KR930011888B1 - 2 부품의 위치 또는 변위를 제어하기 위하여 2부품들간의 상대위치를 결정하는 장치 및 그것의 작동방법 - Google Patents

2 부품의 위치 또는 변위를 제어하기 위하여 2부품들간의 상대위치를 결정하는 장치 및 그것의 작동방법 Download PDF

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로버트 롬바르디니, 레네 데릭헤티
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Abstract

내용 없음.

Description

2 부품의 위치 또는 번위를 제어하기 위하여 2부품들간의 상대위치를 결정하는 장치 및 그것의 작동방법
제1도는 본 장치를 개략적으로 나타낸 도면.
제2도는 디스크형 데이터 매체 또는 캐리어를 이용하는 장치 실시예의 평면도.
제3도는 선형 데이터 매체 또는 캐리어를 이용하는 장치에 대한 실시예의 평면도.
본 발명은 2부품간, 특히 가공물과 공구간의 상대 위치를 결정하고, 이들의 위치나 변위를 조절하기 위한 장치 및 이들 장치를 동작시키는 방법에 관한 것이다.
당업자는, 이를테면, 기계공구에서 금속 절삭을 위해, 또는 방전 가공기에서 비절삭 금속 가공을 위해, 대략 1마이크로미터의 정밀도를 취하면서 부품들간, 특히 가공물과 공구간의 상대 위치나 변위를 조절할 때, 주위 환경조건(오염, 전기 및 자기장 등)의 저해영향 및 변동(열적 길이변화, 진동에 의한 주기적 변형, 가해진 힘에 의한 느린 탄성변형 등)은 물론 필요한 정밀도, 재생성 및 자체의 위치 측정에 대한 신뢰성으로 초래되는 문제점에 직면하게 된다. 이와 같은 결함 및 에러를 제거하고, 또한, 예컨대 가공물을 제작할 때, 가공기에 수반되는 기하학적 정밀도를 개선시키기 위해 수 많은 원리가 이미 적용되어 왔으며, 많은 방법 및 장치가 제안되었다.
따라서, 이를테면 데이터의 자기적인 기억의 원리를 이용하여, 1부품에 고정되어 주기적인 측정신호가 기록된 자기 트랙 및 이 자기 트랙을 판독하기 위해 타 기계부품에 고정된 2가지 헤드에 의해 2부품 즉 가공물과 공구간의 상대 변위를 측정하는 것이 알려졌다. (DE-20907175) 판독 신호를 발생하고 평가하기 위해서 특별히 구성된 회로에 의해 상대 변위는 펄스에 의해 증분적으로 주어지고, 달성된 정밀도는 매 펄스마다 대략 5마이크로미터로 추정된다. 이것은 예컨대 방전 가공기에 요구되는 정밀도와 필요한 동작 신뢰성을 만족시키지 못한다. 그 이유는 자기 트랙상에 기록된 주기신호가 한편은 주기적인 에러를 가지며, 또 한편은 주위 환경적으로 야기된 일정치 않은 전자기적인 영향에 의해 방해되거나 지워지기 때문이다. 데이터의 광학적인 기억에 대한 원리를 이용하여 광원과 검출장치의 조합에 의해 주기적으로 변하는 명암 또는 광학적으로 투명 및 불투명한 마이크로된 눈금을 판독하는 것이 알려져 있는바, (DE-3007311), US-3578979) 눈금은 일 부품에, 광원과 검출장치는 타 부품에 고정되어 이들 사이의 상대 변위가 측정되어진다. 그 결과, 증분 위치가 결정된다. 주기적인 눈금의 증분에 상응하고 서로에 대해 상변위된 몇 개의 주사 트랙을 갖춘 눈금의 특수 구성물 및 주사면을 갖춘 검출장치의 특수 구성물을 통해 증분의 보간이 가능해지고 결과적으로 달성될 수 있는 정밀도가 증가된다. 그와 같은 장치의 경우, 달성된 정밀도는, 특별히 모아레 무늬(Moire Fringe)의 형태를 통해 눈금 분할의 보간이 있는 경우에는, 매 펄스마다 대략 1마이크로미터가 요구된다. (US-3779647) 그와 같은 장치는 기능적 신뢰성은 있지만 오염에 대해 민감하며, 또한 제작 및 조정이 어려워 비용이 많이 든다.
