 5403397).

5 Bij deze bekende inrichting sluiten de modules zich aaneen tot een langgerekt huis, door het bovenste gedeelte waarvan zich als transportinrichting een geleide-rail uitstrekt, waarover een slede heen en weer beweegbaar is. Deze slede draagt een dwars ten opzichte van de 10 geleiderail gerichte leistang voor een in dwarsrichting heen en weer beweegbare drager met daaraan de in de hoogterichting beweegbare middelen voor het grijpen/af-geven van de te behandelen c.q. behandelde substraten (informatiedrager).In this known device, the modules join together to form an elongated housing, through the upper part of which a guide rail extends as a transport device, over which a carriage can be moved to and fro. This slide carries a guide rod directed transversely to the guide rail for a transversely movable carrier with the height-movable means for gripping / dispensing the substrates to be treated or treated (information carrier).

15 De uitvinding nu beoogt een meer compacte en minder kostbare inrichting van dit type te verschaffen.The invention now aims at providing a more compact and less expensive device of this type.

Volgens de uitvinding wordt dit doel bereikt met de maatregelen volgens het kenmerk van conclusie 1.According to the invention, this object is achieved with the features according to the feature of claim 1.

Door de modules van de verschillende behandelings-20 stations in een cirkel c.q. regelmatige veelhoek te plaatsen en volgens radii van die cirkel op elkaar te doen aansluiten en de transportinrichting centraal op te stellen wordt inderdaad een compacte, minder ruimte innemende uitvoering verwezenlijkt en worden de trans-25 portwegen c.q. -tijden bovendien aanzienlijk bekort waardoor de capaciteit van de inrichting wordt vergroot. Het plaatsen van de overeenkomstig de uitvinding met een cirkelsectorvormig c.q. gelijkbenig trapeziumvormig grondvlak uitgevoerde module in een met radiaal c.q. 30 stervormig verlopende montagerails uitgerust huisfreem biedt voorts de mogelijkheid met eenvoudige hoogte- en stelmiddelen en inschuifdiepte-instelmiddelen een nauwkeurige positionering van de modules ten opzichte van de as van de transportinrichting te verwezenlijken. Door de 35 zelf-lossende werking bij het uitnemen van de modules 1002876 2 blijft deze positionering ook na het opnieuw plaatsen van de modules behouden.By placing the modules of the different treatment stations in a circle or regular polygon and connecting them according to radii of that circle and arranging the transport device centrally, a compact, less space-consuming embodiment is indeed realized and the trans -25 port routes or times are also considerably shortened, which increases the capacity of the establishment. Placing the module according to the invention with a circular sector or isosceles trapezoidal base in a housing frame equipped with radial or star-shaped mounting rails furthermore offers the possibility with simple height and adjusting means and slide-in depth adjusting means relative to the modules. realize the axis of the transport device. Due to the self-releasing effect when removing the modules 1002876 2, this positioning is retained even after the modules have been replaced.

De volgens de uitvinding toegepaste centrale draaispil met radiaal daarvan uitstekende lastarm vormt 5 daarbij een aanzienlijke vereenvoudiging ten opzichte van de transportinrichting bij de bekende uitvoering. De beweging van de lastarm behoeft daarbij geen beweging door een precisieaandrijving te zijn om toch de gewenste positionering te verwezenlijken.The central pivot spindle used according to the invention with a load arm projecting radially therefrom thereby forms a considerable simplification compared to the transport device in the known embodiment. The movement of the load arm does not have to be a movement through a precision drive in order to still achieve the desired positioning.

10 Zo kunnen volgens een verder kenmerk van de uitvin ding de modules zijn uitgerust met een opstaand geleide-element, dat in de eindfase van een beweging van de lastarm vanuit de bovenste transportpositie naar een onderste oppak/afgiftepositie boven een behandelings-15 station (module) samenwerkt met een van de lastarm uitstekend geleidedeel ter tangentiale positionering van de lastarm.Thus, according to a further feature of the invention, the modules can be equipped with an upright guide element, which in the final phase of a movement of the load arm from the upper transport position to a lower pick-up / delivery position above a treatment station (module ) cooperates with one of the load arm protruding guide part for tangential positioning of the load arm.

