KR960042933A - 웨이퍼의 양면 증착이 가능한 스퍼터링 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스퍼터링 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 전극(22)과, 상기 전극(22)에 부착된 타겟 부재와 셔터 장치를 내측에 배치시킨 진공 챔버(21)를 구비한 스퍼터링 장치에 있어서, 전압이 인가되며 고정 상태로 유지되는 테이블 부재(23), 상기 테이블 부재의 중시부에 회전 가능하게 설치되는 회전축 부재(30), 상기 회전축부재(30)으로부터 반경 방향으로 회전 가능하게 설치된 복수개의 웨이퍼 지지 부재(26), 상기 지지 수단(26)에 결합된 상부 걸림 부재 및, 상기 상부 걸림 부재와 접촉됨으로서 상기 웨이퍼 지지 수단을 소정의 각도로 회전시키도록 상기 테이블 부재(23)상에 설치된 복수개의 하부 걸림 부재를 구비하는 웨이퍼의 역전 수단을 특징으로 하는 박막 증착용 스퍼터링 장치가 제공된다. 본 발명에 따른 스퍼터링 장치는 일회의 작업으로 웨이퍼를 챔버내에 설치하면 회전축이 회전할때마다 웨이퍼가 180도로 뒤집히므로 웨이퍼의 양측면을 모두 스퍼터링 할 수 있는 효과가 있다.

Description

웨이퍼의 양면 증착이 가능한 스퍼터링 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명에 따른 스퍼터링 장치의 개략적인 구성도, 제3도는 제2도에 도시된 스퍼터링 장치의 일부 사시도, 제4도는 제3도의 A-A′선을 따라 절단한 단면도, 제5도는 본 발명의 스퍼터링 장치의 평면 상태도, 제6도는 제5도의 각각의 지점에 대한 걸림쇠 및 웨이퍼의 상태도.

Claims (7)

1. 전극(22)과, 상기 전극(22)에 부착된 타겟 부재와 셔터 장치를 내측에 배치한 진공 챔버(21)를 구비한 스퍼터링 장치에 있어서, 전압이 인가되며 고정 상태로 유지되는 테이블 부재(23), 상기 테이블 부재의 중심부에 회전 가능하게 설치되는 회전축 부재(30), 상기 회전축부재(30)의 둘레에 방사상으로 결합된 것으로서 회전 가능하게 설치된 복수개의 웨이퍼 지지 부재(26), 상기 지지 수단(26)에 결합된 상부 걸림 부재 및, 상기 상부 걸림 주재와 접촉됨으로서 상기 웨이퍼 지지 수단을 소정의 각도로 회전시키도록 상기 테이블 부재(23)상에 설치된 복수개의 하부 걸림 부재를 구비하는 웨이퍼 역전 수단을 특징으로 하는 박막 증착용 스퍼터링 장치
2. 제1항에 있어서, 상기 걸림 부재는 지지 부재(26)에 결합되는 면이 정사각형인 육면체(27,28)이며, 서로에 대하여 45도의 비틀림 각도를 유지하고, 상기 하부 걸림 부재는 경사면을 지닌 블록(33 내지 36)인 것을 특징으로 하는 박막 중착용 스퍼터링 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 상부 걸림 부재(27,28)는 지지부재(26)가 결합되는 면이 정육각형인 8면체인 것을 특징으로 하는 박막 중착용 스퍼터링 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 상부 걸림 부재(27,28)는 지지부재(26)가 결합되는 면이 정팔각형인 10면체인 것을 특징으로 하는 박막 중착용 스퍼터링 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 지지 부재(26)의 단부에는 웨이퍼(24)의 양면이 노출되게 지지할 수 있도록 웨이퍼(24)의 가장자리를 둘러쌀 수 있는 링부재가 형성된 것을 특징으로 하는 박막 중착용 스퍼터링 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 하부 걸림 부재(33 내지 36)는 테이블부재(23)의 소정의 회전 각도 구간내에서 회전축 부재(30)를 중심으로 형성된 복수개의 동심원상에 서로 엇갈리게 배치된 것을 특징으로 하는 박막증착용 스퍼터링 장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 상부 걸림 부재는 피니언 기어(71)이며, 상기 하부 걸림 부재는 상기 피니언 기어(71)를 180도 회전시킬 수 있는 랙크 기어(72)인 것을 특징으로 하는 박막 중착용 스퍼터링 장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.