KR950030227A - 반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트 - Google Patents
반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트 Download PDFInfo
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Abstract
본원은 반도체 장비인 엑스-와이 스테이지 유니트(X-Y stage unit)에 관한 것으로서, 그 목적은 피에조유니트의 진동에 의한 파손 및 마모가 적은 엑스-와이 스테이지 유니트를 제공하는데 있다. 이러한 목적은 베이스 플레이트(11)와, 상기 베이스 플레이트(11)의 중심부에 설치된 피에조 유니트(12)와, 상기 베이스 플레이트(11)의 상부에 고정나사(14)로 고정되는 세라믹척(13)을 구비한 엑스-와이 스테이지 유니트에 있어서, 상기 세라믹척(13)과 베이스플레이트(11) 사이에 다수개의 신축성 고무(15)가 개재됨으로서 실현된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 엑스-와이 스테이지 유니트의 분해 조립도.
Claims (2)
- 베이스플레이트(11)와, 상기 베이스 플레이트(11)의 중심부에 설치된 피에조 유니트(12)와, 상기 베이스 플레이트(11)의 상부에 고정 나사(14)로 고정되는 세라믹척(13)을 구비한 엑스-와이 스테이지 유니트에 있어서, 상기 세라믹척(13)과 베이스플레이트(11)사이에 다수개의 신축성 고무(15)가 개재된 것을 특징으로 하는 엑스-와이 스테이지 유니트.
- 제1항에 있어서, 상기 고무(15)의 신축성 정도는 적어도 30마이크로미터 이상이고, 강도는 세라믹척(13)의 강도보다 약한 것을 특징으로 하는 엑스-와이 스테이지 유니트.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940007172A KR950030227A (ko) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019940007172A KR950030227A (ko) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR950030227A true KR950030227A (ko) | 1995-11-24 |
Family
ID=66677403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940007172A KR950030227A (ko) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 반도체 제조 장비의 엑스-와이 스테이지 유니트 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR950030227A (ko) |
-
1994
- 1994-04-06 KR KR1019940007172A patent/KR950030227A/ko not_active Application Discontinuation
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