KR880701791A - 무전해 부착으로 기판상에 근본적으로 균열이 없는 구리부착층을 일관되게 생성하는 방법 - Google Patents

무전해 부착으로 기판상에 근본적으로 균열이 없는 구리부착층을 일관되게 생성하는 방법

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Abstract

내용 없음

Description

무전해 부착으로 기판상에 극복적으로 균열이 없는 구리부착층을 일관되게 생성하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (25)

  1. 구리이온 및 구리이온에 대한 환원제를 포함하는 무전해 구리부착용액으로 기판위에 구리를 부착시키는 방법에 있어서, 하기(a)-(c)단계를 특징으로 하는 근본적으로 균열이 없는 구리 부착층을 생산하는 방법 : a. 상기 구리이온 및 상기 환원제를 포함하는 무전해 구리 부착용액을 만들고 고유 양극 반응속도 대고유 음극 반응속도의 비가 약 1.1보다 작아지도록 양극 및 음극 반응물질의 농도를 조정하므로써 용액을 조작하고 ; b. 상기 비율에서 상기 기판위에 상기 무전해 부착용액으로 구리를 부착시키고 ; c. 상기 비율이 상기 구리부착을 통해 본질적으로 유지되도록 상기 부착용액의 조작을 조절한다.
  2. 제1항에 있어서, 상기 비율이 약 1.05보다 작은 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 비율이 약 1.0보다 작은 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 비율이 고유 양극속도에 대한 음극속도를 증가시킴으로써 유지되는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 부착용액이 하나 또는 그 이상의 오염물질을 함유하고, 상기 비율이 상기 오염물질의 농도를 감소시킴으로써 유지되는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 오염물질의 농도가 상기 부착용액을 활성 탄소로 처리함으로써 감소되는 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 부착용액의 일부분을 상기 오염물질이 근본적으로 없는 동등한 양의 상기 부착 용액으로 대치시킴으로써 상기 오염물질의 농도를 감소시키는 방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 구리 이온농도를 증가시키고/거나 음극반응에 대한 감극제를 첨가시킴으로써 상기 고유 음극 반응속도가 상기 부착 용액안에서 증가되는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 고유 음극속도에 대해 고유 양극속도를 감소시킴으로써 상기 비율이 유지되는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 구리이온에 대한 상기 환원제의 농도를 감소시키고/거나 상기 고유 양극반응을 감극시키는 성분들의 농도를 낮춰줌으로써 상기 고유 양극 반응속도가 상기 부착 용액안에서 감소되는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 구리이온에 대한 환원제가 수산화이온의 존재하의 포름알데히드인 방법.
  12. 제11항에 있어서, 포름알데히드농도 및 수산화물농도의 제곱근의 곱이 감소되도록 상기 포름알데히드 이온 및 상기 수산화이온중 하나 또는 둘다의 농도를 조정하므로써 상기 고유 양극 반응속도를 감소시키는 방법.
  13. 제10항에 있어서, 구리이온에 대한 상기 환원제가 수산화이온의 존재하의 포름알데히드이고, 고유 양극 반응속도를 감소시키는 성분들이 무기 시아나이드, 유기 니트릴, 및 바나듐 화합물, 방향족 이종환형 질소 화합물 및 폴리옥시에틸렌 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법.
  14. a. 다음 성분들 : 구리, 구리를 용해시키기 위한 하나 또는 그 이상의 리간드, 포름알데히드, 알칼리 금속 수산화물 및 촉진제(accelerator), 연성촉진제 및 계면활성제로부터 선택된 하나 또는 그 이상의 첨가제로 이루어진 안정한 무전해 구리부착용액을 형성하고 ; b. 상기 부착용액의 고유 양극 반응속도를 측정하고 ; c. 상기 부착용액의 고유 음극 반응속도를 측정하고 ; d. 고유 양극 반응속도 대 고유 음극 반응속도의 비율 1.1보다 크거나 같은 경우에, 약 1.1보다 작도록 상기 비율을 조정하고 ; e. 상기 비율이 약 1.1보다 작은지의 여부를 측정하기 위해서 단계 b 및 c를 반복하고 ; f. 단계 d를 반복한 다음 측정된 비율이 약 1.1보다 작아질때까지 단계 b 및 c를 반복하는 단계들로 이루어진, 기판위에 구리를 무전해적으로 부착시킬 수 있는 무전해 구리 부착용액을 배합시키는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 구리농도를 증가시키고, 하나 또는 그 이상의 첨가제의 농도를 증가시키고/거나 포름알데히드 및/또는 알칼리금속 수산화물의 농도를 감소시킴으로써 고유 양극 반응속도에 대해 고유 음극 반응속도의 비율을 증가시킴으로써 비율을 조정하는 방법.