Verdere kenmerken en voordelen van de inrichting volgens de uitvinding worden hieronder aan de hand van 20 de tekening met een uitvoeringsvoorbeeld nader toegelicht.Further features and advantages of the device according to the invention are explained in more detail below with reference to the drawing with an exemplary embodiment.

Fig. 1 is een schematisch bovenaanzicht van een inrichting volgens de uitvinding; fig. 2 is een vertikale doorsnede door het huis van 25 de inrichting volgens fig. 1; fig. 3 is een doorsnede volgens de lijn III-III in fig. 2; fig. 4 is een doorsnede volgens de lijn IV-IV in fig. 2; 30 fig. 5 is een doorsnede volgens de lijn V-V in fig.Fig. 1 is a schematic top view of a device according to the invention; FIG. 2 is a vertical section through the housing of the device of FIG. 1; Fig. 3 is a sectional view taken on the line III-III in Fig. 2; FIG. 4 is a section on line IV-IV in FIG. 2; Fig. 5 is a sectional view taken on the line V-V in Fig.

2 en fig. 6 is een aanzicht in perspectief van een modu-legrondplaat en fig. 7 is een vertikale doorsnede door een module 35 met de zich in de transportpositie daarboven bevindende lastarm.2 and FIG. 6 is a perspective view of a modular round plate and FIG. 7 is a vertical section through a module 35 with the load arm located above it in the transport position.

De in fig. 1 in schematisch bovenaanzicht 1002876 3 weergegeven inrichting bevat een achttal in een regelmatig achthoekige ring opgestelde modules 1-8. In het getekende voorbeeld gaat het om een substraat-in- en afvoermodule 1, een reinigings- en ontwikkelmodule 2, 5 een module 3 voor het opbrengen van een lichtgevoelige laag, een module 4 voor het conditioneren van de lichtgevoelige laag, een laserstraal-opneemmodule 5, een testmodule 6, een tweede laserstraalmodule 7 en een metalliseermodule 8.The device shown in Fig. 1 in schematic top view 1002876 3 comprises eight modules 1-8 arranged in a regularly octagonal ring. The drawn example is a substrate input and output module 1, a cleaning and development module 2, 5 a module 3 for applying a photosensitive layer, a module 4 for conditioning the photosensitive layer, a laser beam recording module 5, a test module 6, a second laser beam module 7 and a metalizing module 8.

10 In de modules 2-8 wordt een via de module 1 inge voerd schijfvormig substraat van glas aan een aantal op zich zelf bekende bewerkingen c.g. behandelingen onderworpen, welke uiteindelijk een schijfvormige informatiedrager of "master" opleveren, die door de module 1 wordt 15 afgevoerd.In modules 2-8 a disc-shaped glass substrate is introduced via module 1 to a number of operations known per se c.g. subjected to treatments which eventually yield a disc-shaped information carrier or "master" which is discharged through module 1.

In het midden van de achthoek staat een vertikale draaispil 9 opgesteld, die aan zijn boveneinde een radiaal uitstekende lastarm 10 draagt. De lastarm 10 is in de hoogterichting beweegbaar tussen een onderste 20 oppak/afgiftepositie en een bovenste transportpositie, zodat het te bewerken c.g. te behandelen substraat daarmede van de ene module naar de andere module kan worden getransporteerd. De modules worden bijvoorbeeld doorlopen in de volgorde: 25 l-> 2 -> 3-4-5-6 en/of 8-3-9-7-1.A vertical pivot 9 is arranged in the center of the octagon, which carries a radially projecting load arm 10 at its top end. The load arm 10 is movable in the height direction between a lower pick-up / delivery position and an upper transport position, so that it can be processed c.g. substrate to be treated can thus be transported from one module to another. For example, the modules are run in the order: 25 l-> 2 -> 3-4-5-6 and / or 8-3-9-7-1.

