KR950031187A - 산성 배가스의 처리방법 - Google Patents

산성 배가스의 처리방법 Download PDF

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KR950031187A KR1019950013472A KR19950013472A KR950031187A KR 950031187 A KR950031187 A KR 950031187A KR 1019950013472 A KR1019950013472 A KR 1019950013472A KR 19950013472 A KR19950013472 A KR 19950013472A KR 950031187 A KR950031187 A KR 950031187A
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도시쯔라 조
류이찌 오야마
유따까 가마따
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시미즈 슘뻬이
다마 가가꾸 고오교 가부시끼가이샤
사또 후미오
가부시끼가이샤 도시바
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

본 발명은 배가스를 알칼리성의 가스처리액과 접촉시켜서 배가스 중의 산성성분을 분리, 제거하는 산성 배가스의 처리방법에 있어서, 산성 배가스를 제4암모늄 화합물의 수용액을 함유하는 가스처리액과 접촉시켜, 산성배가스로부터 산성성분을 분리제거하는 산성 배가스의 처리방법이며, 주위의 환경을 오염시키지 않는 청결한 조건하에서 산성성분, 특히 불소 및/ 또는 불소화합물을 함유하는 산성 배가스를 용이하게, 그리고 효율적으로 처리할 수 있으며, 따라서, 반도체 제조 공정의 클린룸 안에서 실시할 수도 있으며, 특히 반도체 제조공정에서 발생하는 불소 및/또는 불소화합물을 함유하는 산성 배가스의 처리에 아주 적합하다.

Description

산성 배가스의 처리방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. 배가스를 알칼리성의 가스처리액과 접촉시켜서, 배가스 중의 산성성분을 분리, 제거하는 산성 배가스의 처리방법에 있어서, 산성 배가스를 하기하는 일반식(1)
    (단, 식중R1∼R4는 서로 동일한 또는 다른 탄소수 1∼3개의 알킬기 또는 히드록시 치환 알킬기를 나타내며, X-는 OH-또는를 나타낸다)로 표시되는 제4암모늄 화합물의 수용액을 함유하는 가스처리액과 접촉시켜서, 산성 배가스로부터 산성성분을 분리. 제거함을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  2. 배가스 중의 산성성분을 칼슘염으로 분리, 제거하는 산성 배가스의 처리방법에 있어서, 산성 배가스를 하기하는 일반식(1)
    (단, 식중R1∼R₄는 서로 동일한 또는 다른 탄소수 1∼3개의 알킬기 또는 히드록시 치환 알킬기를 나타내며, X-는 OH-또는를 나타낸다.)로 표시되는 제4암모늄 화합물의 수용액을 함유하는 가스처리액과 접촉시켜서, 가스처리액중에 산성 배가스 중의 산성성분을 흡수시키고; 흡수된 산성성분을 함유한 폐처리액과 탄산칼슘을 접촉시켜서 폐처리액 중의 산성성분을 칼슘염으로 석출시키고, 석출한 칼슘염을 분리, 제거함을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 산성 배가스 중의 산성성분이 불소 및/또는 불소화합물이며, 불소및/또는 불소화합물을 불화칼슘으로 분리, 제거함을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 가스처리액 중의 제4암모늄 화합물의 농도가 0.01∼30중량%임을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 한에 있어서, 가스처리액이 수산화 제4암모늄 화합물의 수용액임을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  6. 제5항에 있어서, 가스처리액이 테트라메틸암모늄하이드록사이드의 수용액임을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 가스처리액이 탄산 제4암모늄 화합물의 수용액임을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  8. 배가스 중의 산성성분을 칼슘염으로서 분리, 제거하는 산성 배가스의 처리방법 있어서, 산성 배가스를 일반식(1)
    (단, 식중 R1∼R4는 서로 동일한 또는 다른 탄소수 1∼3개의 알킬기 또는 히드록시 치환 알킬기를 나타내며, X-는 OH-또는를 나타낸다.)로 표시되는 제4암모늄 화합물의 수용액으로 이루어지는 가스처리액과 첩촉시켜서, 가스처리액 중에 산성성분을 흡수시키는 접촉흡수공정; 접촉흡수공정에 의해 회수되어 산성성분을 함유한 폐처리액과 탄산칼슘을 접촉시켜서, 폐처리액 중의 산성성분을 칼슘염으로서 석출시키는 석출공정; 석출한 칼슘염을 분리, 제거하는 고액분리공정; 및 고액분리공정에서 회수되는 칼슘염 제거 후의 처리액을 가스처리액으로서 접촉흡수공정으로 순환시키는 순환공정을 포함함을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기한 산성 배가스 중의 산성성분이 불소 및/또는 불소화합물이며, 불소 및/또는 불소 화합물을 불화칼슘으로서 분리, 제거함을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 한에 있어서, 상기한 배가스가 반도체 제조공정에서 발생하는 불소가스, 불화수소산, 불화규산 및 불화 암모늄으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상을 주로 함유하는 산성 배가스임을 특징으로 하는 산성 배가스의 처리방법.
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950013472A 1994-05-26 1995-05-26 산성 배가스의 처리방법 KR950031187A (ko)

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