KR960702786A - Magnetic fluid polishing device and method - Google Patents

Magnetic fluid polishing device and method

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KR960702786A
KR960702786A KR1019950705488A KR19950705488A KR960702786A KR 960702786 A KR960702786 A KR 960702786A KR 1019950705488 A KR1019950705488 A KR 1019950705488A KR 19950705488 A KR19950705488 A KR 19950705488A KR 960702786 A KR960702786 A KR 960702786A
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윌리암 아이. 코르돈스키
이고르 브이. 프록호르프
세르게이 알. 고로드킨
겐나디 알. 고로드킨
레오니드 케이. 글렙
브로니슬라브 이. 카세브스키
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캐스린 에이치. 켄트
바이엘로코프 사이언티픽, 인코포레이티드
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Abstract

A method of polishing an object is disclosed. In one embodiment, as shown in the figure, the method comprises the steps of creating a polishing zone (10) within a magnetorheological fluid (2); determining the characteristics of the contact between the object and the polishing zone necessary to polish the object (4); controlling the consistency of the fluid (2) in the polishing zone (10); bringing the object (4) into contact with the polishing zone (10) of the fluid (2); and moving at least one of said object (4) and said fluid (2) with respect to the other. Also disclosed is a polishing device (1). In one embodiment, the device comprises a magnetorheological fluid (2), a means (6) for inducing a magnetic field, and a means for displacing the object (4) to be polished or the means (6) for inducing a magnetic field relative to one another.

Description

자기유동학적 광택장치 및 그 방법Magnetic fluid polishing device and method

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음Since this is an open matter, no full text was included.

제1도는 본 발명의 일실시예에 따른 광택장치의 횡단면도,1 is a cross-sectional view of a gloss device according to an embodiment of the present invention,

제2도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광택장치의 횡단면도,2 is a cross-sectional view of a gloss device according to another embodiment of the present invention,

제3도는 본 발명의 다른 실시예에 다른 광택장치의 횡단면도,3 is a cross-sectional view of a gloss device according to another embodiment of the present invention,

제4도는 시편의 중앙으로부터 거리함수로서, 예시된 시편에 대하여 제거된 재료의 양을 나타내는 그래프,4 is a distance function from the center of the specimen, a graph showing the amount of material removed for the illustrated specimen,

제5도는 편평한 시편의 광택을 제어하기 위하여 본 발명의 방법에서 사용되는 패러미터를 설명하는 개략도,5 is a schematic diagram illustrating the parameters used in the method of the present invention to control the glossiness of flat specimens,

제6도는 굽어진 시편의 광택을 제어하기 위하여 본 발명의 방법에서 사용되는 패러미터를 설명하는 개략도.6 is a schematic diagram illustrating the parameters used in the method of the present invention to control the gloss of curved specimens.

Claims (74)