그래서 이들 단점을 줄이기 위해 이것이 사용되는 기계에 기계기구로 검출장치를 조정가능하게 직접 배치하게끔 하는 것이 제안되었다. (EP-102472) 그러나 그와 같은 해결방안은 진동의 영향에 대해서는 만족스럽지 못했다. 또한 눈금의 기계에 대한 정확한 고정으로 많은 문제점이 야기되었으며, 이들의 배제를 위해 단지 기계에 눈금 캐리어를 장착한 다음 코우드 패턴을 만들어 내게하는 것이 제안되어(EP-48487), 이런 방법으로 편심 오차를 피하게끔 하였다. 그러나 그와 같은 해결방안은 기계 생산계열에 쉽게 통합될 수 없는 비경제적인 공정이다. 간섭계의 원리를 이용하여 상대 위치 결정의 결정의 소정 정밀도를 얻는 것이 제안되었지만(US-3409375), 이것은 고도의 간섭성과 양호한 집중성의 레이저광을 필요로 하므로 결과적으로 비용이 많이 든다. 커다란 길이와 통로를 측정하는 데 있어 부닥친 문제점 중 몇 문제점을 극복하기 위해, 특별한 해결방안이 이미 제안되었지만 (US-3884580, US-4195412), 이들은 상당한 비용을 요한다. 또한 레이저 간섭계에서 얻어진 대략 25나노미터 크기의 정밀도는 측정방법이 진동에 의한 장해에 너무 민감하다는 면에서 너무 높다. 간섭 띠가 서로 구별될 수 없고 단지 증분적으로 계산될 수 있기 때문에, 기계의 진동 및 이를테면 광비임의 통로상에 공기의 굴절률에 대한 열적 변화가 증분의 부정확한 산정을 유도한다.
금속 가공기에서의 이들 문제점을 극복하기 위한 대응 해결방안은 복잡하고도 비용이 많이 든다. (US-3520613, US-3708657, US-4365301) 일반적인 문제점은 소정의 정밀도를 얻기 위해, 측정 장치의 협동부가 부품들에 직접 배치, 고정되어져야만 하고 그 부품들의 상대 위치가 결정되어져야만 한다는 것이다. 따라서 금속 가공기에는 축에 코우트 휘일을 배치시켜 상기 축의 회전 또는 회전 위치를 정확하게 측정하는 것이 알려져 있다. (US-3983391) 그러나 대응 부품(가공물이나 가공벤치)에 상기 축의 이동 및 위치를 전달하는 기어에서는 정밀도가 없어진다. 또한 부품들의 상대 운동의 제어는 무치차 단면, 이를테면 축반전중 기어의 틈새에 상당하는 사단면(dead section)에 의해 손상되며, 무치차 단면 및 사단면에 상당하는 위치에 대해 신뢰성을 갖지 못하게 된다. 따라서 기계적인 전동을 생략시키거나 이들을 유압 구동체 또는 선형 모우터로 대치시키는 것이 제안되었다(US-3736818, US-4220995) 이들 방안들은 소정의 정밀도에 기여할 수 있으나, 그들 자체가 소정 정밀도를 꾀하지는 못한다. 본 발명의 과제는 적당한 비용으로 대략 1마이크로미터의 정밀도를 취하면서, 그리고 대응 자장치를 제공하여, 기계부품들간의 상대 위치나 변위를 제어할 수 있고, 상기 장치를 동작시키는 방법을 제안하는 새로운 방법을 제공하는 것이다. 이를테면 방전 가공기에서 비절삭 금속 가공을 위해 또는 가공공구에서 금속절삭에 있어서, 특히 가공물과 공구간에는 위치 측정에 대한 재생성과 신뢰성이 마이크로미터 범위내에 있어야만 하고, 또한 환경조건 및 변동에 의한 저해영향이 없어야 한다.
앞서 언급한 장치의 경우, 본 발명에 따라 이 과제는 특허청구범위 제1항의 특징부에서 한정한 방도로 해결된다.
본 발명의 실시예를 지금부터 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
본 장치는 공작기계, 예를 들어 방전가공기를 포함한다. 그와 같은 기계(1)는 U형 프레임을 가지며, 이 프레임은 기계의 각부(2: leg)중의 한 각부에 놓여진다. 하부 각부(2)의 상단에는 테이블(3)이 설치되며, 테이블에는 가공물(4)이 고정되고, 가공물은 공구(5)에 의해 가공된다. 공구(5)는 호울더(6)의 일단에 고정되며, 호울더는 기계(1)의 프레임의 상부 각부(7)에 가동적으로 배치된다. 호울더(6)는, 가공물(4)의 가공제어프로그램에 따라서, 수직 및 수평의 양방향으로 이동될 수 있다. 공구(5)의 호울더에는 데이터 캐리어 또는 매체(10)가 배치된다. 이 데이터 매체(10)는 호울더(6)에 고정될 수도 있고 또는 호울더의 기어(11)에 의해 호울더에 접속될 수 있다. 이 기어는 또한, 호울더(6) 및 공구가 고정되어 있어도 데이터 매체(10)를 이동시킬 수 있는 구동부(도시하지 않았음)를 내포한다.
