KR970072124A - 반도체장치의 세정에 사용하는 청정용 소재 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체장치의 세정에 사용하는 청정용 소재에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 청정용 소재는 천이나 종이와 같은 고형 청정용 소재와 유기용액을 포함하고 있는 반도체장치의 청정용 소재에 있어서, 상기 고형 청정용 소재와 유기용액은 결합된 상태인 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명에 의한 청정용 소재는 사용상에 있어서의 번거로움이 없다. 또한 유기용액을 다른 소재와 결합시켜 보관하므로 휘발에 의한 소모가 작아서 원가절감의 효과가 있다. 한마디로, 본 발명에 의한 청정용소재는 취급에 있어서 위험성이 없고 사용이 쉬우며 간편하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 세정에 사용하는 청정용 소재를 나타낸 도면이다.
Claims (2)
- 천이나 종이와 같은 고형 청정용소재와 유기용액을 포함하고 있는 반도체장치의 세정에 사용하는 청정용 소재에 있어서, 상기 고형 청정용 소재와 유기용액을 결합된 상태인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 세정에 사용하는 청정용 소재.
- 제1항에 있어서, 상기 유기용액은 I.P.A 인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 세정에 사용한 청정용 소재.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009691A KR970072124A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 반도체장치의 세정에 사용하는 청정용 소재 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960009691A KR970072124A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 반도체장치의 세정에 사용하는 청정용 소재 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970072124A true KR970072124A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66222913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960009691A KR970072124A (ko) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 반도체장치의 세정에 사용하는 청정용 소재 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970072124A (ko) |
-
1996
- 1996-04-01 KR KR1019960009691A patent/KR970072124A/ko not_active Application Discontinuation
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