자기유동학적 유체를 사용하여 시편표면을 완성시키는 방법에 있어서, 자기유동학적 유체를 이송하기에 적합한 표면으로부터 시편을 틈에 위치시키는 단계와, 상기 틈을 통해서 자기유동학적 유체의 흐름가 흐르게 하는 단계와, 실질적으로 상기 틈에 있는 자기장을 적용하여 자기유동학적 유체에서 광택 또는 작업영역을 만들어내는 단계와, 상기 영역은 시편표면에서의 맞물림 및 물질제거를 유발하기 위한 일시적인 도구를 형성하며, 완성된 시편표면의 영역보다 작은 영역에서 상기 시편표면을 맞물리며, 시편 또는 영역을 서로에 대해 이동시켜 시편표면의 다른 부분을 소정의 휴지시간동안 상기 영역에 노출시켜 소정의 정도까지 상기 시편표면의 상기 부분들을 선택적으로 완성시키는 단계를 구성되는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.A method of completing a specimen surface using a magnetohydrodynamic fluid, comprising the steps of: placing a specimen in a gap from a surface suitable for transporting a magnetohydrodynamic fluid; allowing a flow of magnetodynamic fluid through the gap; Applying a magnetic field substantially in the gap to create a gloss or working area in the magnetohydrodynamic fluid, the area forming a temporary tool for inducing engagement and removal of material from the surface of the specimen, Engaging the specimen surface in an area smaller than the area of the surface, and moving the specimen or region relative to each other to expose other portions of the specimen surface to the region for a predetermined dwell time to selectively select the portions of the specimen surface to a predetermined degree. Completing the surface of the specimen, characterized in that the step of completing to Way. 제1항에 있어서, 상기 틈의 하나 이상의 부분이 제1부분에서 제2부분까지 높이면에서 감소하고, 상기 자기유동학적 유체는 상기 제1부분에서 상기 제2부분까지의 방향으로 상기 틈을 통해서 흐르는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 1, wherein at least one portion of the gap is reduced in height from the first portion to the second portion and the magnetodynamic fluid flows through the gap in the direction from the first portion to the second portion. A method of completing a specimen surface, characterized in that. 제1항에 있어서, 상기 자기유동학적 유체는 비자기 연마입자로 구성되어 시편표면에서 물질제거시키는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 1, wherein the magnetorheological fluid comprises nonmagnetic abrasive particles to remove material from the surface of the specimen. 제항에 있어서, 상기 틈을 통해서 자기유동학적 유체를 다시 흐르게 하여 상기 틈을 통과해서 흐르는 자기유동학적 유체를 재순환 시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 1, further comprising recirculating a magnetorheological fluid through the gap to recycle the magnetorheological fluid flowing through the gap. 제4항에 있어서, 상기 틈을 통해서 흐르는 자기유동학적 유체를 휘젓는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.5. The method of claim 4, further comprising agitating a magnetorheological fluid flowing through the gap. 제5항에 있어서 상기 자기유동학적 유체는 캐리어(carrier) 유체를 포함하고, 캐리어 유체를 자기유동학적 유체에 추가하여 증발된 캐리어유체를 대체하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.6. The specimen surface of claim 5, wherein the magnetorheological fluid comprises a carrier fluid, and further comprising adding a carrier fluid to the magnetorheological fluid to replace the evaporated carrier fluid. How to let. 제1항에 있어서, 상기 틈을 통한 자기유동학적 유체의 흐름을 도입하는 상기 단계는, 자기유동학적 유체를 이송하기에 적합한 표면상에 자기유동학적 유체를 두고 상기 시편에 대해 상기 표면을 이동시켜 자기유동학적 유체가 틈을 통해 흐르도록 하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 1, wherein introducing a flow of magnetohydrodynamic fluid through the gap comprises moving the surface relative to the specimen with a magnetodynamic fluid on a surface suitable for transporting the magnetodynamic fluid. A method of completing a specimen surface comprising the steps of allowing magnetofluidic fluid to flow through a gap. 제7항에 있어서, 자기유동학적 유체를 이송하기에 적합한 표면은 도우넛(donut)모양으로 된 통의 바닥표면으로 구성되고, 상기 자기유동학적 유체를 이송하기에 적합한 표면을 이동시키는 단계는 통을 회전시키는 것으로 구성된 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.8. The surface of claim 7 wherein the surface suitable for conveying the magnetohydrodynamic fluid consists of a bottom surface of a donut shaped keg, and wherein the step of moving the surface suitable for conveying the magnetodynamic fluid comprises: A method of completing a specimen surface comprising rotating. 제1항에 있어서, 상기 자기장을 적용시키는 단계는, 틈에 있는 자기장을 최대화시키는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 1, wherein applying the magnetic field comprises maximizing a magnetic field in the gap. 