KR950034563A - 기판 위치검출 및 안내장치 - Google Patents

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KR950034563A
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쯔도무 히로키
쇼이치 아베
기요타카 아키야마
쯔토무 사토요시
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
기리야마 겐지
테루. 엔지니아링구 가부시끼가이샤
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Abstract

기판위치 및 검출장치는, 복수매의 LCD 기판이 수납된 카세트와, 이 카세트의 측면에 대면하여 설치되고, 카세트내의 LCD 기판의 끝단면에 눌러붙여지는 접촉안내부재와, 이 접촉안내부재를 카세트에 대하여 접근시켜서, 카세트내의 LCD 기판의 끝단면에 접촉안내부재를 눌러붙여서 이들 기판을 일괄적으로 정렬시키는 얼라이먼트 수단과, 카세트의 슬롯에 각각 대응하는 위치에 위치하도록 슬롯수의 정수배의 수가 상기 얼라이먼트기구에 부착되며, 카세트의 슬롯에 LCD 기판이 있는가 없는가를 검출하는 검출기를 가진다.

Description

기판 위치검출 및 안내장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공처리장치를 모식적으로 나타낸 도면; 제2도는 제1도에 나타낸 장치의 제1로드록실내에 설치된 캐리어아암 및 버퍼 프레임을 나타내는 사시도; 제3도는 제1도에서 나타낸 장치의 제2로드록실내에 설치된 버퍼랙과 위치기를 나타내는 사시도.

Claims (8)

  1. 복수매의 기판이 수납된 카세트와, 이 카세트의 측면에 대면하여 설치되고, 카세트내의 기판의 끝단면에 눌러붙여지는 접촉안내부재와, 이 접촉안내부재를 카세트에 대하여 접근시켜서, 카세트내의 기판의 끝단면에 접촉안내부재를 눌러붙여서 이들 기판을 일괄적으로 정렬시키는 얼라이먼트 수단과, 카세트의 기판수납 영역에 각각 대응하는 곳에 위치하도록 기판수납 영역수의 정수배의 수가 상기 얼라이먼트 수단에 착설되며, 카세트의 기판수납 영역에 기판이 있는가 없는가를 검출하는 검출기를 가지는 기판 위치 검출 및 안내장치.
  2. 제1항에 있어서, 기판은 사각형의 LCD기판인 장치.
  3. 제1항에 있어서, 접촉안내부재는 복수개이며, 이들 접촉안내부재의 각각이 카세트에 대하여 상이한 방향으로부터 이격하여 접근하도록 설치되어 있는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 접촉안내부재는 절연성의 연질인 탄성재료로 만들어져 있는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 접촉안내부재는 경질의 기초재료에 피복된 절연성의 연질의 탄성재료로 만들어지는 장치.
  6. 제1항에 있어서, 검출기는 발광부 및 수광부를 갖춘 광학센서인 장치.
  7. 제1항에 있어서, 검출기는 기판에 접촉하여 전환되는 마이크로 스위치인 장치.
  8. 제1항에 있어서, 카세트는 지주 및 보강부재를 가지고, 접촉안내부재는 카세트의 지주 및 보강부재와 간섭하지 않도록 U자 횡단면을 하고 있는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950002816A 1994-02-15 1995-02-15 기판 위치검출 및 안내장치 KR100273810B1 (ko)

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