KR970007080Y1 - 릴레이 제어회로를 이용한 인터락 장치 - Google Patents

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KR970007080Y1
KR970007080Y1 KR2019940013525U KR19940013525U KR970007080Y1 KR 970007080 Y1 KR970007080 Y1 KR 970007080Y1 KR 2019940013525 U KR2019940013525 U KR 2019940013525U KR 19940013525 U KR19940013525 U KR 19940013525U KR 970007080 Y1 KR970007080 Y1 KR 970007080Y1
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현대전자산업 주식회사
김주용
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Abstract

내용없음

Description

릴레이 제어회로를 이용한 인터락 장치
제1도는 본 고안의 일실시예에 따른 상세 회로도.
제2도는 본 고안의 보드와 도어 사이에 물체가 없을 때의 동작상태도.
제3도는 본 고안의 보드와 도어 사이에 물체가 있을 때의 동작 상태도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
11 : 전원공급원12 : 감지부
13 : 릴레이 제어부14 : 솔레이드 밸브
21 : 리플회로22 : 전원 표시부
23 : 광학센서31 : 릴레이 스위치
32 : 릴레이 동작 표시부
본 고안은 반도체 공정에서 밸브 제어회로에 관한 것으로서, 특히 센터파인더 보드(Centerfinder Board: 이하 보드라 칭함)와 공정챔버(chamber)의 입출력 슬릿도어(I/O slit door:이하 도어라 칭함) 사이에 웨이퍼가 있을 때 도어가 닫히지 않도록 된 릴레이 제어회로를 이용한 인터락(Interlock) 장치에 관한 것이다.
일반적으로 종래에는 광학 센서에 의해 그 신호가 중앙처리장치(CPU) 보드를 거쳐 디지탈 입출력 보드로 들어가 솔레노이드 밸브를 열고 닫게 하는 프로그램으로 되어 있어 웨이퍼의 유, 무에 관계없이 도어를 열고 닫을 수 있어서 웨이퍼가 깨질 위험이 많았고, 장비 자체를 설계할 당시 모방이 불가능하도록 메인보드(Mail Board)를 거쳐야 하는 원리로 되어 있어 타 장비에서는 사용할 수 없는 문제점이 있었다.
따라서, 상기 종래의 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은 반도체 공정에서 보드와 도어 사이에 웨이퍼의 유,무를 감지하여 보드와 도어 사이에 웨이퍼가 있을 경우에 도어가 닫히지 않도록 제어할 수 있는 릴레이 제어회로를 이용한 인터락 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 전원공급원에 연결되어 광학센서 사이에 물체의 유, 무를 감지하는 감지수단과, 상기 감지수단에 연결되어 솔레노이드 밸브의 개폐를 제어하는 릴레이 제어수단과, 이 릴레이 제어수단의 제어를 받아 개폐되는 솔레노이드 밸브를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 일실시예를 상세히 설명한다.
먼저, 제1도는 본 고안의 일실시예에 따른 상세 회로도로서, 도면에서 11은 전원공급원, 12는 감지부, 13은 릴레이 제어부, 14는 솔레노이드 밸브, 21은 리플회로, 22는 전원표시부, 23은 광학센서부, 31은 릴레이 스위치, 32는 릴레이 작동표시부, R1, R2, R4, R5, R6은 저항, R3은 가변저항, TR1, TR2, Q1은 트랜지스터, L1,2L는 인덕터, C1은 커패시터, LED1, LED2, CR1은 발광다이오드를 각각 나타낸다.
본 고안은 도면에 도시한 바와같이, 전워공급원(11)에 연결되어 광학센서 사이에 물체의 유, 무를 감지하는 감지부(12)와, 상기 감지부(12)에 연결되어 솔레노이드 밸브의 개폐를 제어하는 릴레이 제어부(13)와, 이 릴레이 제어부(13)의 제어를 받아 개폐되는 솔레노이드 밸브(14)로 구성되어 있다.