제1항에 있어서, 시편을 상기 영역에 대해서 회전시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 1, further comprising rotating the specimen about the area. 제1항에 있어서, 상기 시편은 피봇시편홀더상에 설치되고, 시편 또는 영역을 서로에 대해 이동시키는 상기 단계는 시편홀더를 피봇시켜 영역에 시편의 표면을 쓸어내리는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The specimen surface of claim 1, wherein the specimen is installed on a pivot specimen holder, and the step of moving the specimen or region with respect to each other completes the specimen surface by sweeping the surface of the specimen in the region by pivoting the specimen holder. How to let. 제1항에 있어서, 시편 또는 영역을 서로에 대해 이동시키는 상기 단계는 평면을 따라 시편을 이동시키는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 1, wherein the step of moving the specimen or region relative to each other comprises moving the specimen along a plane. 제12항에 있어서, 평면을 따라 시편을 이동시키는 단계는 시편을 상기 틈을 통해 자기유동학적 유체의 흐름의 방향과 사실상 직각인 방향으로 평면을 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 12, wherein moving the specimen along the plane comprises moving the specimen through the gap along the plane in a direction substantially perpendicular to the direction of flow of magnetohydrodynamic fluid. . 제1항에 있어서, 상기 시편 또는 영역을 서로에 대해 이동시키는 단계는, 상기 자기유동학적 유체를 이송하기에 적합한 표면에 대해 자기장을 이동시킴으로써 상기 영역을 이동시키는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 방법.The method of claim 1, wherein moving the specimen or region relative to each other comprises moving the region by moving a magnetic field relative to a surface suitable for transporting the magnetohydrodynamic fluid. Way. 자기유동학적 유체를 사용하여 시편표면을 완성시키는 장치에 있어서, 자기유동학적 유체의 용적을 이송시키는 표면과, 상기 표면은 상기 틈을 통해 자기유동학적 유체가 흐르도록 상기 표면으로부터 틈에 시편을 홀딩 및 위치시키는 시편홀더와, 완성된 시편표면의 영역보다 작은 영역에서 상기 시편표면을 맞물리며 시편표면에서의 맞물림 물질제거를 유발하기 위한 일시적인 도구를 형성하기 위해서 상기 틈을 통해 흐르는 자기유동학적 유체에서 있는 작업 및 광택영역을 상기 틈의 자기장을 적용해서 만드는 자석과, 시편 또는 영역을 서로에 대해서 이동시켜 시편표면의 다른 부분을 소정의 휴지시간동안 상기 영역에 노출시켜 소정의 정도에서 상기 시편표면의 상기 부분들을 선택적으로 완성시키는 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 장치.An apparatus for completing a specimen surface using a magnetohydrodynamic fluid, the apparatus comprising: a surface for transferring a volume of magnetohydrodynamic fluid, the surface holding the specimen in the gap from the surface such that the magnetodynamic fluid flows through the gap; And in the magnetofluid fluid flowing through the gap to position the specimen holder and to form a temporary tool for engaging the specimen surface in an area smaller than the area of the finished specimen surface and for causing engagement with the specimen surface. Magnets made by applying the magnetic field of the gap to the working and polished regions, and the specimen or region is moved relative to each other to expose other portions of the specimen surface to the region for a predetermined dwell time so that the Poems comprising means for selectively completing parts Device to complete the surface. 제15항에 있어서, 상기 틈의 하나 이상의 부분이 제1부분에서 제2부분까지 높이면에서 감소하고, 상기 자기유동학적 유체는 상기 제1부분에서 상기 제2부분까지의 방향으로 상기 틈을 통해서 흐르는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 장치.The method of claim 15, wherein at least one portion of the gap is reduced in height from the first portion to the second portion and the magnetodynamic fluid flows through the gap in the direction from the first portion to the second portion. Apparatus for completing the specimen surface, characterized in that. 제15항에 있어서, 자기유동학적 유체를 이송시키는 상기 표면은 상기 자기유동학적 유체를 재순환시키도록 구성된 회전가능한 도우넛(donut)모양의 통의 바닥표면으로 구성된 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 장치.16. The apparatus of claim 15, wherein the surface for transporting the magnetohydrodynamic fluid consists of a bottom surface of a rotatable donut shaped barrel configured to recycle the magnetodynamic fluid. . 제17항에 있어서, 캐리어유체를 자기유동학적 유체에 추가시켜 상기 자기유동학적 유체로부터 캐리어유체의 증발을 보상시키는 수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 장치.18. The apparatus of claim 17, comprising means for adding a carrier fluid to the magnetorheological fluid to compensate for the evaporation of carrier fluid from the magnetorheological fluid. 제17항에 있어서, 자기유동학적 유체를 휘젓는 믹서(mixer)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 장치.18. The apparatus of claim 17, further comprising a mixer for agitating the magnetodynamic fluid. 