KR950030227A - 반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트 - Google Patents

반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트 Download PDF

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KR950030227A
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김태규
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문정환
금성일렉트론 주식회사
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract

본원은 반도체 장비인 엑스-와이 스테이지 유니트(X-Y stage unit)에 관한 것으로서, 그 목적은 피에조유니트의 진동에 의한 파손 및 마모가 적은 엑스-와이 스테이지 유니트를 제공하는데 있다. 이러한 목적은 베이스 플레이트(11)와, 상기 베이스 플레이트(11)의 중심부에 설치된 피에조 유니트(12)와, 상기 베이스 플레이트(11)의 상부에 고정나사(14)로 고정되는 세라믹척(13)을 구비한 엑스-와이 스테이지 유니트에 있어서, 상기 세라믹척(13)과 베이스플레이트(11) 사이에 다수개의 신축성 고무(15)가 개재됨으로서 실현된다.

Description

반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 엑스-와이 스테이지 유니트의 분해 조립도.

Claims (2)

  1. 베이스플레이트(11)와, 상기 베이스 플레이트(11)의 중심부에 설치된 피에조 유니트(12)와, 상기 베이스 플레이트(11)의 상부에 고정 나사(14)로 고정되는 세라믹척(13)을 구비한 엑스-와이 스테이지 유니트에 있어서, 상기 세라믹척(13)과 베이스플레이트(11)사이에 다수개의 신축성 고무(15)가 개재된 것을 특징으로 하는 엑스-와이 스테이지 유니트.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고무(15)의 신축성 정도는 적어도 30마이크로미터 이상이고, 강도는 세라믹척(13)의 강도보다 약한 것을 특징으로 하는 엑스-와이 스테이지 유니트.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
KR1019940007172A 1994-04-06 1994-04-06 반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트 KR950030227A (ko)

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