KR980006398A - 진동 감쇄장치 - Google Patents

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KR980006398A
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다까히데 하가
가쯔히데 와따나베
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마에다 시게루
가부시키 가이샤 에바라 세사쿠쇼
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Abstract

본 발명의 목적은 공기 스프링과 적은 용량을 갖는 전자기 작동기의 조합에 기초하여, 테이블 상의 목표 장비의 이동에 의해 초래되는 진동 방지 테이블의 무게가 큰 거리를 이동할 경우에도 진동 방지 테이블을 수평 위치로 유지할 수 있는 조밀한 진동 감쇄 장치를 제공하는 것이다. 진동 방지 테이블 상의 목표 장비의 바닥 진동을 차단하고 진동을 감쇄시키는 진동 감쇄 장치는; 적어도 3개의 변위 센서, 가속 센서, 부양 위치 제어 수단, 진동 감쇄 제어 수단, 및 공기압에 의해 진동 방지 테이블의 4개의 모서리를 지지하는 공기 스프링 작동기를 포함하고; 상기 각 공기 스프링 작동기의 공기압은 상기 진동방지 테이블 상의 목표 장비의 이동에 의해 초래되는 무게의 이동에 대응하는 하중의 변화에 응답하여 제어된다.

Description

진동 감쇄장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 제 1실시예의 시스템에 대한 제어 회로를 상세하게 나타내는 도면.

Claims (4)

  1. 공기 스프링과 전자기 작동기의 조합 작동에 기초하여 진동방지 테이블 상의 목표 장비의 바닥 진동을 차단하거나 진동을 감쇄시키는 진동 감쇄 장치에 있어서, 수직 위치를 검출하고 변위 신호를 출력하는 적어도 3개의 변위 센서; 상기 진동방지 테이블의 수직 가속도를 검출하고 가속 신호를 출력하는 가속 센서; 상기 변위 센서로부터의 변위 신호에 기초한 제 1 보상 회로 출력 신호에 따른 상기 전자기 작동기용 부양 위치 제어 수단; 상기 가속 센서로부터의 가속 신호에 기초한 제 2 보상 회로 출력 신호에 따른 상기 전자기 작동기용 진동 감쇄 제어 수단; 및 상기 진동방지 테이블의 4개의 모서리를 공기압에 의하여 지지하며 공기압 제어수단에 의해 각각 독립적으로 조정가능한 공기 스프링 작동기들을 포함하고, 상기 각 공기 스프링 작동기의 공기압은 상기 진동방지 테이블 상의 상기 목표 장비의 이동에 의해 초래되는 무게의 이동에 상응하는 하중의 변화에 응답하여 제어되는 것을 특징으로 하는 진동 감쇄 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 변위 신호에 기초한 상기 제 1 보상 회로로부터의 출력 신호는 제어 출력 분배기로 공급되고, 상기 각 공기 스프링 압력 제어 수단에서 공기압 신호로 변환되는 것을 특징으로 하는 진동 감쇄 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 공기 스프링 작동기용 공기압은 상기 진동방지 테이블 상의 상기 목표 장비의 위치 신호에 따라 조절되고, 상기 위치 신호는 피드 포워드 제어기에 의해 상기 공기압 신호로 변환되는 것을 특징으로 하는 진동 감쇄 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 가속 센서는 상기 전자기 작동기와 구별되는 위치에 설치되고, 제어 수단은 감지된 신호를 작동지점에서 상기 전자기 작동기를 제어하기 위해 등가의 작동 지점 신호로 변환시키는데 사용되는 것을 특징으로 하는 진동 감쇄 장치.
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