  16. 상기 부착 용액의 고유 양극 반응속도를 측정하고 ; b. 상기 부착용액의 고유 음극 반응속도를 측정하고 ; c 상기 고유 양극 반응속도 대 상기 음극 도금속도의 비가 약 1.1보다 작은지의 여부를 결정하기 위해서 측정된 속도를 비교하고 ; d. 상기 비율이 약 1.1보다 작게 되도록 고유 양극 반응속도를 조정하는 단계로 이루어진, 무전해적으로 부착된 구리가 균열이 없도록 기판위에 구리를 확실하게 부착시키기 위해, 구리, 하나 또는 그 이상의 리간드, 포름알데히드, 알칼리금속 수산화물, 및 하나 또는 그 이상의 첨가제를 포함하는 무전해 구리 부착용액을 조정하는 방법.
  17. a. 상기 부착용액의 고유 양극 반응속도를 측정하고 ; b. 상기 부착용액의 고유 음극 반응속도를 측정하고 ; c. 상기 고유 양극 반응속도 대 상기 음극 반응속도의 비율이 약 1.1보다 작은지의 여부를 결정하기 위해 측정된 속도를 비교하고 ; d. 상기 비율이 약 1.1보다 작도록 용액의 성분들의 농도를 조정하는 단계들로 이루어진, 구리, 하나 또는 그 이상의 리간드, 포름알데히드, 알칼리금속 수산화물, 및 하나 또는 그 이상의 첨가제를 포함하는 무전해 구리 부착용액을 조작하는 방법.
  18. 제14항에 있어서, 상기 부착용액안에 존재하는 포름알데히드의 농도 및 알칼리금속 수산화물의 농도의 제곱근의 급을 감소시킴으로써 상기 부착용액의 상기 고유 양극 반응속도를 조정하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 부착용액의 pH를 감소시킴으로써 상기 고유 양극 반응속도를 조정하는 방법.
  20. 제16항에 있어서, 상기 부착용액안에 존재하는 포름알데히드의 양을 감소시킴으로써 고유 양극 반응속도를 조정하는 방법.
  21. 제14항에 있어서, 상기 부착용액으로부터 불순물을 제거시켜, 상기 고유 양극 반응속도를 조정하는 방법.
  22. 제14항에 있어서, 상기 부착용액의 pH를 낮춰주고 ; 상기 부착용액안에 존재하는 포름알데히드의 양을 감소시키고 ; 상기 부착용액에 존재하는 불순물 또는 그 혼합물을 제거시킴으로써 상기 고유 양극 반응속도를 조정하는 방법.
  23. a. 상기 부착용액의 고유 양극 반응속도를 측정하고 ; b, 상기 부착용액의 고유 음극 반응속도를 측정하고 ; c, 측정된 고유 음극 반응속도 대 측정된 고유 양극 반응속도의 비율이 약 1.1 보다 작은지의 여부를 결정하기 위해 측정된 속도를 비교하고 ; d. 상기 비율이 약 1.1보다 작지 않은 경우 상기 부착용액의 상업적인 사용을 중단하는 단계들로 이루어진, 구리, 하나 또는 그 이상의 리간드, 포름알데히드, 알칼리 금속 수산화물, 및 하나 또는 그 이상의 첨가제를 포함하는 무전해 구리 부착요액의 상업적 조작을 조절하는 방법.
  24. 제23항에 있어서, e. 상기 비율이 약 1.1보다 작도록 하기 위해서 상기 고유 양극 반응속도 및/또는 상기 고유 음극 반응속도를 제조정하고, f. 상기 부착용액의 상업적 사용을 다시 시작하는 단계를 포함하는 방법.
  25. a. 양극 반응에 의해 생성된 도금 전류를 증가시키기 위해 pH 및/또는 용액의 포름 알데히드 농도를 증가시키고 ; b. 용액의 고유 양극 반응속도를 측정하고 ; c. 상기 부착용액의 고유 음극 반응속도를 측정하고 ; d. 상기 고유 양극 반응속도 대 상기 음극 도금속도의 비율이 오염전 용액의 비율로 되돌아가는자, 또는 1.1보다 작게 되는지의 여부를 결정하기 위해서 측정된 속도를 비교하고 ; e. 용액의 구리 농도를 증가시키고 ; f. 상기 비율이 오염전 비율로 되돌아가거나 1.1보다 작게 되도록 고유 음극속도를 조정하는 단계들로 이루어지는 무전해적으로 부착된 구리가 균열이 없도록 용액이 가판위에 구리를 부착시키는 것을 확실히 하기 위해, 오염되어져 부착속도, 구리부착층의 질, 또는 부분적 비활성화의 감소를 일으키는 구리, 하나 또는 그 이상의 리간드, 포름알데히드, 알칼리금속 수산화물, 및 하나 또는 그 이상의 첨가제로 이루어진 무전해 구리 부착용액을 조정하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880700768A 1986-10-31 1987-10-30 무전해 부착으로 기판상에 근본적으로 균열이 없는 구리부착층을 일관되게 생성하는 방법 KR880701791A (ko)

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