KR880001030A - 다수개의 얇은 클램프를 사용한 웨이퍼 처리용 척 - Google Patents
다수개의 얇은 클램프를 사용한 웨이퍼 처리용 척 Download PDFInfo
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 웨이퍼 처리 시스템의 부분 단면 정면도. 제2도는 제1도 선 2-2를 따라 취한 제1도 시스템의 부분 단면도. 제3도는 제2도의 선 3-3을 따라 취한 제1도 및 제2도 시스템을 통한 단면도.
Claims (5)
- 디스크형 작업물을 중심에 두어 클램핑 시키는 장치에 있어서, 작업물을 지지하기 위한 상부면 수단을 가진 플랫포옴과, 플랫포옴상의 공작물을 중심에 두어 유지시키고, 상기 플랫포옴 주위, 둘레에 분포되고, 그 각각이 작업물상에 끼워지도록된 형상의 상부 립, 하부 립 및 상승 슬롯을 가진 얇은 평면 훅 부재와 스프링 부재를 포함하는 다수의 클램프 수단과, 상기 상부면 수단 주위에 그리고 그 아리에 배치되면서 상기 각 얇은 평면 훅 부재의 상기 상승 슬롯이 결합하는 승강 링과, 상기 상부면 수단 주위 및 그 아리에 그리고 상기 승강 링 위에 배치되면서 상기 얇은 평면 훅 부재의 상기 하부 립이 결합하는 확전식 링과, 상기 승강 링을 이동시키는 수단, 및 상기 확전식 링을 이동시키는 수단을 포함하는 것이 특징인 중심잡기 및 클램핑 장치.
- 제1항에 있어서, 작업물 취급 기구로부터 작업물을 받아 상기 작업물을 상기 플랫포옴에 내려 놓는 승강 핀 수단을 포함하는 것이 특징인 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 작업물이 상기 플랫포옴에 유지되는동안 상기 작업물의 온도 제어를 위한 수단을 포함하는 것이 특징인 장치.
- 제3항에 있어서, 상기 온도 제어 수단은 상기 플랫포옴의 상기 상부면 수단과 작업물의 이면 사이에 헬륨 가스를 보내는 수단을 포함하여 열 접촉을 보증하는 것이 특징인 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 클램프를 적소에 두면서 서비스를 하기 위해 상기 클램프를 제거하는 수단을 포함하는 것이 특징인 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/853,274 US4705951A (en) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | Wafer processing system |
US853274 | 1986-04-17 | ||
US85309986A | 1986-06-20 | 1986-06-20 | |
US853099 | 1986-06-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR880001030A true KR880001030A (ko) | 1988-03-31 |
Family
ID=68461417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR870003637A KR880001030A (ko) | 1986-04-17 | 1987-04-16 | 다수개의 얇은 클램프를 사용한 웨이퍼 처리용 척 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR880001030A (ko) |
-
1987
- 1987-04-16 KR KR870003637A patent/KR880001030A/ko not_active IP Right Cessation
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