KR960001851A - 박막트랜지스터 어레이 및 액정표시장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 드레인전극과 화소전극의 양호한 콘택트를 손상하는 일 없이, 그 화소전극에 의한 액정에의 전압인가효율을 높이고, 또, 제조과정에 있어서의 수율을 향상시키는데에 있다.
본 발명의 박막트랜지스터 어레이는, 기판상에 게이트전극과, 게이트전극을 덮은 게이트절연막과, 게이트전극 위쪽에 형성되는 반도체막 및 오믹콘택트막과, 오믹콘택트막에 접속된 소오스전극 및 드레인전극과, 드레인전극에 접속된 화소전극과, 보호막이 형성되어 있는 박막트랜지스터 어레이에 있어서, 소오스전극 및 드레인전극이 실리사이드를 형성하는 금속으로 이루어진 하부층과, 이 하부층의 상부에 적층된 구리로 이루어진 상부층으로 구성되고, 소오스전극 및 드레인전극을 덮는 보호막으로 형성된 콘택트홀을 통하여 보호막상에 형성된 화소전극과, 드레인전극 상부층이 접속되어 있다.

Description

박막트랜지스터 어레이 및 액정표시장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 실시예를 나타내는 측단면도.
제2도는 본 실시예에 있어서, 기판표면에 제1금속막을 형성한 상태를 나타내는 단면도.
제3도는 본 실시예에 있어서, 기판상에 제1포토리소공정에 의해 게이트전극과 게이트배선을 형성한 상태를 나타낸 단면도.

Claims (4)

  1. 기판상에 적어도 게이트전극과, 상기 게이트전극을 덮은 게이트절연막과 상기 게이트전극 위쪽에 형성되는 반도체막 및 오믹콘택트막과 상기 오믹콘택트막에 접속된 소오스전극 및 드레인전극과, 상기 드레인전극에 접속된 화소전극과 보호막이 형성되어 이루어진 박막트랜지스터 어레이에 있어서, 상기 소오스전극 및 드레인전극이 실리사이드를 형성하는 금속으로 이루어진 하부층과, 이 하부층의 상부에 적층된 구리로 이루어진 상부층으로 구성되고, 상기 소오스전극 및 드레인전극을 덮은 보호막으로 형성된 콘택트홀을 통하여 보호막상에 형성된 화소전극과, 상기 드레인전극의 상부층이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하부층의 실리사이드를 형성하는 금속이 Cr인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이.
  3. 대향하여 배치된 한쌍의 기판 사이에 액정이 봉해져 있고, 한쪽 기판의 대향면상에 적어도 게이트전극과 상기 게이트전극을 덮은 게이트절연막과 상기 게이트전극의 위쪽에 형성되는 반도체막 및 오믹콘택트막과, 상기 오믹콘택트막에 접속된 소오스전극 및 드레인전극과, 상기 드레인전극에 접속된 화소전극과 보호막이 형성되어 있고, 상기 소오스전극 및 드레인전극이 형성하는 금속으로 이루어진 하부층과, 이 하부층의 상부에 적층된 구리로 이루어진 상부층으로 구성되고, 상기 소오스전극 및 드레인전극을 덮은 보호막으로 형성된 콘택트홀을 통해 상기 보호막상에 형성된 화소전극과 상기 드레인전극의 상부층이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 하부층의 실리사이드를 형성하는 금속이 Cr인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950017014A 1994-06-27 1995-06-23 박막트랜지스터 어레이 및 액정표시장치 KR0161325B1 (ko)

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