Het in fig. 2-5 weergegeven freem c.g. huis van de inrichting is opgebouwd uit een centrale holle kolom 11, bestaande uit een onderste buissectie 12 met een bovenflens 12a en een onderflens 12b, en een bovenste buis-30 sectie 13 van kleinere diameter. De buissectie 13 eindigt met zijn bovenrand juist boven de bovenrand van de onderste buissectie 12 en heeft op een afstand onder zijn bovenrand een flens 13a, met behulp waarvan de buissectie wordt gedragen door een achthoekige boven-35 plaat 14, die op zijn beurt met een achttal afstandsbus-sen 15 wordt gedragen door de bovenflens 12a van de onderste buissectie 12.The frame c.g. The housing of the device is composed of a central hollow column 11, consisting of a lower tube section 12 with an upper flange 12a and a lower flange 12b, and an upper tube section 13 of smaller diameter. The tube section 13 ends with its top edge just above the top edge of the bottom tube section 12 and has a flange 13a spaced below its top edge, by means of which the tube section is supported by an octagonal top plate 14, which in turn has a eight spacers 15 are supported by the top flange 12a of the bottom tube section 12.

1002876 41002876 4

Vanaf de onderste flens 12b van de buissectie 12 reiken een achttal freembalken 16 stervormig naar buiten. Tenminste een aantal van deze freembalken is aan het vrije uiteinde van een verstelbare steunvoet 17 5 voorzien.From the lower flange 12b of the tube section 12, eight frame beams 16 extend star-shaped. At least some of these frame beams are provided with an adjustable support foot 17 at the free end.

Vanaf de afstandsbussen 15 reikt een zelfde aantal geleidingsrails 18 stervormig naar buiten. Deze gelei-dingsrails hebben een -vormige dwarsdoorsnede en fungeren twee aan twee als oplegging van een van buiten-10 af in te schuiven module-grondplaat 19. Elk der grond-platen 19 ligt met zijn schuine zijranden via hoogte-instelorganen 20 aan op de naar elkaar toegekeerde flenzen van twee naburige geleidingsrails 18. De trapeziumvormige module-grondplaat 19 (zie fig. 6) is voor-15 zien van openingen voor het doorlaten van een reinigende luchtstroom naar de ruimte daaronder en is voor elke module voorzien van een oplegplateau of draaitafel ter ondersteuning van het substraat. In fig. 6 is deze oplegging c.q. ondersteuning schematisch met een cirkel 20 weergegeven.The same number of guide rails 18 extend star-shaped from spacers 15. These guide rails have a cross-sectional shape and function two by two as a support for a module base plate 19 which can be slid in from the outside. Each of the base plates 19 rests with its oblique side edges via height adjustment members 20. facing flanges of two adjacent guide rails 18. The trapezoidal module base plate 19 (see fig. 6) is provided with openings for passage of a purifying air stream to the space below and for each module is provided with a support plate or turntable to support the substrate. In Fig. 6 this support or support is schematically represented by a circle 20.

Op een afstand recht onder de geleidingsrails 18 bevinden zich soortgelijke rails 21 als oplegging voor van buitenaf in te schuiven trapeziumvormige afdekplaten 22, (zie fig. 4) die de ringvormige ruimte 23 rond de 25 onderste buissectie 12 naar boven toe afsluiten.At a distance directly below the guide rails 18, there are similar rails 21 as a support for trapezoidal cover plates 22 to be slid in from the outside (see Fig. 4), which close the annular space 23 around the bottom tube section 12 upwards.

De freembalken 16 en de rails 18 en 21 zijn aan hun buitenste uiteinden in vertikale richting verbonden door stijlen 24, terwijl zij in het horizontale vlak onderling zijn verbonden door volgens de zijden van een 30 achthoek verlopende verbindingsbalken 25.The frame beams 16 and rails 18 and 21 are vertically connected at their outer ends by uprights 24, while in the horizontal plane they are interconnected by connecting beams 25 running on the sides of an octagon.

