KR940007216A - 확산접합된 스페터링타게트조립체 및 그 제조방법 - Google Patents

확산접합된 스페터링타게트조립체 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 뒤판을 가진 스패너링타케트 조립체에 관한 것이며, 특히 뒤판과 스패터링 타게트를 삽입제를 개재해서 혹은 개재하지 않고 그들의 계면을 고상 확산접합하고, 그때 스패너링타게트가 뒤판에의 접합전의 금속확적 특성 및 성상을 실질상 유지하고 있는 것을 특징으로 하는 스패터링타게트조립체 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한것으로서, 그 구성에 있어서, 타게트재(1)와 뒤판(2)을 삽입재(3)를 사이에 두거나 혹은 사이에 두지 않고서 저온에서 고상확산접합하므로서, 타게트재(1)의 결정입자 성장이나 조작의 변화나 오염을 억제하고, 타게트의 변질 혹은 변형을 발생하는 일없이, 구성원자가 서로 확산되므로서 높은 밀착성과 높은 접합강도를 얻게되고, 사용온도의 상승에 의한 접합강도의 급격한 저하가 발생되지 않고 고상 접합이기 때문에 계면에 포어등의 미접착부가 없는 100%접합율의 고도로 신뢰성을 가진 본딩을 얻게되는 것을 특징으로 한것이다.

Description

확산접합된 스패터링타게트조립체 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 타케그재와 뒤판(Backplate)을 삽입제를 개재해서 고상으로 확산접합한 스패터링타게트조립체의 사시도,
제2도는 실시예 1에 있어서의 본 발명에 따른 고상확산접합재 및 Sn-Pb-Ag계 저융점납재를 사용한 접합재의 실온에서의 접합전단강도를 비교해서 표시한 그래프,
제3도는 실시예 1의 접합재의 접합전단강도의 온도의 조성을 표시한 그래프,
제4도는 본 발명에 따른 Aℓ-1%, Si-0.5%, Cu타게트, Ag박(箔)및 OFC제 뒤판의 적충재의 접합계면 근처의 금속조직을 표시한 현미경사진.

Claims (14)

  1. 뒤판과 스패터링타게트을 삽입재를 개재해서 혹은 개재하지 않고 그들의 계면을 고상확산접합하고, 그때 스패터링타게트가 뒤판에의 접합전의 금속학적 특성 및 성상을 실장상 유지하고 있는 것을 특징으로 하는 스패터렁타게트조립체.
  2. 1000℃미만의 융점을 가진 타게트재와, 1종 이상의 삽입재와, 뒤판을 구비하고, 상기 타게트재와 상기 삽입재 및 상기 삽입재와 상기 뒤판이 각각 고상확산접합 계면을 가지는 동시에 상기 타게트재가 결정입자직경이 250㎛이하의 균일한 결정조직인 것을 특징으로 하는 고체상확산접합 스페터링 타게트조립체.
  3. 제2항에 있어서, 타게트재가 알루미늄 또는 알루미늄합금, 구리 또는 구리합금, 혹은 니켈 또는 니켈합금인 것을 특징으로 하는 고상확산접합스페터링 타게트조립체.
  4. 제2항에 있어서, 삽입재가 은 또는 은합금, 구리 또는 구리합금, 혹은 니켈 또는 니켈합금인 것을 특징으로 하는 고상확산접합스패터링 타게트조립체.
  5. 제3항에 있어서, 삽입재가 은 또는 은합금인것을 특징으로 하는 고상확산접합스패터링타게트 조립체.
  6. 1000℃미만의 융점을 가진, 소정의 최종형상의 타게트재와 소정의 최종형상의 뒤판을 1종 이상의 삽입재를 사이에 삽입해서 진공하에서 150∼300℃의 온도에서 고상확산접합시키는 것을 특징으로 하는 다게트재가 결정입가 직경이 250㎛이하의 균일한 결정조직인 것을 특징으로 하는 고상확산접합스패터링타게트조립체를 제조하는 방법.
  7. 1000℃이상의 융점을 가진 타게트재와, 이 타게트재의 융점보다 낮은 융점을 가진 금속 또는 합금으로부터 선택되는 1종 이상의 삽입재와 뒤판을 구비하고, 상기 타게트재와 상기 삽입재 및 상기 삽입재와 상기 뒤판이 각각 고상확산접합계면을 가진것을 특징으로 하는 고체상확산접합스패터링타게트조립체.
  8. 제7항에 있어서, 타게트재가 W, Mo, Ti, Ta, Zr, Nb로 이루어진 군으로부터 고융점 금속 및 그 합금인것을 특징으로 하는 고체상학산접합 스퍼터링타게트 조립체.
  9. 제7항에 있어서, 삽입재가 은 또는 은합금, 구리 또는 구리합금, 혹은 니켈 또는 니켈합금인 것을 특징으로 하는 고체상확산접합스퍼터링 타게트 조립체.
  10. 제8항에 있어서, 삽입재가 은 또는 은합금, 구리 또는 구리합금, 혹은 니켈 또는 니켈합금인 것을 특징으로 하는 고체상확산접합스퍼터링 타게트 조립체.
  11. 1000℃이상의 융점을 가진, 소정의 최종형상의 타게트재와 소정의 최종 형상의 뒤판을 상기 타게트재의 융점보다도 낮은 융점을 가진 금속 또는 합금으로 부터 선택되는 1종이상의 삽입재를 사이에 삽입해서 진공하게서 200∼600℃의 온도 및 0.1∼20kg/㎟의 압력조건에서 고체상확산 접합시키는 것을 특징으로 하는 스패터링타게트조립체를 제조하는 방법.
  12. 티탄타게트재와, 티탄재뒤판을 구비하고, 상기 티탄타게트재와 상기 티탄개뒤판이 고상확산접합개면을 가짐과 동시에, 상기 타게트재가 결정입자직경이 100um이하의 균일한 결정조직적인 것을 특징으로 하는 고체상확산접합스퍼터링 타게트 조립체.
  13. 티타타게트재와 티타재뒤판의 변형속도 1×10-3/sec이하의 조건에서 고상 확산접합시키는 것을 특징으로 하는 타게트재가 결정입자직경이 100um이하의 균일한 결정조직인 고상확산접합스패터링타게트 조립체를 제조하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 온도 350∼650℃에서 확산접합한것을 특징으로 하는 고상확산접합스퍼터링타게트 조립체를 제조하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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