주사헤드(15 : scanning head)가 데이터 매체(10)의 하부측으로부터 데이터 매체(10)와 결속되어 있으며, 상기 주사헤드는 데이터 매체(10)에 대해 이동된다. 주사헤드(15)는 슬라이드(16) 내에 위치하며, 이 슬라이드는 기계의 프레임의 하부 각부(2)에 접속되어진다. 그러나 어떤 상황에서는 슬라이드(16)가 가공물(4)에 고정될 수도 있다. 주사헤드(15)는 평가회로(17 : evaluation circuit)에 연결되며, 이 회로(17)에서 주사 헤드(15)에 의해 독출된 데이터가 처리된다. 대응 신호들이 라인(18)을 거쳐 호울더(16)에 공급되므로 상기 구동부(20)는 프로그램의 명령 및 평가회로(17)로부터의 신호 모두를 고려하면서 호울더(6)를 제어할 수 있다.
제2도는 디스크형 데이터 매체(10)의 평면도를 나타내는 것으로, 이 매체(10)는 호울더(6)에 견고하게 고착된다. 슬라이드(16)는 주사헤드(15)를 수반하며, 그의 주사슬릿(21)이 점선에 의해 나타나 있다. 데이터 매체(10)는 동심트랙(22)을 가지며, 데이터는 자기적 또는 광학적으로 또는 이와 다른 방법으로 서입(write)된다. 데이터 매체(10)의 트랙(22)은 여러 섹터(23)로 세분된다. 정보들은 트랙(22) 및 섹터(22)내에 서입되며 특정의 섹터와 특정의 트랙을 명료하게 식별한다.
매체(10)로부터 데이터를 주사하기 위해 주사헤드(15)가 변위 가능하게 장착되어 있는 슬라이드(160)는 이동될 수 있거나 방사방향(R) 또는 접선방향(T) 또는 이들 양방향으로 동시적으로 회전될 수 있다.
그러나 데이터 매체(10)는 제3도에 개략적으로 도시한 바와 같이 선형으로도 될 수 있다. 그와 같은 데이터 매체(10)는 스트립의 형상으로 되어 있으며, 그의 일단은 호울더(6)에 고정되어진다. 데이터 매체(10) 밑에는 주사슬릿(21)과 더불어 주사헤드가 있으며, 이 슬릿은 슬라이드(16)내에 이동 가능하게 설치된다. 여기서 이 슬라이드(16)는 R방향 및/또는 T방향으로 움직일 수 있다. 기계부품의 위치를 결정하기 위해 각 트랙의 각 섹터에 대해 특정의 섹터 및 트랙의 명료한 식별을 형성하는 정보가 기록 트랙 및 섹터로 세분된 자기적 또는 광학적으로 독출 가능한 데이터 매체에 저장된다. 데이터 매체는 디스크형 또는 선형으로 될 수 있으므로 특별한 구조에 따라서 데이터 매체는 기계부분을 회전 또는 종방향 이동에 대해 위치 조정시키는데 이용될 수 있는 것이다. 데이터 기억의 특성은 본질적으로 데이터를 자기적으로 독출하기 위해 자화 캐리어상에 자화 도메인열의 형태로 또는 데이터를 광학적으로 독출하기 위해 거울면 캐리어(mirror-smooth carrier)상에 구멍 또는 비반사점의 번트(burnt) 열의 형태로 있는 것으로 알려졌다.