De ruimte tussen de op de geleiderails 18 liggende module-grondplaten 19 en de daaronder op de rails 21 liggende afdekplaten vormt de eigenlijke opneemruimte M voor de modules. Deze ruimte staat via de openingen in 35 de module-grondplaten 19 in verbinding met de ruimte daarboven, is aan de buitenzijde door een toegangsdeur of sluitplaat afgesloten en staat radiaal naar binnen 1002876 5 toe via de ruimte rond het onderste gedeelte van de bovenste buissectie 13 in verbinding met de onderste buissectie 12.The space between the module base plates 19 lying on the guide rails 18 and the cover plates lying underneath on the rails 21 forms the actual accommodation space M for the modules. This space communicates with the space above it through the openings in the module base plates 19, is closed on the outside by an access door or strike plate and allows radial inwards 1002876 5 via the space around the lower part of the upper pipe section 13 in connection with the lower tube section 12.

Het geheel is van boven afgesloten met een kap 50, 5 die rust op een op de boveneinden van de stijlen 24 aangebrachte rondgaande balk 51. Het bovenste gedeelte 52 is ingericht voor het filtreren van lucht die door een centrale inlaat 53 binnen kan treden. De gefiltreerde reinigingslucht treedt door een de ruimte 52 aan de 10 onderzijde afsluitende zeefplaat 54 in de ruimte 55 daaronder, waarin de lastarm 10 zijn draaibeweging uitvoert en die van opzij door doorzichtige en eventueel te openen wanden inspecteerbaar is.The whole is closed at the top with a cap 50, 5 which rests on a circular beam 51 arranged on the upper ends of the posts 24. The top part 52 is arranged for filtering air which can enter through a central inlet 53. The filtered cleaning air passes through a screen plate 54 closing at the bottom 52 into the space 55 below, in which the load arm 10 carries out its rotary movement and which can be inspected from the side through transparent and optionally open walls.

In fig. 2 is met pijlen de beweging van de reini-15 gingslucht weergegeven. Een gelijkmatige vertikale luchtstroom komt via de zeefplaat 54 in de ruimte 55. Van daaruit stroomt de lucht via openingen in de verschillende module-grondplaten 19 in de moduleruimten M om vervolgens daaruit aan de binnenzijde via de onderste 20 buissectie 12 te worden afgezogen. De inlaat- en uit-laatdrukken worden daarbij zo gekozen dat de druk op het behandelingsniveau juist boven de module-grondplaten 19 vrijwel overeenkomt met de omgevingsdruk.In Fig. 2 arrows show the movement of the cleaning air. A steady vertical airflow enters the chamber 55 via the screen plate 54. From there, the air flows through openings in the various module base plates 19 into the module spaces M and is subsequently extracted therefrom on the inside via the bottom tube section 12. The inlet and outlet pressures are selected so that the pressure at the treatment level just above the module base plates 19 almost corresponds to the ambient pressure.

De draaispil 9 voor de lastarm 10 is een holle as 25 26, die draaibaar is gelagerd in een slede 27, die met rollen 28 vertikaal beweegbaar is geleid langs een aan de binnenzijde van de bovenste buissectie 13 bevestigde leidsteun 29.The pivot 9 for the load arm 10 is a hollow shaft 26, which is rotatably mounted in a carriage 27, which is guided vertically movable with rollers 28 along a guide support 29 mounted on the inside of the upper tube section 13.

De holle as 26 draagt daarbij een tandwiel 30, dat 30 direct dan wel via een tandriem in ingrijping staat met een door een vast op de slede 27 gemonteerde aandrijfmotor 31 aangedreven rondsel. Op het boveneinde van de holle as 26 zit de kokervormige arm 32 van de lastarm 10 vastgeklemd. Deze lastarm steekt opzij van een met de 35 holle as 26 verbonden en meedraaiende kap 26a naar buiten.The hollow shaft 26 thereby carries a gear wheel 30, which meshes directly or via a toothed belt with a pinion driven by a drive motor 31 fixedly mounted on the carriage 27. The tubular arm 32 of the load arm 10 is clamped on the top end of the hollow shaft 26. This load arm protrudes to the side of a cap 26a connected to the hollow shaft 26 and rotating.