제15항에 있어서, 상기 영역에 대해서 시편을 회전시키는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 장치.16. The apparatus of claim 15, further comprising means for rotating the specimen about the area. 제15항에 있어서 상기 시편은 피봇하는 시편홀더상에 설치되어 영역에 걸쳐 시편의 표면을 쓸어내리는 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 장치.16. The apparatus of claim 15, wherein the specimen is mounted on a pivoting specimen holder to sweep the surface of the specimen over an area. 제15항에 있어서, 상기 틈을 통해서 자기유동학적 유체의 흐름의 방향과 사실상 수직의 방향으로 평면을 따라서 시편을 이동시키는 수단이 더 구성된 것을 특징으로 하는 시편표면을 완성시키는 장치.16. The apparatus of claim 15, further comprising means for moving the specimen along a plane through the gap in a direction substantially perpendicular to the direction of flow of magnetodynamic fluid. 산화를 제지하는 보호재 층, 안정기 및 이송유체로 코팅된 자기입자로 구성된 것을 특징으로 하는 자기유동학적 유체.A magnetorheological fluid, characterized by consisting of magnetic particles coated with a protective layer, an stabilizer, and a transfer fluid that inhibits oxidation. 제23항에 있어서, 상기 보호재는 폴리머로 구성된 것을 특징으로 하는 자기유동학적 유체.24. The magnetorheological fluid of claim 23, wherein the protective material is comprised of a polymer. 제23항에 있어서, 상기 보호재는 테프론으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기유동학적 유체.The magnetorheological fluid of claim 23, wherein said protective material is comprised of Teflon. 제23항에 있어서, 상기 이송유체는 물로 구성된 것을 특징으로 하는 자기유동학적 유체.24. The magnetorheological fluid of claim 23, wherein said transfer fluid consists of water. 제23항에 있어서, 상기 이송유체는 글리세린으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기유동학적 유체.24. The magnetorheological fluid of claim 23, wherein said transfer fluid is comprised of glycerin. 제23항에 있어서, 상기 자기입자는 카르보닐철 입자로 구성된 것을 특징으로 하는 자기유동학적 유체.24. The magnetorheological fluid of claim 23, wherein the magnetic particles consist of carbonyl iron particles. 제23항에 있어서, 연마입자가 더 구성된 것을 특징으로 하는 자기유동학적 유체.24. The magnetorheological fluid of claim 23, wherein the abrasive particles are further comprised. 제29항에 있어서, 상기 연마입자는 CeO2로 구성된 것을 특징으로 하는 자기유동학적 유체.30. The magnetorheological fluid of claim 29, wherein the abrasive particles consist of CeO 2 . 자기유동학적 유체내에 광택영역을 만드는 단계와, 광택영역내의 유체의 균일성을 제어하는 단계와, 대상물을 유체의 광택영역과 접촉시키는 단계와, 대상물과 광택영역을 서로에 대해 이동시키는 단계와, 대상물에 대하여 물질제거 비율을 결정하는 단계와, 대상물에 대하여 광택영역의 이동속도와 방향을 결정하는 단계와, 필요한 광택사이클의 수를 결정하는 단계로 구성된 대상물을 광택시키는 방법에 있어서, 대상물의 표면불규칙성의 최소루트스퀘어(initial root mean square)높이를 결정하는 단계와, 표면손상층의 두께를 결정하는 단계와, 최초표면형상을 결정하는 단계 및 1사이클의 광택동안 제거될 물질층의 두께를 결정하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.Creating a gloss zone in the magnetodynamic fluid, controlling the uniformity of the fluid in the gloss zone, contacting the object with the gloss zone of the fluid, moving the object and the gloss zone relative to each other; A method of polishing an object comprising the steps of determining a removal rate of the substance with respect to the object, determining the moving speed and direction of the gloss region with respect to the object, and determining the number of required gloss cycles. Determining the initial root mean square height of the irregularity, determining the thickness of the surface damage layer, determining the initial surface shape, and determining the thickness of the material layer to be removed during one cycle of gloss. How to polish the object, characterized in that consisting of steps. 제31항에 있어서, 상기 대상물에 대하여 물질제거비율을 결정하는 단계는 물질제거의 공간분포를 결정하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.32. The method of claim 31, wherein determining the material removal rate for the object comprises determining a spatial distribution of material removal. 제31항에 있어서, 대상물에 대한 광택영역의 이동은 연속적인 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.32. The method of claim 31, wherein the movement of the gloss region relative to the object is continuous. 제33항에 있어서, 상기 대상물에 대한 광택영역의 이동방향 및 속도를 결정하는 단계는, 주어진 모든 시간에서 광택영역과 접촉한 대상물이 접촉부의 크기를 결정하는 단계 및 1사이클의 광택 동안에 제거될 물질층의 두께를 결정하고, 광택영역의 속도를 결정하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.34. The method of claim 33, wherein determining the direction and speed of movement of the gloss region relative to the object comprises: determining the size of the contact portion of the object in contact with the gloss region at any given time and the material to be removed during one cycle of gloss. Determining the thickness of the layer and determining the speed of the gloss area. 