정보 캐리어는 일 기계부품에 고정되는 한편, 대응 독출 헤드는 데이터 기록형의 기능으로서, 본질상 이를테면 자기 디스크(예컨대, 플로피 디스크 및 윈체스터 디스크로 칭함) 또는 광학 디스크(예컨대, 비데오 디스크로 칭함)를 위한 것으로서 잘 알려진 형식의 자기 또는 광학 독출 헤드로서, 타 기계부품에 고정된다. 특정의 기계부품은 그들 사이에, 상대 위치가 측정되어지거나 운동이 제어되어지고 또한 데이터 매체의 아주 만족한 판독이 본래 자기적 또는 광학적 디스크나 플레이트상에 데이터 기억의 기술로부터 잘 알려진 판독헤드에 의해 보장되는 방도로 데이터 매체에 대해 배치되어 있다. 판독헤드의 신호를 처리 가능한 2진 신호로 바꾸기 위한 종래의 평가회로가 기계부품들간의 상대 위치를 결정하는 장치내의 판독헤드 다음에 온다. 판독헤드로부터 평가회로에의 연속적인 데이터 공급을 보장하여 기계부들의 상대 위치 또는 이동을 위하여 거기에 연결된 제어수단에 위치신호를 고정적으로 공급하는 것을 보장하기 위하여, 데이터 매체에 대한 판독헤드의 일정한 상대 이동은, 기계부들이 상호고정적일 때조차도 구동수단에 의해 제공될 수 있다. 변형예에 따라, 데이터 매체는, 예를 들어, 구동수단에 의해 일정하게 회전을 유지하는 플레이트형이나, 구동수단에 의해 일정하게 회전을 유지하는 링형의 회전대칭 구조를 가질 수 있으며, 그리하여 플레이트에 대한 판독헤드의 일정한 상대 이동을 확실하게 한다.
이 경우에 기계부품들의 왕복 상대 이동에 상당하는 플레이트에 대한 판독헤드의 상대 이동은 플레이트에 대략 방사상으로 일어나며, 그리하여 보간 정밀세팅(편이각에 대한 삼각비의 느린 이동)을 가져오기 위하여(예를 들어 10도 미만의 편이와 같은) 방사상으로 지향된 이동으로부터의 미소한 편이를 제공하는 것이 가능하다. 다른 변형예에서, 데이터 매체는, 예를들어, 한 기계부품에 고정된 선형 헤드의 형태로 구성될 수 있고, 판독헤드는 구동수단에 의해 다른 기계부품에 배치되어 기계부품들이 상호 고정적일 때조차 그것은 중앙위치에 대해 주기적으로 회전하도록 하여 데이터 매체에 대해 주기적으로 이동한다. 상기 후자의 변형예의 경우에는 두가지 실현 가능성이 존재한다. 그 한 경우에 있어서, 판독헤드의 주기적 이동은 검출될 기계부와 상대 이동과 동일한 방향으로 발생한다. 즉 말하자면, 데이터가 종방향으로 그리고 선형으로, 즉 1차원적으로(그러나 섹터로 세분되어), 기록된 데이터 매체의 종방향으로 판독헤드의 주기적인 종방향 이동중에, 판독헤드는 데이터가 기억된 최소한 한 섹터를 통과하여 이 섹터를 식별하고, 상기 데이터는 장치에 의해 일정하게 처리되어 제어수단으로 건너가고, 고신뢰성의 위치 제어를 확실하게 한다. 이것은 데이터 섹터들이 선형으로 뒤이어 계속 따르고 각각의 데이터 섹터가 하나의 치를 한정하는데 있어 분해능이 감소되기 때문에 거친 금속 위치 결정관련하여 사용가능하다. 그러나 각 개의 데이터 섹터들에 기억된 데이터의 적당한 코우딩(부호화)의 경우에, 보간이 실시될 수 있고 또한 이 실시예는 정밀한 위치 설정에 사용될 수 있다.
상기 두가지 중 또 하나의 실시예에서, 판독헤드의 주기적 이동은 검출된 기계부품들의 상대 이동방향에 대략 직각인 방향으로 발생한다. 즉 데이터 매체의 종방향으로 나란히 병설되어 데이터 매체의 횡방향으로 뻗어있는 데이터 섹터들을 차례로 2차원적으로 설치되어 있는 데이터 매체의 종방향에 대략 직각인 방향으로 발생한다. 판독헤드의 주기적인 횡방향 이동중에, 판독헤드는 데이터가 기억된 섹터를 통과하여, 상기 섹터를 식별한다. 이 데이터는 장치에 의해 일정하게 처리되어 고신뢰성의 위치 제어를 하게 하는 제어수단에 전달된다. 명백하게 판독헤드의 횡방향 이동은, 그 이동을 확실하게 하기 위하여 판독헤드가 슬라이드에 고착되었느냐 그렇지 않으면 피봇 아암에 고착되었으냐에 따라, 곧은 직선형으로 그렇지 않으면 원호형으로 발생할 수 있다. 가역 운동학의 더욱 진보된 발명원리에 의하면, 판독헤드는 한 기계부품에 고착될 수 있었고, 데이터 매체는 주기적 가동방식으로 다른 기계부품에 고착될 수 있었다. "판독헤드"와 "데이타 매체"란 용어를 교환한 경우에도 전술한 실시예들이 사용될 수 있다.