Binnen de holle as 26 is een massieve dunnere as 33 1002876 6 draaibaar, die aan zijn benedeneinde een tandwiel 34 draagt dat aandrijf baar is door een eveneens door de slede 27 gedragen (in de tekening niet nader weergegeven) motor.Within the hollow shaft 26 a solid thinner shaft 33 1002876 6 is rotatable, which carries at its lower end a gear wheel 34 which can be driven by a motor also carried by the carriage 27 (not shown in the drawing).

5 De kokervormige arm 32 (zie fig. 7) draagt aan zijn vrije einde een vertikaal naar beneden reikende vaste bus 35, die op zijn beurt aan zijn benedeneinde is voorzien van een draagring 36 voor een aantal langs de omtrek daarvan verspreid liggende om vertikale assen 10 naar binnen en naar buiten zwenkbare draagklemmen 37.The tubular arm 32 (see fig. 7) carries at its free end a vertically downwardly extending fixed sleeve 35, which in turn is provided at its lower end with a supporting ring 36 for a number of circumferentially extending axes thereof 10 inward and outwardly pivoting support clamps 37.

Door de bus 35 heen loopt een draaibare as 38, die aan zijn boveneinde een tandwiel 39 draagt en op het benedeneinde waarvan een der draagklemmen 37 is bevestigd. Het tandwiel 39 staat via een zich door de arm 32 15 heen uitstrekkende tandriem 40 in verbinding met een corresponderend tandwiel 41 (zie fig. 2) op het boveneinde van de massieve as 33.A rotatable shaft 38 runs through the bush 35, which carries a gearwheel 39 at its upper end and to which a support clamp 37 is fastened to the lower end. The gearwheel 39 communicates with a corresponding gearwheel 41 (see Fig. 2) on the top end of the solid shaft 33 via a toothed belt 40 extending through the arm 32.

De assen van de draagklemmen 37 zijn elk voorzien van een tandwiel 42, welke tandwielen via een binnen de 20 draagring geleide tandriem met elkaar zijn gekoppeld. De bus 35 is voorzien van een radiaal naar binnen reikende pen 43 met aan het vrije einde daarvan een tastrol 44, welke samenwerkt met een van elke module-grondplaat 19 opstaand geleide-element 45 (zie fig. 2, 6 en 7).The shafts of the carrier clamps 37 each comprise a gear wheel 42, which gear wheels are coupled to each other via a toothed belt guided within the carrier ring. The sleeve 35 is provided with a radially inwardly extending pin 43 with a feeler roller 44 at its free end, which co-acts with a guide element 45 rising from each module base plate 19 (see FIGS. 2, 6 and 7).

25 Deze samenwerking wordt thans nader toegelicht aan de hand van fig. 7, waarin een module met een opleg-draaitafel voor een te reinigen substraat S is weergegeven. De tekening toont de lastarm 10 met de oppakring 36 in de transportpositie recht boven de draaitafel D. De 30 klemmen 57 bevinden zich in hun naar binnen gezwenkte werkzame stand en dragen het aan een spoelbehandeling te onderwerpen substaat S.This cooperation will now be further elucidated with reference to Fig. 7, in which a module with a support turntable for a substrate S to be cleaned is shown. The drawing shows the load arm 10 with the pick-up ring 36 in the transport position directly above the turntable D. The clamps 57 are in their inwardly pivoted operating position and carry the substrate S to be subjected to a rinsing treatment.

Vanuit de in fig. 7 met volgetrokken lijnen aangegeven positie wordt de lastarm neergelaten in de met 35 stippellijnen aangegeven positie.From the position indicated by solid lines in Fig. 7, the load arm is lowered to the position indicated by dotted lines.

Deze beweging vindt plaats onder besturing van een vast binnen de bovenste buissectie 13 gemonteerde aan- 1002876 7 ft drijfmotor 46, waarvan de krukschijf 47 een drijfstang 48 aandrijft, welke op zijn beurt scharnierend aangrijpt op de slede 27.This movement takes place under the control of a drive motor 46 fixedly mounted within the upper tube section 13, the crank disc 47 of which drives a connecting rod 48, which in turn hinges to engage the carriage 27.

