KR940701340A - 다중 채널 배열 액적 데포지션 장치 - Google Patents
다중 채널 배열 액적 데포지션 장치Info
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Abstract
본 발명은, 수직하게 지지된 압전재료층(12)을 지니는 베이스시트, 상기층내에 형성된 직립 채널 분리 벽(13(a)-13(h))에 의해 제공된 평행하고 개방된 상부의 액적 채널(11(a)-11(h))의 배열, 상기 벽의 표면을 향한 채널상의 전극(23), 상기 벽에 접합된 채널 폐쇄시트(14), 상기 채널들과 각각 상통하는 노즐(22) 및 상기 채널과 연결하는 액적 공급 수단(21)을 포함하는 다중채널 배열 액적 데포지션 장치를 제공하는바, 상기 폐쇄시트는 채널 공간과 상응하는 간격으로 이격되고, 상기 채널과 평행하고 대향되게 배치된 평행한 전도성 트랙(16)의 배열, 및 트랙에 대향된 채널의 벽을 향하는 채널상의 전극에 각각의 트랙을 기계적 및 전기적으로 연결하고, 상기 채너에 폐쇄시트를 시일하는, 땜납접합이 바람직한 접합(24,28)을 지닌다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 제조된 드롭-온-디 맨드 잉크 제트 프린트헤드의 형태내의 액적 데포지션 장치의 종단면도,
제2도는 프린트 헤드의 한가지 형태인 제1도의 선 X-X상의 배열방향의 단면도,
제3도는 프린트헤드의 다른 형태인 제1도의 X-X상의 배열 방향의 단면도.
Claims (19)
- 베이스시트에 수직하게 지지된 압전재료층을 지니는 베이스시트를 제공하는 단계, 상기 베이스시트 층내에서 평행하고 개방된 상부 액적 채널의 배열을 형성하여 압전재료가 연속적인 채널을 분리하는 직립벽을 제공하는 단계, 상기 벽의 표면을 향한 채널상의 전극을 형성하는 단계, 상기 벽에 채널 폐쇄시트를 접합시키는 단계, 상기 채널과 각각 상통하는 노즐을 제공하는 단계, 및 상기 채널에 액적의 공급원을 연결시키기 위한 수단을 제공하는 단계를 포함하는 다중채널 배열 액적 데포지션 장치(multi-channel array droplet deposition apparatus)를 제조하는 방법에 있어서, 상기 채널의 공간과 상응하는 간격에서 이격된 평행한 전도성 트랙의 배열을 갖는 상기 채널 폐쇄시트를 형성하는 것, 상기 채널에 평행하게 대향된 위치에 채널을 배치하는 것, 및 트랙에 대향된 채널벽의 측면을 향하는 채널상의 전극에 각각의 트랙을 기계적 및 전기적으로 연결하는 접합을 형성함으로써, 상기 채널벽에 폐쇄시트를 시일하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 트랙에 대향된 채널벽의 측면을 향하는 채널상의 전극에 각각의 트랙을 연결하는 상기 접합을 형성하기 전에, 상기 트랙에 구동전류회로를 연결하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 땜납접합(solder bonds)으로써 상기 접합을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제3항에 있어서, 트랙과 전극중 어느한 부분에 또는 트랙과 전극 양쪽에 땜납을 도금하는 것, 트랙에 대향되게 채널을 배치하는 것, 및, 동시에 트랙에 대향된 채널벽의 표면을 향하는 채널의 전극에 트랙을 각각 연결하는 접합을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제4항에 있어서, 최소한의 땜납을 가열하여, 그 땜납이 트랙 및 인접전극에 흐르게하고, 트랙과 인접전극을 브리지(bridge)하며, 상기 접합을 형성하는 땜납을 냉각시키는 메니스커스(meniscus)를 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 전기한항중 어느 한 항에 있어서, 벽을 향한 채널상의 전극의 공간이 접근하는 폭의 상이 채널시트상에 상기 트랙을 형성하는 것을 특징으로하는 방법.
- 제2항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 상기 채널 폐쇄 시트내에 위치한 구동 칩(drive chip)에 상기 구동전류 회로를 제공하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 트랙과 연결된 구동회로 수단을 제공하기 위해 상기 폐쇄시트상에 데포지션 함으로써 상기 구동 칩을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 수직하게 지지된 압전재료층을 지니는 베이스시트, 상기층내에 형성된 직립채널 분리벽에 의해 제공된 상기 베이스 시트층내의 평행하고 개방된 상부의 액적채널의 배열, 상기 벽의 표면을 향한 채널상에 제공된 전극, 상기 벽에 접합된 채널 폐쇄시트, 상기 채널들과 각각 상통하는 노즐, 및 채널에 액적을 공급하기 위한 수단을 포함하는 다중채널 배열 액적 데포지션장치에 있어서, 상기 채널 폐쇄시트는, 채널공간과 상응하는 간격으로 이격되고, 상기 채널과 평행하고 대향되게 배치된 평행한 전도성 트랙의 배열, 및 트랙에 대향된 채널의 벽을 향하는 채널상의 전극에 각각의 트랙을 기계적 및 전기적으로 연결하고, 상기 채널에 폐쇄시트를 시일하는 접합을 지니는 것을 특징으로하는 장치.
- 제9항에 있어서, 전기 구동 전류회로가 상기 터랙에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 채널 폐쇄 시트상의 트랙은 벽을 향한 채널상의 전극 사이의 공간이 접근하는 폭으로되는 것을 특징으로하는 장치.
- 제9항 내지 제11항에 있어서, 상기 전극에 상기 트랙을 연결하는 접합은 땜납 접합인 것을 특징으로 하는 장치.
- 제12항에 있어서, 열팽창 계수값을 고려한, 땜납접합의 고상선(固相線;solidus)이 선택되어, 상기 채널 폐쇄시트 및 상기 압전재료의 관련된 열변형을 제한하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 접합의 땜납은 납 및/또는 주석 및/또는 인듐의 합금인 것을 특징으로 하는 장치.
- 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 접합의 땜납은 납 및 주석을 포함하는 공용 합금(eutectic alloy)인 것을 특징으로 하는 장치.
- 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 접합의 땜납은 은(silver)을 포함하는 합금인 것을 특징으로 하는 장치.
- 제9항 내지 16항중 어느 한 항에 있어서, 상기 채널 폐쇄시트는, 압전 세라믹에 비교하여 고탄성율을 지니며, <110>실리콘과 동등한 팽창계수를 지니는 글라스 또는 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제17항에 있어서, 상기 채널 폐쇄시트는 붕규산 글라스(borosilicate glass)인 것을 특징으로 하는 장치.
- 제18항에 있어서, 상기 폐쇄시트는, 상기 채널 배열 방향에서 상기 시트의 폭을 확장하며, 출력단자(output terminal)가 상기 채널폐쇄시트상의 전도성트랙에 연결된 입력 및 출력단자를 지니는 상기 시트내에 형성된 다중채널(multi plexer) 구동회로를 지니는, 상기 시트상에 데포지트된 결정성 실리콘층을 지니는 것을 특징으로 하는 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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