KR950009909A - 조정된 스퍼터링 소스 제어 방법 - Google Patents

조정된 스퍼터링 소스 제어 방법 Download PDF

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엠. 히가 스테펜
이. 호프만 2세 반스
오. 밀러 패트릭
알. 패터슨 파메라
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Abstract

조정기 상에서 스퍼터된 물질의 형성을 보상하도록 컴퓨터에 의해 제어가능한 조정된 스퍼터링 소스의 자종제어방법이다. 조정기 수명의 함수로서 승산기를 계산하는 공식을 포함하고 스퍼터링 소스를 이용하여 일련의 기판상에 필림을 연속으로 증착하고, 조정기 수명을 모니텅하여 승산기의 한수로서 제어 가능한 스퍼터링 변수의 값을 주기적으로 조절하는 소프트웨어를 이용하는 컴퓨터에 대한 소프트웨어를 본 발명은 제공한다. 스퍼터된 물질이 조정기상에 형성되듯이 일련의 기판상에 소스에 대해 증착된 필름의 성질이 기판사이에 실제로 변하지 않는 식으로 스피터링 변수는 소프트 웨어에 의해 자동적으로 조절된다.

Description

조정된 스퍼터링 소스 제어 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 이용된 스퍼터링 시스템의 도면,
제2도는 본 발명에 따라 스퍼터링 소스를 제어하는 방법에 있어서의 단계를 도시한 흐름도.

Claims (19)

  1. 조정기를 갖는 스퍼터링 소스를 자동으로 제어하는 방법에 있어서 상기 스퍼터링소스는 컴퓨터에 의해 제어 가능하고 상기 방법은 (a)조정기 수명의 함수인 승산기를 계산하는 공식을 포함하는 상기 컴퓨터에 대한 소프트웨어를 제공하는 단계와, (b)상기 조정기를 통과한스퍼터 목적물로 부터의 물질을 포함한 필림을 스퍼터링 소스를 이용하여 일련의 기판상에 연속적으로 증착하는 단계와, (c)조정기의 수명을 감시하는 단계와, (d)스피터된 물질이 조정기상에 형성될 때 일련의 기판상에 소스에 의해 증착된 필림의 성질이 기판사이에서 실제로 변동하지 않는 식으로 (b)단계동안에 상기 승산의 기능으로서 제어가능한 스퍼터링 변수의 값을 자동적으로 조정하는 상기 소프트웨어 이용 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공식은 n차 다항식의 형태인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  3. 제2항에 있어서, n은 적어도 3인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  4. 제2항에 있어서, AF는 상기 승산기이고 a, b, c, d 및 e는 계수, x는 조정기의 수명으로 상기 다향식은 AF=1+ax×bx2×cx3+dx4+ex5의 형태인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  5. 제4항에 있어서, 조정기의 수명은 조정기의 수명 동안에 스퍼터링 소스에 인가된 에너지 KWH의 숫자로 표현되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어방법.
  6. 제1항에 있어서, AF는 상기 승산기, yo는 상기 승산기 새로울 때의 증착율이고, mT는 시간 T에서 증착율대목교 수명의 곳선 기울기이고 x는 조정기의 수명으로 상기 공식은 AF=yo/(yo-mTx)의 형태인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어방법.
  7. 제6항에 있어서, mT는 조정기 수명에 대해 일정한 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어방법.
  8. 제1항에 있어서, 스퍼터 목표의 수명을 모니터 하는 단계와 스퍼터 목표 수명의 함수로서 제어 가능한 스퍼터링 변수를 자동적으로 주기적으로 조절하도록 상기 소프트웨어를 이용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  9. 제8항에 있어서, 스퍼터 목료의 수명의 함수로서 조절된 제어 가능한 스퍼터링 변수는 단계(d)에서 조절된 제어 가능한 스퍼터링 변수와 다른 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 스퍼터링 변수는 증착 파워인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 스퍼터링 변수는 증착 시간인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  12. 제1항에 있어서, 일련의 기판에서 다음 기판을 스퍼터링하는 동안에 사용될 변수 값을 얻도록 상기 일련의 기판에서 기판의 스퍼터링 동안에 사용된 계수 값에 의해 승산되는 조정 인자를 정의하므로서 특별한 기판을 증착하는 동안에 사용될 상기 스퍼터링 변수 값을 상기 공식이 결정하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 일련의 기판중 각 기판이 처리된 후 상기 스퍼터링 변수의 조정이 이루어진 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  14. 제1항에 있어서, 상기 일련의 기판이 다수의 기판을 포함하는 카세트로 부터 상기 스퍼터링 소스로 전달되고, 각 카세트가 처리된 후에 상기 스퍼터링 변수의 조정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어방법.
  15. 제1항에 있어서, 상기 공식이 실험적으로 결정되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어방법.
  16. 제1항에 있어서, 상기 조정기는 기간 I의 소정의 서브 간격으로 대치되고 상기 목표는 기간 IX의 간격으로 대치되는 바 X는 1보다 큰 전체수이고 다른 공식은 간격 IY내의 각 서브 간격동안 사용되어서 시스템이 조정기의 수명과 스퍼터 목표의 수명을 보상하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어방법.
  17. 제1항에 있어서, 스퍼터링 소스는 평면 마그네트론 스퍼터링 소스(magnetron sputtering souce)인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어 방법.
  18. 제1항에 있어서, 필림의 상기 성질은 필림의 두께인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 소스 자동 제어방법.
  19. 마그네트론 스퍼터링 소스에 있어서, 진공 덮개와; 상기 진공 덮개에 위치한 스퍼터 목표와; 상기 스퍼터 목적물의 표면에 인접한 플라즈마를 발생하는 수단과; 상기 진공 덮개에서 상기 스퍼터 목적물과 상기 웨이퍼 플랫폼사이에 위치한 조정 필터와; 상기 스퍼터 목적물로부터 기판상에서 상기 조정 필터를 통과한 물질을 포함한 필림을 증착하도록 스퍼터링 소스를 제어하는 컴퓨터 수단과; 상기 조정 필터의 수명을 모니터 하는 수단과; 증착된 필림 성질이 조정 필터에 형성되는 스퍼터 된 물질로서 기판사이에서 실제로 변하지 않은 식으로 상기 조정 필터 수명의 함수로서 제어 가능한 스퍼터링 변수의 값을 자동적으로 주기적으로 조정하는 공식을 포함하는 상기 컴퓨터에 대한 소프트웨어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링 소스.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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