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Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사filedCritical김광호
Priority to KR1019950042863ApriorityCriticalpatent/KR970030424A/ko
Publication of KR970030424ApublicationCriticalpatent/KR970030424A/ko
Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer
(AREA)
Abstract
본 발명은 웨이퍼 반송 로봇과 조립 모듈 배치(MODULE BATH)로 구성된 웨이퍼 세정 장치에 관한 것으로, 특히 360°의 회전 반경을 갖는 반송로봇과 독립 모듈식배치로써 무한 조립에 의해 극대화된 호환성을 구현하는 웨이퍼 세정 장치에 관한 것으로 로딩/언로딩시의 웨이퍼를 취부하여 X-Y-Z측의 운동 반경에 따라 각 스텝으로 이동시키키 위한 반송 로봇과, 상기 반송 로봇의 운동 반경내에 각 스텝별로 설치된 웨이퍼 처리조(BATH)를 구비하여 엣스테이션에서의 웨이퍼 세정이 가능함을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 장치.
Description
웨이퍼 세정 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼 세정 장치의 구성 상태도.
Claims (2)
로딩/언로딩시의 웨이퍼를 취부하여 X-Y-Z축의 운동 반경에 따라 각 스텝으로 이동시키기 위한 반송 로봇과, 상기 반송 로봇의 운동 반경내에 각 스텝별로 설치된 웨이퍼 처리조(BATH)를 구비하여 엣스테이션에서의 웨이퍼 세정이 가능함을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 장치.
제1항에 있어서, 상기 반송 로봇과 처리조(BATH)는 각각 독립된 모듈로써 조립된 유니트로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 장치.
Impianto di lavorazione di pezzi su pallet mediante macchina utensile con un unico dispositivo per il trasferimento dei pallet tra una stazione di lavoro e un'adiacente stazione di carico/scarico dei pallet.