KR880004322A - 집적회로 프로브시스템 - Google Patents

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KR880004322A
KR880004322A KR870009430A KR870009430A KR880004322A KR 880004322 A KR880004322 A KR 880004322A KR 870009430 A KR870009430 A KR 870009430A KR 870009430 A KR870009430 A KR 870009430A KR 880004322 A KR880004322 A KR 880004322A
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KR
South Korea
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transmission line
conductors
cable
conductor
ground
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KR870009430A
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Inventor
지. 크리돈 세오도
Original Assignee
로버트 에스. 헐스
텍트로닉스 인코포레이티드
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
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Abstract

내용 없음

Description

집적회로 프로브시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 프로브시스템의 상부 평면도.
제2도는 제1도의 프로브시스템의 부분확대저면도.
제3도는 제2도의 3-3선에 의한 단면도.

Claims (10)

  1. 탐사점에 연결하기 위한 가요성 케이블수단은 제1 및 제2단부를 가지며, 다수의 전송선로도체 및 하나 이상의 접지도체로 이루어지고, 상기 전송선로도체는 절연재에 의하여 도체 상호간 및 접지도체로부터 절연되고, 제1단부로부터 멀리 연장될 경우 서로 간격이 떨어지고, 상기 전송선로도체는 제1단부에서 탐사점에 연결되고, 케이블수단중 최소한 하나이상의 부분이 지지부재에 대하여 자유롭게 움직이도록 이루어지는 다수의 웨이퍼 탐사점을 구비한 지지부재를 갖는 웨이퍼 프로브장치.
  2. 제1항에 있어서, 케이블수단은 절연재의 대향하는 양쪽 표면위에 제1및 제2평면접지도체를 포함하고, 이 절연제 내에 상기 평면접지도체와 평면으로 상기 절연재의 중심을 관통하여 전송선로도체가 배설되는 리본케이블을 포함하는 웨이퍼 프로브장치.
  3. 제1항에 있어서, 다수의 커넥터소자를 전송선로도체의 제2단부에 연결하는 수단을 더 포함하는 웨이퍼 프로브장치.
  4. 제3항에 있어서, 케이블수단은 절연재의 대향하는 양쪽 표면위에 제1및 제2 평면접지도체로 이루어지고, 전송선로도체는 절연재네에 상기 평면접지도체와 평행인 평면으로 상기 절연재의 중심을 관통하여 배설되고, 평면접지도체중의 하나 및 상기 접지도체와 전송선로도체간의 절연재가 케이블의 제2단부로부터 작은 소정길이만큼 케이블수단으로부터 제거되고, 커넥터소자는 리본케이블의 제2단부를 수용하도록 커넥터의 길이방향측에 평행인 평면으로 절단한 SMA 동축 커넥터로 이루어지고, 그러므로서 SMA 커넥터의 중심소자가 전송선로도체와 접촉할 수 있고, SMA 커넥터의 보디가 평면접지도체중의 하나와 접촉할 수 있도록 한 웨이퍼 프로브 장치.
  5. 제1항에 있어서, 다수의 탐사점은 직사각형으로 형성된 4개의 변에 배열되고, 4개의 케이블수단은 각각 탐사점을 단일변에서 다수의 커넥터소자들에 연결하는 웨이퍼 프로브장치.
  6. 제1항에 있어서, 각 탐사점으로부터 전송선로도체를 개재하여 그들의 대응하는 커넥터소자까지의 거리는 동일한 웨이퍼 프로브장치.
  7. 제1항에 있어서, 케이블수단은 제1단부로부터 일정거리 떨어져 배설되고, 전송선로도체가 커넥터소자를 상기 각 도체의 제2단부에 직접 연결되도록 서로 간격이 충분히 떨어지는 다수의 커넥터소자들을 더 포함하는 웨이퍼 프로브장치.
  8. 제1및 제2단부를 갖는 가요성 리본케이블은 제1단부로 부터 제2단부로 배설될 때 서로 간격이 떨어지는 다수의 공동평면 전송선로도체를 포함하고, 상기 전송선로는 또 그와 평행인 평면으로 절연재에 의하여 전송선로도체의 상하에 간격이 떨어진 두개의 평면접지도체를 포함하고, 전송선로도체를 리본케이블의 제1단부에서 웨이퍼 탐사점에 연결하고, 상기 다수의 공동평면 전송선로도체의 일부를 노출시키기 위하여 리본 전송선로의 제2단부에서 하나의 평면접지도체의 일부 및 이 평면접지도체와 다수의 공동평면 전송선로도체사이의 절연재의 일부를 제거하고, 다수의 공동평면 전송선로도체의 노출된 부분과 전자장비에 연결되는 다수의 도체와의 사이를 압력접촉시키고, 리본케이블 접지도체와 전자장비에 연결되는 접지리든선과의 사이를 압력접촉시키는 단계로 이루어지는, 다수의 웨이퍼 탐사점으로부터 전자장비에 연결되는 접지 리드선을 포함하는 다수의 전자장비도체까지의 인터페이스 방법.
  9. 제1및 제2단부를 갖는 가요성 리본케이블 제1단부로부터 제2단부로 배설될 때 서로 간격이 떨어지는 다수의 공동평면전송선로도체를 포함하고, 상기 선로는 또 그와 평행인 평면으로 절연재에 의하여 전송선로도체의 상하에 간격이 떨어진 두개의 평면접지도체를 포함하고, 상기 평면접지도체중의 하나 및 상기 접지도체와 전송선로간의 절연재료는 제2단부의 끝까지 연장되는 않으므로써 다수의 공동평면 전송선로도체가 그곳에서 노출되고, 리본케이블의 제1단부에서 전송선로도체를 웨이퍼 탐사점에 연결하는 수단이 설치되고, 리본케이블의 제2단부에서 다수의 노출된 공동평면 전송선로 부분과 전자장비에 연결되는 다수의 인터페이싱 도체와의 사이를 압력접촉시키는 압력커넥터수단은 평면접지도체중의 하나와 전자장비에 연결되는 접지리드선 사이를 압력접촉시키는 수단으로 이루어지는 전자장비에 연결되는 접지리드선을 포함하는 다수의 전자장비도체에 다수의 웨이퍼 탐사점을 인터페이스하는 장치.
  10. 제9항에 있어서, 전자장비에 연결되는 다수의 인터페이싱도체는 리본케이블의 제2단부에서 전송선로도체의 단말에 짝지어서 대응하는 공동평면 어레이에 연결 처리되고, 대응하는 전자장비도체와 전송선로도체 사이에 정합을 설정하는 수단을 포함하는 상기 인터페이스하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR870009430A 1986-09-05 1987-08-28 집적회로 프로브시스템 KR880004322A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

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US90414586A 1986-09-05 1986-09-05
US904145 1986-09-05

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KR880004322A true KR880004322A (ko) 1988-06-03

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ID=25418651

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EP (1) EP0259162A3 (ko)
JP (1) JPS6365638A (ko)
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JPS6365638A (ja) 1988-03-24
EP0259162A3 (en) 1988-12-21
EP0259162A2 (en) 1988-03-09

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