KR890007057A - 변위 탐지 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 장치의 약도.
제2도 내지 제4도는 본 발명에 의한 장치의 선택적 실시예들의 약도.
제5도는 제1도 내지 제3도의 장치에서 사용되는 변조소자의 실시예를 도시한 약시도.
Claims (12)
- 다색광을 행로에 따라 검파기(7)로 전파하는 광원(1), 검광기(7)에 대하여 예정된 고정위치에 복사선 변조수단(5,19,20), 다색광의 행로를 검광기(7)에 도달하는 광선의 분배된 스펙트럼 내용을 변동시킬 수 있도록 조정하고, 물쳉의 변위에 응답하는 수단 및 분석수단(14)으로 구성되어 있는 물체의 변위를 측정하는 장치로서, 검광기가 적어도 제1및 제2감광소자(10,11)로 구성되어 있고, 제1감광소자(10)의 파장에 대한 감도가 제2감광소자(11)의 파장에 대한 감도와 다르며, 감광소자(10,11)에서 나오는 신호들이 분석수단(14)으로 공급되고, 이 분석수단이 감광소자(10,11)에서 나오는 신호로부터 신검광기(7)에 있사되는 복사선의 색을 색도(LIE)도상의 2개 이상의 매개변수로 계산하고, 분석수단(14)이 검광기(7)에 도달하는 복사선의 색을 물체의 변위로 해석하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 다색광을 복사선변조수단(5,19,20)에 집속시키게 되어 있는 집속수자(4)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제2항에 있어서, 행로조정수단에 물체의 변위에 대응하여 집속소자(4)를 이동시키는 수단이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제2항에 있어서, 집속된 다색광을 복사선변조수단(5,19,20)에 반사시킬 수 있게 위치한 반사면(17)이 제공되어 있고, 행로조정수단에 집속소자(4)와 반사면(17)의 하나 또는 모두를 그 사이의 거리가 변동될 수 있게 이동시키는 수단이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제4항에 있어서, 반사면(4)이 물체의 변위에 응답하여 집속소자(4)에 대하여 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제5항에 있어서, 반사면(17)이 변위를 측정하고자 하는 물체에 의하여 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제4항 내지 제6항중 한항에 있어서, 복사선변조수단(19)이 집속소자(4)내에 일체적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항 내지 제7항중 한항에 있어서, 복사선변조수단(5,20)에 전달된 파장의 강도를 다른 강도로 감쇠시키는 필터가 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제8항에 있어서, 필터(5,20)가 길이에 따라 색흡수성이 변동되는 세장요소로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제9항에 있어서, 필터(5,20)가 유색부분(9)과 투명부분을 가진 세장요소로 구성되어 있고, 유색부분과 투명부분 사이의 전이가 한정된 단부에서 발생하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제10항에 있어서, 상기 단부가 세장요소(20)의 종축쪽으로 비스듬히 뻗어있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 다색광을 행로에 따라 검광기(7)에 전파하는 것을 포함한 물체의 한 변위를 검파하는 방법으로서, 복사선변조수단(5,19,20)을 검광기(7)에 대하여 예정된 고정위치에 지지하는 단계, 다색광의 행로를 물체의 변위에 응답하여 검광기(7)에 도달하는 광선의 분배된 스텍트럼 내용을 변동시킬 수 있게 조정하는 단계, 검광기(7)에 도달하는 광선을 제1소자(10)의 파장에 대한 감도가 제2소자(11)의 파장에 대한 감도와 다른 적어도 제1 및 제2감광소자(10,11)에 의하여 검광하는 단계, 감광소자(10,11)에서 나오는 신호들로부터 검광기(7)에 입사되는 복사선의 색을 계산하여 색도도상에 2개 이상의 매개변수로 표시하는 단계, 검광기(7)에 입사되는 복사선의 색을 물체의 변위로 해석하는 단계 등으로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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