KR880001030A - 다수개의 얇은 클램프를 사용한 웨이퍼 처리용 척 - Google Patents

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KR880001030A
KR880001030A KR870003637A KR870003637A KR880001030A KR 880001030 A KR880001030 A KR 880001030A KR 870003637 A KR870003637 A KR 870003637A KR 870003637 A KR870003637 A KR 870003637A KR 880001030 A KR880001030 A KR 880001030A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
workpiece
platform
around
clamp
lifting
Prior art date
Application number
KR870003637A
Other languages
English (en)
Inventor
피.레이만 프레드릭
에이. 헌트리 데이비드
에이취. 딕 폴
엘. 코우드 죠지
제이. 쿨만 마이클
엠. 벡타 로저
엠. 홉슨 필립
Original Assignee
스탠리 젯드. 코울
배리언 어소시에이츠 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US06/853,274 external-priority patent/US4705951A/en
Application filed by 스탠리 젯드. 코울, 배리언 어소시에이츠 인코포레이티드 filed Critical 스탠리 젯드. 코울
Publication of KR880001030A publication Critical patent/KR880001030A/ko

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  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

다수개의 얇은 클램프를 사용한 웨이퍼 처리용 척
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 웨이퍼 처리 시스템의 부분 단면 정면도. 제2도는 제1도 선 2-2를 따라 취한 제1도 시스템의 부분 단면도. 제3도는 제2도의 선 3-3을 따라 취한 제1도 및 제2도 시스템을 통한 단면도.

Claims (5)

  1. 디스크형 작업물을 중심에 두어 클램핑 시키는 장치에 있어서, 작업물을 지지하기 위한 상부면 수단을 가진 플랫포옴과, 플랫포옴상의 공작물을 중심에 두어 유지시키고, 상기 플랫포옴 주위, 둘레에 분포되고, 그 각각이 작업물상에 끼워지도록된 형상의 상부 립, 하부 립 및 상승 슬롯을 가진 얇은 평면 훅 부재와 스프링 부재를 포함하는 다수의 클램프 수단과, 상기 상부면 수단 주위에 그리고 그 아리에 배치되면서 상기 각 얇은 평면 훅 부재의 상기 상승 슬롯이 결합하는 승강 링과, 상기 상부면 수단 주위 및 그 아리에 그리고 상기 승강 링 위에 배치되면서 상기 얇은 평면 훅 부재의 상기 하부 립이 결합하는 확전식 링과, 상기 승강 링을 이동시키는 수단, 및 상기 확전식 링을 이동시키는 수단을 포함하는 것이 특징인 중심잡기 및 클램핑 장치.
  2. 제1항에 있어서, 작업물 취급 기구로부터 작업물을 받아 상기 작업물을 상기 플랫포옴에 내려 놓는 승강 핀 수단을 포함하는 것이 특징인 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 작업물이 상기 플랫포옴에 유지되는동안 상기 작업물의 온도 제어를 위한 수단을 포함하는 것이 특징인 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 온도 제어 수단은 상기 플랫포옴의 상기 상부면 수단과 작업물의 이면 사이에 헬륨 가스를 보내는 수단을 포함하여 열 접촉을 보증하는 것이 특징인 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 클램프를 적소에 두면서 서비스를 하기 위해 상기 클램프를 제거하는 수단을 포함하는 것이 특징인 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR870003637A 1986-04-17 1987-04-16 다수개의 얇은 클램프를 사용한 웨이퍼 처리용 척 KR880001030A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/853,274 US4705951A (en) 1986-04-17 1986-04-17 Wafer processing system
US853274 1986-04-17
US85309986A 1986-06-20 1986-06-20
US853099 1986-06-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR880001030A true KR880001030A (ko) 1988-03-31

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