KR950019729A - 유기물 분석장치 및 유기물 분석방법 - Google Patents

유기물 분석장치 및 유기물 분석방법 Download PDF

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Abstract

적어도 대기온도보다 낮은 온도로 반도체 기판을 과냉각하는 공정과, 대기중에 존재하는 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판상에 포집하는 공정과, 상기 반도체 기판을 가열하여 상기 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판으로부터 이탈시키는 공정 및, 상기 휘발성 유기물을 분석하는 공정으로 이루어진 유기물 분석방법. 이 방법으로 반도체장치에 흡수되어 반도체 장치의 성능에 악영향을 줄 수도 있는 유기물만을 선택적으로 포집할 수 있게된다.

Description

유기물 분석장치 및 유기물 분석방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 방법에 따른 분석공정을 도시하는 흐름도.
제2도는 종래의 유기물 분석방법에 사용되는 유기물 포집 장치를 도시하는 개략도.
제3도는 종래의 유기물 분석방법에 사용되는 유기물 분석장치를 도시하는 개략도.
제4도는 본 발명에 따른 분석공정을 도시하는 흐름도.
제5도는 본 발명의 실시예에 사용되는 유기물 포집 장치를 도시하는 개략도.
제6도는 본 발명의 실시예에 사용되는 유기물 분석장치를 도시하는 개략도.

Claims (20)

  1. 적어도 대기온도보다 낮은 온도로 반도체 기판을 과냉각하는 공정과, 대기중에 존재하는 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판상에 포집하는 공정과, 상기 반도체 기판을 가열하여 상기 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판으로부터 이탈시키는 공정 및, 상기 휘발성 유기물을 분석하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기물 분석방법.
  2. 제1항에 있어서, 대기중에 존재하는 상기 휘발성 유기물이 농축된 상태로 포집되는 것을 특징으로 하는 유기물 분석방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 휘발성 유기물은 가스 크로마토그래피 질량분석계를 이용하여 분석되는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 반도체 기판은 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 반도체 기판은 액체 질소에 의해 과냉각되는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 반도체 기판은 섭씨 -150 ± 10 도 범위의 온도로 과냉각되는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  7. 제1항에 있어서, 처음에 상기 반도체 기판을 습식 클리닝하는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 반도체 기판을 정화된 건조공기에 노출시키는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 반도체 기판을 정화된 건조공기에 노출시키는 상기 공정을 상기 유기물이 상기 반도체 기판상에 포집될 때까지 계속하는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  10. 대기중에 존재하는 휘발성 유기물을 반도체 기판상에 포집하기 위한 수단과, 적어도 대기온도보다 낮은 온도로 반도체 기판을 과냉각하기 위한 수단과, 상기 과냉각된 반도체 기판을 적어도 대기온도보다 높은 온도로 가열하여 상기 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판으로부터 이탈시키기 위한 수단 및, 상기 휘발성 유기물을 분석하기 위한 수단으로 이루어진 유기물 분석장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 포집수단은 상기 과냉각 수단과 상기 가열수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 반도체 기판이 과냉각되는 동안 상기 반도체 기판을 건조상태로 유지하기 위한 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 포집수단은 대기중에 존재하는 휘발성 유기물을 농축된 상태로 포집하는 것을 특징을 하는 유기물 분석장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 분석수단은 가스 크로마토그래피 질량분석계인 것을 특징을 하는 유기물 분석장치.
  15. 제10항에 있어서, 상기 반도체 기판은 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기 과냉각 수단은 상기 반도체 기판을 액체 질소를 이용하여 과냉각시키는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 과냉각 수단은 상기 반도체 기판을 섭씨 -150 ± 10 도 범위의 온도로 과냉각시키는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  18. 제10항에 있어서, 휘발성 유기물을 포집하기 전에 상기 반도체 기판을 습식 클리닝하기 위한 클리너를 추가로 포함하는 것을 특징을 하는 유기물 분석장치.
  19. 제10항에 있어서, 상기 반도체 기판을 정화된 건조공기에 노출시키는 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 노출수단은 상기 포집수단이 상기 휘발성 유기물을 상기 반도체 기판상에 포집하고 있는 동안 상기 반도체 기판을 정화된 건조공기에 노출시키는 것을 특징으로 하는 유기물 분석장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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