In de laatste fase van de benedenwaartse beweging 5 treedt de tastrol 44 in ingrijping met de positione-ringssleuf 45a van het van de module-grondplaat 19 opstaande geleide-element 45, waardoor de lastarm 10 met de ring 36 in omtreksrichting goed wordt gepositioneerd.In the final phase of the downward movement 5, the sensing roller 44 meshes with the positioning slot 45a of the guide element 45 raised from the module base plate 19, whereby the load arm 10 with the ring 36 is correctly positioned in the circumferential direction.

In de met stippellijnen aangegeven situatie (fig.In the situation indicated by dotted lines (fig.

10 7) worden de klemmen vervolgens onder het substraat S10 7) the clamps are then placed under the substrate S.

naar buiten weggedraaid onder besturing van de het tandwiel 34 aandrijvende (in de tekening niet nader weergegeven) motor. Daarbij wordt een laatste en fijne positionering van het substraat op de draaitafel Dturned outwards under the control of the motor driving the gear wheel 34 (not shown in more detail in the drawing). This involves a final and fine positioning of the substrate on the turntable D.

15 bewerkstelligd met behulp van een zich aan de onderzijde van het substraat bevindende centreerkogel k, die met een schuifpassing in een opneemboring b van de draaitafel D wordt opgenomen en daarin met behulp van een permanente magneet m rotatievast wordt vastgehouden.15 is effected by means of a centering ball k located on the underside of the substrate, which is slidably received in a receiving bore b of the turntable D and is held therein rotationally by means of a permanent magnet.

20 De werkzame delen van de verschillende modules kunnen van een op zichzelf bekende constructie, zoals die volgens bovengenoemd EP-0594255 zijn.The active parts of the different modules can be of a construction known per se, such as that according to the above-mentioned EP-0594255.

10028761002876

Claims (8)

