KR890702234A - 기체환경에서 사용하는 2차 전자 탐지기 - Google Patents

기체환경에서 사용하는 2차 전자 탐지기

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Abstract

내용 없음

Description

기체환경에서 사용하는 2차 전자 탐지기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명을 실제 형태로 구현하는 장치의 개략적인 횡단면도이다.

Claims (13)

  1. 샘플의 표면으로부터 2차 전자들을 발생시키고 증폭하며 탐지하는 장치로서 : (a) 압력 제한구를 갖는진공덮개 ; (b) 진공 덮개 안에 있고, 하전 입자 비임을 발산할 수 있는 하전입자 비임원 ; (c) 진공 덮개안에 있고, 하전 입자 비임원에서 발산된 하전 입자 비임을 상기 압력 제한구를 통하게 할 수 있는 집속 수단 ; (d) 진공덮개 바깥에 있고, 샘플의 표면이 하전입자 비임원에서 발산된 하전입자 비임에 노출되고 압력 제한구쪽을 향하도록 적어도 0.05 torr의 압력의 기체로 둘러싸인 샘플을 그 압력 제한구와 일치하게 유지할 수 있는 샘플대 수단 ; (e) 진공 덮개 바깥에 있고, 샘플대 수단상에 있으면서 하전 입자 비임원에서 발산된 하전입자 비임에 노출된 샘플의 표면으로부터 발산되는 2차 전자들과 접촉할 수 있도록 상기 샘플대 수단에서 약 1-200mm내에 위치한 전국 ; (f) 상기 전극에 연결되고 접지되어서 전극과 샘플대 수단 사이의 전압차를 약 50V 보다는 크고 약 2000V 보다는 작게 유지할 수 있는 전원으로서, 상기 전극 전압이 샘플대 수단 전압에 비해 양이어서 샘플대 수단에 있는 샘플의 표면으로부터 발산된 2차 전자들을 기체 분자들과 충돌케하고 음전하 캐리어들을 발생시키기에 충분한 강도의 전기장으로 상기 2차 전자들을 가속시키고, 그 캐리어들은 다른 기체 분자들과의 다중 충돌에 의해 그 뒤 또 다른 음전하 캐리어들을 발생시켜서 원래의 2차 전자수보다 비례적으로 더 많은 갯수의 음전하 캐리어들을 발생시킬수 있고, 상기 전기장의 강도는 심각한 전기방전이나 아아크를 피할만큼 충분히 낮은 상기 전원 ; (g) 상기 전극에 연결된 전류 증폭기 ; 및 (h) 상기 전류 증폭기와 전기 접지부 사이를 연결한 전류 탐지 수단 ; 으로 구성되는 상기 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 하전입자 비임원이 전자비임원인 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 전극이 샘플대 수단에서 약 10mm 떨어져 있는 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 전원이 조절가능한 장치.
  5. (a) 압력 제한구를 갖는 진공 덮개 ; (b) 진공 덮개 안에 있고, 전자 비임을 발산할 수 있는 전자 비임원 ; (c) 진공 덮개 안에 있고, 전자 비임원에서 발산된 전자 비임을 상기 압력 제한구를 통하게 할 수 있는 접속 수단 ; (d) 진공 덮개 안에 있고 전자 비임원에서 발산된 전자 비임을 상기 압력 제한구의 직경을 가로질러 주사할 수 있는 전자 비임 주사 수단 ; (e) 진공 덮개 바깥에 있고, 샘플의 표면이 전자 비임원에서 발산된 전자 비임에 노출되고 압력 제한구쪽을 향하도록 적어도 0.05 torr 의 압력의 기체로 둘러싸인 샘플을 그 압력 제한구와 일치하게 유지할 수 있는 샘플대 수단 ; (f) 진공 덮개 바깥에 있고, 샘플대 수단상에 있으면서 전자 비임원에서 발산된 잔자 비임에 노출된 샘플의 표면으로부터 발산되는 2차 전자들과 접촉할 수 있도록 상기 샘플대 수단에서 약 1-200mm 내에 위치한 전극 ; (g) 상기 전극에 연결되고 접지되어서 전극과 샘플대 수단 사이의 전압차를 약 50V 보다는 크고 약 2000V 보다는 작게 유지할 수 있는 전원으로서, 상기 전극 전압이 샘플대 수단 전압에 비해 양이어서 샘플대 수단에 있는 샘플의 표면으로부터 발산된 2차 전자들을 기체 분자들과 충돌케하고 음전하 캐리어들을 발생시키기에 충분한 강도의 전기장으로 상기 2차 전자들을 가속시키고, 그 캐리어들은 다른 기체 분자들과의 다중 충돌에 의해 그 뒤 또 다른 음전하 캐리어들을 발생시켜서 원래의 2차 전자수보다 비례적으로 더 많은 개수의 음전하 캐리어들을 발생시킬 수 있고, 상기 전기장의 강도는 심각한 전기 방전이나 아아크를 피할 만큼 충분히 낮은 상기 전원 ; (h) 상기 전극에 연결된 전류 증폭기; 및 (i) 상기 전류 증폭기와 전기 접지부 사이를 연결한 전류 탐지 수단 ; 으로 구성되는 전자 주사 현미경.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 전극이 샘플대 수단에서 약 10mm 떨어져 있는 전자 주사 현미경.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 전원이 조절 가능한 전자 주사 현미경.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 전자 비임원은 약 1keV-40keV 범위 내의 에너지를 갖는 전자 비임을 발산할 수 있는 전자 주사 현미경.
  9. 다음의 각 단계로 구성되는, 샘플의 표면으로부터 2차 전자들을 발생시키고 증폭하며 탐지하는 방법 : (a) 샘플의 표면에서 2차 전자들을 발산시키기에 충분한 에너지를 갖는 하전입자 비임으로 적당한 기체 압력하에서 그 샘플의 표면을 주사하는 단계 ; (b) 2차 전자들로 하여금 기체 분자들과 충돌케 하고 음전하 캐리어들으르 발생케 한 뒤, 그 음전하 캐리어들이 다른 기체 분자들과 다중 충돌하여 음전하 캐리어들을 더 발생시킨 결과 원래의 2차 전자수에 비례적으로 더 많은 개수의 음전하 캐리어들을 생기게 하기에 충분하면서도 심각한 전기 방전이나 아아크를 피하기에 충분히 낮은 강도의 전기장으로 2차 전자들을 가속하는 단계 ; 및 (c) 전자들과 이온화된 기체 분자들로부터 생기는 전류를 탐지하여, 샘플의 표면에서 발산된 2차 전자 수에 비례하는 신호를 탐지하는 단계.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 하전입자 비임이 전자 비임인 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 전자 비임의 에너지가 약 1keV에서 약 40keV까지의 범위 내에 있는 방법.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 기체 압력이 약 0.05torr에서 약 20torr 까지의 범위 내에 있는 방법.
  13. 제 9 항에 있어서, 상기 전기장의 전압이 약 50V에서 약 2000V 까지의 범위내에 있는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890700124A 1987-05-21 1988-05-17 기체환경에서 2차 전자의 발생,증폭 및 검출장치와 그 방법 KR970005031B1 (ko)

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