제31항에 있어서, 상기 대상물에 대한 광택영역의 이동은 분리단계인 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.32. The method of claim 31 wherein the movement of the gloss region relative to the object is a separating step. 제35항에 있어서, 상기 대상물에 대한 광택영역의 이동방향 및 속도를 결정하는 단계는, 주어진 모든시간에서 광택영역과 접촉하는 대상물의 접촉부위 크기를 결정하는 단계와, 겸칩계수를 결정하는 단계와, 1사이클의 광택동안에 제거되는 물질층의 두께를 결정하는 단계와, 각 광택 단계동안 휴지시간을 결정하는 단계 및 필요한 단계수를 결정하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.36. The method of claim 35, wherein the determining of the direction and speed of movement of the gloss region relative to the object comprises: determining the contact area size of the object in contact with the gloss region at any given time; Determining the thickness of the layer of material to be removed during one cycle of gloss, determining the downtime during each gloss step, and determining the number of steps required. 제31항에 있어서, 상기 대상물을 수직축으로부터 각도 α만큼 변위시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.32. The method of claim 31, further comprising displacing the object by an angle α from a vertical axis. 제37항에 있어서, 상기 대상물은 연속적 속도에서 수직축으로부터 각도 α만큼 변위된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.38. The method of claim 37, wherein the object is displaced by an angle α from the vertical axis at continuous speed. 제38항에 있어서, 상기 대상물이 연속적인 속도에서 수직축으로부터 각도 α만큼 변위되는 단계는, 접촉점의 각도횟수를 결정하는 단계와, 1사이클의 광택동안 제거되는 물질층의 두계를 결정하는 단계 및 대상물의 변위각도를 각도 α로 검출하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.39. The method of claim 38, wherein the displacing the object by an angle α from the vertical axis at continuous speed comprises: determining the number of angles of the contact point, determining the boundary of the layer of material removed during one cycle of gloss and Detecting the displacement angle as an angle α. 제37항에 있어서, 상기 대상물이 분리단계에서 수직축으로부터 각도 α만큼 변위되는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.38. The method of claim 37, wherein the object is displaced by an angle α from the vertical axis in the separating step. 제40항에 있어서, 상기 대상물이 분리단계에서 수직축으로부터 각도 α만틈 변위되는 단계는, 접촉점의 각도범위를 결정하는 단계와, 1사이클의 광택동안 제거되는 물질층의 두께를 결정하는 단계와, 한 단계의 각도 변위의 값을 검출하는 단계와, 겹침계수를 검출하는 단계 및 각 단계에서의 휴지시간은 결정하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.41. The method of claim 40, wherein the step of displacing the angle α only from the vertical axis in the separating step comprises: determining the angular range of the contact point, determining the thickness of the layer of material removed during one cycle of glossiness; Detecting the value of the angular displacement of the step, detecting the overlap coefficient, and determining the dwell time at each step. 제31항에 있어서, 상기 자기유동학적 유체는, 복수개의 자기 분자와, 안정기(stabilizer)와, 이송유체로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.32. The method of claim 31, wherein the magnetorheological fluid comprises a plurality of magnetic molecules, a stabilizer, and a transfer fluid. 제42항에 있어서, 광택동안에 이송유체를 공급함에 의해 자기유동학적 유체의 특성을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.43. The method of claim 42, further comprising controlling the properties of the magnetohydrodynamic fluid by supplying a transfer fluid during gloss. 제31항에 있어서, 상기 자기유동학적 유체는, 기준표면을 갖는 용기내에 담기는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.32. The method of claim 31, wherein the magnetorheological fluid is contained in a container having a reference surface. 제44항에 있어서 상기 용기는 대상물과 관련하여 이동되는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.45. The method of claim 44, wherein the container is moved relative to the object. 제45항에 있어서, 상기 용기는 특정속도에서 회전되는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.46. The method of claim 45, wherein the container is rotated at a specific speed. 제44항에 있어서, 상기 광택영역은 대상물을 표면적의 1/3 또는 그 이하인 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.45. The method of claim 44, wherein the gloss zone is 1/3 or less of the surface area of the object. 