KR970077007A - 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 투명전극을 격벽과 양극으로 분리한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 개시한다. 이 방법은 투명 기판위에 투명세로전극 패턴을 형성하는 단계; 투명세로전극 패턴의 내부를 소정 깊이까지 식각하는 단계; 투명세로전극의 식각된 부분에 적, 녹, 청의 형광체를 형성하는 단계; 희생층을 전면에 소정 두께로 도포하는 단계; 도포된 희생층의 가장자리 소정부분을 식각하는 단계; 전면에 전극물질을 소정 두께로 증착하는 단계; 증착된 전극물질이 상기 투명전극 패턴과 수직하도록 전극패턴을 형성하는 단계; 희생층을 제거하는 단계를 포함한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도의 (가)부터 (라)는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 설명하기 위한 공정 흐름도, 제3도는 제2도의 방법에 따라 형성된 플라즈마 디스플레이 패널의 평면도.
Claims (7)
- 투명 기판위에 투명세로전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명세로전극 패턴의 내부를 소정 깊이까지 식각하는 단계; 상기 투명세로전극의 식각된 부분에 적, 녹, 청의 형광체를 형성하는 단계; 희생층을 전면에 소정 두께로 도포하는 단계; 도포된 희생층의 가장자리 소정부분을 식각하는 단계; 전면에 전극물질을 소정 두께로 증착하는 단계; 증착된 전극물질이 상기 투명전극 패턴과 수직하도록 전극패턴을 형성하는 단계; 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 투명전극패턴의 형성은 투명전극층과 감광막을 순차적으로 형성하고, 사진식각 공정을 통하여 제1감광막 패턴을 형성하는 단계; 건식식각법으로 노출된 투명전극층을 제거하는 단계; 그리고 제1감광막 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 투명전극의 식각은 플라즈마를 이용한 건식식각법인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 희생층은 폴리이미드인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 투명전극은 인듐주석산화물인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
- 투명기판과 상기 투명기판상에 형성되어, 내부 소정 부분에 공간을 가지며, 셀과 셀을 분리시키는 격벽 및 세로전극으로 가능하는 투명세로전극과, 상기 투명세로전극의 내부에 위치하는 형광체와, 상기 투명세로전극과 직교하며, 소정 간격을 두고 배열된 가로전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이.
- 제6항에 있어서, 상기 투명전극은 서로 일정한 간격을 두고 분리된 구조인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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