KR960035933A - 노운 굳 다이의 구조 및 제조방법 - Google Patents

노운 굳 다이의 구조 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 노운 굳 다이의 구조 및 제조방법에 관한 것으로서, 노운 굳 다이 본드패드 부분의 수지구조에 있어서, Al 금속패드 상부에 Ti 금속막, Ni 금속막, Au 금속막이 순차적층된 Au 본드패드와 Au 본드패드 상부에 형성된 Au 볼펌프로 구성되는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이 또는 상기 Al 금속패드 상부에 형성된 Ti/W 합금막과 Au 금속막이 순차적층된 Au 본드패드와 Au 본드패드 상부에 형성된 Au 볼펌프로 구성되는 것을 특징응로 하는 노운 굳 다이의 구조 및 제조방법에 관한 것으로써, 종래의 Al-Au 본딩에 의해 발생하는 퍼플 프래그등의 전기적 특성 저하 및 점차성 저하 등을 Au-Au 본딩에 의하여 제거하는 효과를 나타내는 것을 특징으로 한다.

Description

노운 굳 다이의 구조 및 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3A도는 본 발명에 따른 Au 본드패드를 갖는 베어다이의 단면도.

Claims (16)

  1. 노운 굳 다이 본드패드 부분의 수직 구조에 있어서, Al 금속패드 상부에 Au 금속막이 형성된 Au 본드패드와 Au 본드패드 상부에 형성된 Au 볼범프로 구성되는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이.
  2. 제1항에 있어서, 상기 Al 금속패드 상부에 Ti 금속막을 형성하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이.
  3. 제2항에 있어서, 상기 Ti 금속막은 응력 완충 및 웨팅 재료 역할을 하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이.
  4. 제2항에 있어서, 상기 Ti 금속막 상부에 Ni 금속막을 형성하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이.
  5. 제4항에 있어서, 상기 Ni 금속막은 확산장벽의 역할을 하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이.
  6. 노운 굳 다이 본드패드 부분의 수직 구조에 있어서, Al 금속패드 상부에 Au 금속막이 적층된 Au 본드패드와 Au 본드패드 상부에 형성된 Au 볼범프로 구성되는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이.
  7. 제6항에 있어서, 상기 Al 금속패드 상부에 Ti/W 합금막을 형성하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이.
  8. 제7항에 있어서, 상기 Ti/W 합금막은 응력 완충, 웨팅재료 및 확산장벽 역할을 동시에 하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이.
  9. 노운 굳 다이 본드패드 부분의 수직 구조에 있어서, Al 금속패드 상부에 Ti 금속막을 형성하는 공정과; 상기 Ti 금속상부에 Ni 금속막을 형성하는 공정과; 상기 Ni 금속상부에 Au 본드패드를 형성하는 공정과; 상기 Au 본드패드 상부에 Au 볼범프를 형성하는 공정과; 와이어 본딩 공정을 이용하여 베어다이를 테스트하는 공정과; 와이어 절단 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이의 제조방법
  10. 제9항에 있어서, 상기 Al 금속패드 상부에 Ti 금속막을 증착ㆍ형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 Ti 금속막은 응력 완충 및 웨팅 재료 역할을 하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이의 제조방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 Ti 금속막 상부에 Ni 금속막을 증착ㆍ형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이의 제조방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 Ni 금속막은 확산장벽의 역할을 하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이의 제조방법.
  14. 노운 굳 다이 본드패드 부분의 수직 구조에 있어서, Al 금속패드 상부에 Ti/W 합금막을 형성하는 공정과; 상기 Ti/W 합금박 상부에 Au 본드패드를 형성하는 공정과; 금속을 프래팅 또는 증착시켜 Au 본드패드를 형성하는 공정과; 상기 Au 본드패드 상부에 Au 볼펌프를 형성하는 공정과; 와이어 본딩 공정을 이용하여 베어다이를 테스트하는 공정과; 와이어 절단 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 Al 금속패드 상부에 Ti/W 합금막을 금속화ㆍ형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이의 제조방법.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 Ti/W 합금막은 응력 완충, 웨팅 재료 역할 및 확산장벽의 역할을 동시에 하는 것을 특징으로 하는 노운 굳 다이의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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