제44항에 있어서, 상기 자기유동학적 유체내의 광택영역을 만드는 단계는, 자기유동학적 유체의 부근의 자기장을 유도하는 단계와, 자기장의 세기 및 방향을 제어하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.45. The method of claim 44, wherein creating a gloss region in the magnetohydrodynamic fluid comprises: inducing a magnetic field in the vicinity of the magnetodynamic fluid; and controlling an intensity and a direction of the magnetic field. How to polish. 제44항에 있어서, 상기 자기유동학적 유체내에 광택영역을 만드는 단계는, 자기유동학적 유체를 상기 대상물에 인접하는 영역에서 상기 자기장의 경사에 대해 수직인 자기장선을 갖는 불일치자기장에 위치시키는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.45. The method of claim 44, wherein creating a gloss region in the magnetohydrodynamic fluid comprises placing the magnetofluid fluid in a mismatched magnetic field having a magnetic field line perpendicular to the slope of the magnetic field in the region adjacent the object. Method to polish the object to be used. 제49항에 있어서, 상기 자기장의 경사는 용기 기준표면의 바닥쪽으로 향하는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.50. The method of claim 49, wherein the slope of the magnetic field is directed toward the bottom of the vessel reference surface. 제48항에 있어서, 상기 자기장은 상기 용기의 외부에 위치하는 자기장을 유도하기 위한 수단에 의해 만들어지는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.49. The method of claim 48, wherein said magnetic field is created by means for inducing a magnetic field located outside of said container. 제44항에 있어서, 상기 대상물과 용기기준면 사이의 틈을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.45. The method of claim 44, further comprising determining a gap between the object and the container reference plane. 제48항에 있어서, 상기 대상물의 표면과 관련한 광택영역의 위치와 자기장 강도를 제어함으로써 대상물의 광택을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.49. The method of claim 48, further comprising controlling the gloss of the object by controlling the position and magnetic field strength of the gloss region relative to the surface of the object. 제53항에 있어서, 상기 광택은 프로그램제어장치에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.54. The method of claim 53, wherein the gloss is controlled by a program control device. 제31항에 있어서, 상기 자기유동학적 유체는, 그 속에 광택연마재질로 구성된 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.32. The method of claim 31, wherein the magnetorheological fluid is composed of a polished abrasive material therein. 제31항에 있어서, 상기 사이클 수를 결정하는 단계는 아래식에 따라 사이클수가 정해지는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.32. The method of claim 31, wherein the determining of the number of cycles comprises determining the number of cycles according to the following equation. 제34항에 있어서, 상기 광택영역의 속도를 결정하는 단계는, 하기 식에 따라 광택영역의 속도가 결정되는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.35. The method of claim 34, wherein determining the speed of the gloss region is determined by the following equation. 제36항에 있어서, 상기 겹침계수를 결정하는 단계는37. The method of claim 36, wherein determining the overlap coefficient 에 따라 겹침계수가 결정되고, 광택단계의 각 단계에 대하여 휴지기간을 결정하는 단계는,Overlapping coefficient is determined according to, and determining the rest period for each step of the gloss step, 에 따라 결정되고, 필요한 단계수를 검출하는 단계는,Determining according to the step, the step of detecting the required number of steps, 에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.How to polish the object, characterized in that determined according to. 제39항에 있어서, 가도 α만큼의 상기 대상물의 변위의 각 속도를 결정하는 단계는,40. The method of claim 39, wherein determining the angular velocity of displacement of the object by the degree α, 에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.How to polish the object, characterized in that determined by. 제41항에 있어서, 상기 각 단계에서의 휴지기간을 결정하는 단계는,42. The method of claim 41, wherein determining the rest period in each step comprises: 에 의해 검출되는 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.The method of glossing an object characterized by the above-mentioned. 제42항에 있어서, 상기 자기유동학적 유체는 광택연마제인 것을 특징으로 하는 대상물을 광택시키는 방법.43. The method of claim 42, wherein the magnetorheological fluid is a gloss polishing agent. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.
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