기계부품들의 위치나 변위를 제어하기 위해 상기 두 개의 기계부품들 사이의 상대 위치를 결정하기 위한, 여기서 말하는 장치의 동작에 대해서 보면, 다음과 같은 단계의 방법을 실행한다 : 데이터가 각 각의 트랙에서의 각 각의 섹터상에 기억되어 특정한 섹터 및 트랙을 명백히 식별하도록 부호화된 데이터를 기록 트랙들 및 섹터들로 세분된 자기 또는 광학적으로 판독 가능한 데이터 매체상에 기억시키는 단계와 : 한 기계부품상에 배치된 판독헤드에 의해 판독하는 단계와 : 판독된 데이터를 기계부품들의 왕복 위치나 변위를 제어하기 위한, 기계부품들의 왕복 상대 위치의 측정값과 상기 판독된 데이터를 연관시키는 단계를 실행한다.

Claims (27)

  1. 2부품들간, 특히 가공물과 공구간의 위치 또는 변위를 제어하기 위하여 그들의 상대 위치를 결정하는 장치에 있어서, 기록용 트랙 및 섹터로 세분되어 정보가 기억되어 있는 자기적 또는 광학적으로 판독 가능한 데이터 매체가 각 트랙의 각 섹터에 특정의 섹터 및 특정의 트랙에 대한 명료한 식별을 가능하게 하며, 상기 데이터 매체는 1기계부품상에 배치되어 있는 한편, 대응 판독헤드는 타 기계부품상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 데이터 매체가 디스크형 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항에 있어서, 데이터 매체가 선형구조를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 데이타 매체가 1기계부품상에 고정된 형태로 배치되고 대응판독헤드는 타 기계부품상에 고정된 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 기계부품중 어느 한 부품에 배치된 데이터 매체의 경우에 있어, 판독헤드가 구동부에 의해 타 기계부품상에 고정 배치되어 있어, 기계부품들이 상호 고정적일 때조차, 데이터 매체에 대해 지속적인 상대 이동을 할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제5항에 있어서, 데이터 매체가 회전 대칭형으로 구성되어 대응 기계부품상에 일정하게 회전하는 형식으로 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 판독헤드가 데이터 매체에 대해 대체로 방사식으로 이동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제6항에 있어서, 판독헤드가 데이터 매체에 대해 반경방향으로부터 10°이하로 벗어나면서 이동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제5항에 있어서, 데이터 매체가 1기계부품상에 고정된 선형 스트립의 형태로 구성되고, 판독헤드가 구동부에 의해 타 기계부품상에 배치되어 있어, 기계부품들이 상호 고정적일 때조차, 중심 위치에 대해 주기적으로 진동하고, 데이터 매체에 대해 주기적인 이동을 할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제9항에 있어서, 데이터 매체의 종방향이 기계부품의 상대 이동방향에 대체로 평형하며, 그 종방향에 평형한 1차원적으로 기록된 데이터를 가지고, 판독헤드 또한 이 방향에 평형하게 이동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제9항에 있어서, 데이터 매체의 종방향이 기계부품들의 상대 이동에 대체로 평형하고, 그 방향에 대해 대체로 직각으로 신장하는 섹터에, 기억된 데이터가 제공되며, 이들 섹터들은 서로 평형하게 그리고 데이터 매체의 종방향으로 나란히 놓여 있으며, 판독헤드도 역시 이 방향에 직각으로 이동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제11항에 있어서, 섹터 및 판독헤드의 이동이 선형적인 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제12항에 있어서, 판독헤드가 슬라이드에 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제11항에 있어서, 섹터 및 판독헤드의 이동이 원호형인 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제14항에 있어서, 판독헤드가 피봇 아암에 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 판독헤드가 기계부품들중 어느 하나에 배치되어 있을 때, 데이터 매체가 구동부에 의해 타 기계부품에 고정 배치되어 있어, 기계부품들이 상호 고정적으로 되어 있을 때조차 판독헤드에 대해 일정한 상대 이동을 할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제16항에 있어서, 데이터 매체가 회전 대칭형으로 구성되어 대응 기계부품에 일정하게 회전하는 방식으로 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제17항에 있어서, 데이터 매체가 판독헤드에 대해 대체로 방사식으로 이동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 제17항에 있어서, 판독헤드에 대해 데이터 매체가 반경방향으로부터 10°이하의 각도로 벗어나는 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 제16항에 있어서, 판독헤드가 1기계부품에 고정되게 배치되고, 데이터 매체는 선형 스트립의 형태로 구성되며 또한 구동부에 의해 타 기계부품에 배치되어 있어 중심위치에 대해 주기적으로 진동할 수 있고 또한 기계부품들이 상호 고정적일 때에도 판독헤드에 대해 주기적인 이동을 할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  21. 