KR830002059A - 광학도파관 블랭크 형성장치 - Google Patents

광학도파관 블랭크 형성장치

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KR830002059A
KR830002059A KR1019800000881A KR800000881A KR830002059A KR 830002059 A KR830002059 A KR 830002059A KR 1019800000881 A KR1019800000881 A KR 1019800000881A KR 800000881 A KR800000881 A KR 800000881A KR 830002059 A KR830002059 A KR 830002059A
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KR
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vapor
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optical waveguide
vapor deposition
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KR1019800000881A
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그렉 블랭캔쉽 마이클
Original Assignee
클라렌스 알·패티, 주니어
코오닝 글라스 워크스
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material

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  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

광학도파관 블랭크 형설장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 구조의 시스템의 약도.
제2도는 제1도의 시스템과 연관되어 사용된 버어너의 부분 횡단면도.

Claims (9)

  1. 증기 또는 증발된 원료물질의 반응생성물을 시동부재를 향하게 하고 그 속에 액체 원료물질을 함유하는 2기 이상의 밀폐된 저장기(18,20)을 포함함으로써 광학도파관 블랭크를 형성하는 장치에 있어서, 각 저장기에 대하여 그 속의 액체원료 물질을 각 저장기내의 사전 결정된 최소 증기압력을 유지하기에 충분한 온도로 가열하기 위한 수단(24,26,28), 각 저장기내의 액체의 증기를 제어된 유속으로 송출하기 위하여 각 저장기에 연결된 개량수단(48,54,60,66 또는 50,56,62,66 또는 52,58,64,70) 및 상기 개량수단의 제어하에 각 저장기로부터 물질증기를 증기 또는 증발된 원료의 반응생성물을 시동 부재에 향하게 하는 증기 퇴적 수단(12)으로 송출하기 위한 수단(71)을 특징으로 하는 광학도파관 블랭크 형성장치.
  2. 1개 이상의 저장기가 실리콘 컴파운드로 구성된 액체를 함유하며 타저장기가 규산질 광학도파관 블랭크의 굴절률을 결정하기 위한 도우판트로 구성된 액체를 함유하는 것이 특징인 특허청구범위 1항에 따른 장치.
  3. 산소를 개량수단의 하류 증기 통로에 도입하며 상기 증기 퇴적수단에의 산소 유동을 조정하기 위하여 수단(74,76,80,82)가 제공된 것이 특징인 특허청구범위 1또는 2항에 따른 장치.
  4. 증기 퇴적수단이 반응 버어너로 구성된 것이 특징인 특허청구범위의 임의의 선행항에 따른 장치.
  5. 증기 퇴적 수단에 송출된 증발된 원료물질의 비율을 결정하기 위하여 개량수단에 의해 송출된 증기량을 자동적으로 제어하기 위한 수단(72)이 특징인 특허청구범위의 임의의 선행항에 따른 장치.
  6. 각 저장기에 대하여 가열 수단의 온도를 제어하기 위한 수단 (30,32,34)과 가열 수단의 온도를 각 저장기 내의 상기 사전 결정된 증기압력을 확보하도록 제어하기 위하여 제어신호를 온도제어 수단에 제공하기 위하여 각 저장기 내에 배치된 압력 변환기(36,38,40)을 포함하는 것이 특징인 특허청구범위의 임의의 선행항에 따른 장치.
  7. 각 계량 수단이 유동제어 밸브(48,50 또는 52), 밸브에 연결된 밸브 조정기구(54,56 또는 58), 기구를 작동시키기 위한 제어기 (60, 62 또는 64) 및 증기질량 유속을 감지하기 위한 변환기(66, 68 또는 70)으로 구성되며, 변환기의 출력이 상기 제어기에 연결된 것이 특징인 특허청구범위의 임의의 선행량에 따른 장치.
  8. 상기 자동 제어 수단(72)가 거기에 유동제어 신호를 제공하기 위하여 상기 각 계량수단의 상기 각 제어기에 연결된 것이 특징인 특허청구범위 5항에 관한한 특허청구범위 7항에 따른 장치.
  9. 상기 계량된 증기를 상기 증기 퇴적 수단에 송출하기 위한 상기 수단이 각 저장기로부터의 증기와 결합하며 결합된 증기를 상기 퇴적수단에 송출하고 이 목적을 위하여 연관된 저장기내의 증기를 상기 측정된 증기 송출수단에 공급하는 다수의 도관이 구비된 것이 특징인 특허청구범위의 임의의 선행항에 따른 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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