상기 감지부(12)는 전원공급원(11)에 연결되어 공급된 전원을 정류하는 리플회로(21)와, 이 리플회로에 의해 정류된 전원의 인가를 나타내는 전원표시부(22)와, 상기 전원표시부(22)에 연결되어 웨이퍼의 유,무를 감지하는 광학센서부(23)와, 상기 광학센서부(23)의 출력신호에 따라 스위칭되는 트랜지스터(TR1)로 구성되어 있다.
그리고, 상기의 릴레이 제어부(13)는 상기 감지부(12)의 감지신호에 따라 스위칭되는 트랜지스터(TR2)와, 이 트랜지스터(TR2)의 스위칭 동작에 따라 구동되는 릴레이 스위치(31)와, 이 릴레이 스위치(31)의 구동여부를 나타내는 표시부(32)로 구성되어 있다.
이러한 구성을 갖는 본 고안의 일실시예에 따른 세부동작을 제2도 및 제3도를 통하여 살펴본다.
제2도는 보드와 도어 사이에 물체가 없을 때 동작 상태도이고, 제3도는 보드와 도어 사이에 물체가 있을 때의 동작 상태도이다.
먼저, 제2도에 도시한 바와 같이 보드와 도어 사이에 물체가 없을 경우에는 전원공급원(11)에서 인가된 전원을 리플회로(21)에서 정류하고, 이 정류된 전원이 내부로 인가됨을 전원표시부(22)에서 표시하고 광학센서부(23)의 발광다이오드 빛에 의해 트랜지스터(Q1)가 온(ON) 되고 이에 따라 트랜지스터(TR1)도 온 되어 회로의 모든 전류는 Q1, R3, TR1을 차례로 통해 빠져 나가게 된다. 이때는 트랜지스터(TR2)의 베이스 단에 전압이 걸리지 않게 되므로 릴레이 스위치(31)가 구동되지 않아 릴레이 스위치(31)는 노말상태인 A, A' 접점이 되어 폐회로가 형성되고 밸브가 동작하여 도어가 닫히게 된다.
그러나, 제3도와 같이 보드와 도어 사이에 물체가 있을 경우에는 트랜지스터(Q1)가 오프(OFF) 되고 전원 전압이 저항 R4를 거쳐 트랜지스터(TR2)의 베이스 단에 걸리므로 트랜지스터(TR2)는 온 되어 릴레이 스위치(31)가 구동되고 릴레이 스위치(31)는 B, B' 접점이 되어 밸브가 동작하지 않으므로 도어가 닫히지 않게 된다.
따라서, 상기와 같이 구성되어 동작하는 본 고안은 보드와 도어 사이에 웨이퍼가 있을 경우 도어가 닫히지 않도록 하여 반도체 공정에서 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 반도체 공정의 밸브 인터락 장치에 있어서,
    전원공급원(11)에 연결되어 광학센서 사이에 물체의 유, 무를 감지하는 감지수단(12)과,
    상기 감지수단(12)에 연결되어 솔레노이드 밸브의 개폐를 제어하는 릴레이 제어부(13)와,
    이 릴레이 제어부(13)의 제어를 받아 도어를 개폐시키는 솔레노이드 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 인터락 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 감지수단(12)은,
    전원공급원(1)에 연결되어 웨이퍼의 유, 무를 감지하는 광학센서부(23)와,
    상기 광학 센서부(23)의 출력신호에 따라 스위칭되는 트랜지스터(TR1)를 구비하는 것을 특징으로 하는 인터락 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 릴레이 제어부(13)는,
    상기 감지수단(12)의 감지신호에 따라 스위칭되는 트랜지스터(TR2)와,
    이 트랜지스터(TR2)의 스위칭 동작에 따라 구동되는 릴레이 스위치(31)를 구비하는 것을 특징으로 하는 인터락 장치.
KR2019940013525U 1994-06-10 1994-06-10 릴레이 제어회로를 이용한 인터락 장치 KR970007080Y1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100643496B1 (ko) * 2004-12-23 2006-11-10 삼성전자주식회사 노말 오픈/클로즈 타입 겸용 광센서 보드

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KR100643496B1 (ko) * 2004-12-23 2006-11-10 삼성전자주식회사 노말 오픈/클로즈 타입 겸용 광센서 보드

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