제20항에 있어서, 데이터 매체의 종방향이 기계부품들의 상대이동 방향에 대체로 평형하며, 그 종방향에 평형한 1차원적으로 기록된 데이터를 가지며, 아울러 상기 방향에 평형하게 이동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  22. 제20항에 있어서, 데이터 매체의 종방향이 기계부품들의 상대이동 방향에 대체로 평형하고, 그 방향에 대해 대체로 직각으로 신장하는 섹터에, 기억된 데이터가 제공되고, 이들 섹터들은 서로 평형하게 그리고 데이터 매체의 종방향으로 나란히 놓여 있으며, 아울러 그 종방향에 직각으로 이동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  23. 제22항에 있어서, 섹터 및 데이터 매체의 이동이 선형적인 것을 특징으로 하는 장치.
  24. 제23항에 있어서, 데이터 매체가 슬라이드에 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  25. 제22항에 있어서, 섹터 및 데이타 매체의 이동이 원호형인 것을 특징으로 하는 장치.
  26. 제25항에 있어서, 데이터 매체가 피봇 아암에 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  27. 제1항에 따른 장치를 동작시키기 위해, 기록용 트랙 및 섹터로 세분된 자기적 또는 광학적으로 판독가능한 데이터 매체에 데이터를 기억시켜, 각 트랙의 각 섹터에 기억된 데이터가 특정의 섹터 및 특정의 트랙에 대해 명료한 식별을 허용하는 방도로 데이터가 코오딩되고, 1기계부품에 배치된 데이터 매체를 타 기계부품에 배치된 판독헤드에 의해 판독하고 그리고 독출된 데이터를 타 기계부품들의 상대 위치의 측정값과 연관시켜, 상기 측정값이 기계부품들의 상대위치 또는 변위를 제어시키는데 이용되는 것을 특징으로 하는 동작방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5471054A (en) * 1991-09-30 1995-11-28 Nf. T&M. Systems, Inc. Encoder for providing calibrated measurement capability of rotation or linear movement of an object, label medium and an optical identification system
JP2013535695A (ja) * 2010-08-19 2013-09-12 エレスタ・リレイズ・ゲーエムベーハー 絶対位置を決定するための位置測定デバイス及び方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3839800A (en) * 1968-08-29 1974-10-08 Ibm Method and apparatus for precisely contouring a work-piece imprecisely positioned on a fixture
US4047025A (en) * 1972-01-24 1977-09-06 Lemelson Jerome H Position indicating system and methods
JPS5847670B2 (ja) * 1973-06-15 1983-10-24 三菱電機株式会社 デンアツケンシユツカイロ
US4054746A (en) * 1975-10-22 1977-10-18 Data Automation Corporation Electronic coordinate position digitizing system
JPS5492308A (en) * 1977-12-29 1979-07-21 Sony Corp Head tracking device in recorder-reproducer
JPS5582919A (en) * 1978-12-19 1980-06-23 Toshiba Corp Encoder
US4325134A (en) * 1980-10-15 1982-04-13 Rca Corporation Video disc defect detector
DE3201005A1 (de) * 1982-01-15 1983-07-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen
FR2529665A1 (fr) * 1982-07-05 1984-01-06 Sfena Capteur rotatif de position angulaire a sorties numeriques
CH649021A5 (fr) * 1982-08-06 1985-04-30 Charmilles Sa Ateliers Machine a usiner par decharges electriques erosives.
DE3308814C2 (de) * 1983-03-12 1985-02-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Meßeinrichtung
DE3311204A1 (de) * 1983-03-26 1984-10-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
JPS60143316U (ja) * 1984-03-06 1985-09-24 アルプス電気株式会社 ロ−タリエンコ−ダ
DE3412063A1 (de) * 1984-03-31 1985-11-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Positionsmesseinrichtung
US4733069A (en) * 1986-02-14 1988-03-22 Optec Co., Ltd. Position encoder using a laser scan beam

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