1. Inrichting voor het uitvoeren van een aantal opeenvolgende behandelingen op een schijfvormig substraat, meer in het bijzonder ter vervaardiging van een schijf- 5 vormige informatiedrager, omvattende een aantal in modulevorm op elkaar aansluitende en uitneembaar in een afsluitbaar huis ondergebrachte behandelingsstations -waaronder een aan/afvoerstation (module) voor nog te behandelen substraten respectievelijk reeds behandelde 10 substraten (informatiedragers) - alsmede een transportinrichting met zowel in het horizontale vlak als vertikaal beweegbare transportmiddelen voor het oppakken/af-geven van een nog te behandelen respectievelijk reeds behandeld substraat en het transporteren ervan van 15 station naar station, met het kenmerk, dat de modules van de behandelingsstations een afgeknot cirkelsectorvormig c.q. gelijkbenig trapeziumvormig grondvlak hebben en zich tot een huis met een cirkelvormig c.q. regelmatig veelhoekig grondvlak aaneensluiten, en dat de 20 transportinrichting een centraal in het huis gelagerde, in tegengestelde richtingen aandrijfbare vertikale draaispil omvat, met van een radiaal daarvan uitstekende, in de hoogterichting tussen een onderste oppak/af-giftepositie en een bovenste transportstand beweegbare 25 lastarm, die aan zijn vrije einde de middelen voor het oppakken en afgeven van de substraten c.q. informatiedragers bevat.1. Device for carrying out a number of successive treatments on a disc-shaped substrate, more in particular for the manufacture of a disc-shaped information carrier, comprising a number of treatment stations connected in module form and removably housed in a lockable housing, including a / discharge station (module) for substrates to be treated or already treated substrates (information carriers) - as well as a transport device with transport means movable in both the horizontal plane and vertically for picking up / dispensing a substrate which is yet to be treated or already treated transporting it from station to station, characterized in that the modules of the treatment stations have a truncated circular sector or isosceles trapezoidal ground surface and join to form a house with a circular or regular polygonal ground surface, and that the transport device a centrally mounted in the opposite direction drivable vertical pivot spindle comprising a radially projecting radial thereof, elevated in the height direction between a lower pick-up / drop position and an upper transport position, which load arm at its free end picking up and delivering the substrates or information carriers. 2. Inrichting volgens conclusie 1, gekenmerkt door een huisfreem met radiaal c.q. stervormig vanuit het midden 30 naar buiten gerichte montagerails, waarbij telkens twee opeenvolgende montagerails een oplegsteun voor een in hoofdzaak cirkelsector- c.q. gelijkbenig trapeziumvormige module-grondplaat vormen.2. Device according to claim 1, characterized by a housing frame with radial or star-shaped mounting rails directed outwards from the center 30, wherein two successive mounting rails each form a support for a substantially circular sector or isosceles trapezoidal module base plate. 3. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, 35 dat de modules zijn uitgerust met een opstaand geleide- element, dat in de eindfase van een beweging van de lastarm vanuit de bovenste transportpositie naar een 10 o : B 7 6 onderste oppak/afgiftepositie boven een behandelings-station saxnenwerkt met een van de lastarm uitstekend geleidedeel ter tangentiale positionering van de lastarm.Device according to claim 1, characterized in that the modules are provided with an upright guide element, which in the final phase of a movement of the load arm from the upper transport position to a lower pick-up / delivery position. above a treatment station, sax work with a guide part protruding from the load arm for tangential positioning of the load arm. 4. Inrichting volgens conclusies 1-2, met het kenmerk, dat de ruimten boven substraatoplegniveau in de verschillende modules tezamen een ononderbroken cirkelvormige manoeuvreerruimte voor de lastarm vormen.Device according to claims 1-2, characterized in that the spaces above the substrate bearing level in the different modules together form a continuous circular maneuvering space for the load arm. 5. Inrichting volgens conclusie 4, met het kenmerk, 10 dat de ruimte boven substraat-oplegniveau naar boven toe wordt afgesloten door een kap, ingericht voor het onderhouden van een vertikale naar beneden gerichte stroom van reinigende lucht, welke lucht via openingen in de module-grondplaten door de moduleruimten heen en vandaar 15 binnenwaarts naar een centrale afvoerbuis kan stromen.5. Device as claimed in claim 4, characterized in that the space above the substrate support level is closed upwards by a hood, adapted to maintain a vertical downward flow of cleaning air, which air flows through openings in the module base plates can flow through the module spaces and from there 15 inward to a central discharge tube. 6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de centrale buis een centrale steun vormt voor stervormig c.g. radiaal daarvan uitgaande montagerails en freembalken.6. Device as claimed in claim 5, characterized in that the central tube forms a central support for star-shaped c.g. mounting rails and frame bars radially extending therefrom. 7. Inrichting volgens conclusies 5-6, met het kenmerk, dat de draaispil voor de lastarm in vertikale richting beweegbaar in de centrale buis is gelagerd.Device as claimed in claims 5-6, characterized in that the pivot spindle for the load arm is mounted in the central tube in a vertically movable direction. 8. Substraat, meer in het bijzonder schijfvormig substraat van glas, geschikt voor bewerking c.q. behan-25 deling in de inrichting volgens conclusies 1-4, met het kenmerk, dat dit substraat aan de van het te behandelen oppervlak afgekeerde zijde van een kogelvormig, magne-tiseerbaar centreerelement is voorzien, welke element schuivend past in een cilindrische opneemboring in het 30 oplegplateau c.q. draaitafel van de behandelingsmodules, waarbij in de bodem van de opneemboring een magneet aanwezig is. 10028768. Substrate, more in particular disc-shaped substrate of glass, suitable for processing or treatment in the device according to claims 1-4, characterized in that this substrate is on the side of a ball-shaped, facing away from the surface to be treated, a magnetizable centering element is provided, which element fits slidingly into a cylindrical receiving bore in the support plate or turntable of the treatment modules, a magnet being present in the bottom of the receiving bore. 1002876